SDÍLENÉ LABORATOŘE CEITEC VUT (CORE FACILITIES)

05. 03. 2015

2

q  Sdílené laboratoře (core facility) CF Nano a StAn – co to je

q  Tým core facilit

q  Technologické celky

q  CF Nano – přístrojové vybavení, kde najít přístroje, kde najít informace

q  CF StAn – přístrojové vybavení, kde najít přístroje, kde najít informace

q  Instalace přístrojů

q  Výzkumná infrastruktura CEITEC Nano

q  Typy uživatelů

q  Přístup do výzkumné infrastruktury CEITEC Nano – simulace na studentovi FSI

q  Platby za služby – náklady na provoz

q  Proč to všechno děláme?

q  Data – kolik vás je, co využíváte, kolik to stojí

q  Co plánujeme

q  Diskuze

q  program

PROGRAM

3

SDÍLENÉ LABORATOŘE CEITEC (CORE FACILITY)

CF Nano

CF StAn

4

§  Sdílená pracoviště Masarykovy univerzity a Vysokého učení technického v Brně

§  Centrum laboratoří - provoz, údržba a rozvoj core facilit a jejich přístrojového a technologického vybavení §  Podléhá řediteli STI VUT a Radě laboratoří

CORE FACILITY CF Nano a CF StAn

5

TÝM CORE FACILIT Nano a StAn

Ing. David Škoda, Ph.D. Vedoucí core facility Nano, Vedoucí Centra laboratoří Mgr. Marek Eliáš, Ph.D. Operátor RNDr. Alois Nebojsa Operátor Ing. Dalibor Šulc Operátor Ing. Martin Buršík, Ph.D. Operátor Ing. Eva Kolíbalová, Ph.D. Operátorka Ing. Erik Pálesch, Ph.D. Operátor

Ing. Ondřej Man, Ph.D. Vedoucí core facility StAn Mgr. Ondřej Caha, Ph.D. Operátor Ing. Jan Michalička Operátor Ing. Pavla Roupcová, Ph.D. Operátorka Ing. Zdeněk Spotz Operátor Ing. Pavel Gejdoš, Ph.D. Technický pracovník

Mgr. Kateřina Švidrnochová Manažerka sdílených laboratoří Ing. Pavlína Zajícová Ekonomka sdílených laboratoří

6

TECHNOLOGICKÉ CELKY

X-ray diffraction:

7

CF Nano - přístroje V provozu (v provizorních prostorech MU a VUT) – 16 zařízení:

K zprovoznění do konce roku 2015 (v provizorních prostorech):

q  Atomic Layer Deposition system Fiji 200 q  Focused Ion Beam/Scanning Electron Microscope

LYRA q  Lithographic Scanning Probe Micr. Dimension Icon q  Mechanical profilometer Dektak XT q  Optical microscope MX51 q  Resist stripper NANO Plasma cleaner q  Scanning Electron Microscope/e-beam writer MIRA3 q  Scanning Near-field Optical Microscopy MV 4000 q  ScanProbeMicro+uRaman+PhLum system NTegra

Spectra q  Spectroscopic Ellipsometer IR-VASE q  Spectroscopic Ellipsometer V-VASE q  Spectroscopic reflectometer NanoCalc 2000 q  UV Direct Write Laser system DWL 66-fs q  Vacuum FTIR Vertex80v + Hyperion 3000 q  VUV spectrometer VUVAS 1000 q  Wire bonder HB 16

q  Maskless lithography system q  E-beam writer q  Coating and development system q  Mask Aligner + NIL q  Lithographic wetbench, Chemical wetbenches q  Metal-Organic CVD, Low-Pressure CVD, Plasma-

enhanced CVD q  Annealing ovens q  E-beam evaporator, Magnetron sputtering q  Reactive Ion Etching system q  Deep Reactive Ion Etching system q  Ion beam etching q  Laser cutter q  Glove box q  Semiconductor characterisation system q  Electronic measurement components q  Low Temperature Electro-Magnetic Properties q  Complex UHV systém (MBE, STM, PEEM, LEEM) q  SIMS q  XPS q  nanoSAM q  PLD + RHEED q  Experimental PECVD

8

q  FSI VUT v Brně - laboratoř A2/518 q  ÚFKL PřF MU – Kotlářská, pavilon č. 9 q  od 2Q/2015 v bývalé továrně FEI - Podnikatelská

KDE HLEDAT CF Nano

9

q  Web CEITEC

http://www.ceitec.cz/laborator-pripravy-a-charakterizace-nanostruktur q  Wikipedie CEITEC Nano http://cfnanomicro.fme.vutbr.cz

KDE HLEDAT INFORMACE O CF Nano

10

CF StAn - PŘÍSTROJE

V provozu (v provizorních prostorech): K zprovoznění do konce roku 2015 (v provizorních prostorech):

q  RTG práškový difraktometr Rigaku SmartLab 3kW

q  RTG difraktometr pro tenké vrstvy a

nanostruktury Rigaku SmartLab 9kW

q  + komory s řízeným prostředím k oběma difraktometrům

q  HR TEM FEI Titan Themis3 300 Cubed ( TEM Cs korektor, monochromátor, HR EELS, EDS,

tomografie, Lorentz, ...) q  HR SEM FEI Verios 460L (rozlišení 0,7 nm @  1-­‐15  kV,  in-­‐lens  SE/BSE,  EDS, WDS,

EBSD) q  FIB-SEM FEI Helios NanoLab 660 (rozlišení v e- 0,7 nm @  1-­‐15  kV,  rozlišení v Ga+ 2,5-4 nm

@  30  kV,  in-­‐lens  SE/BSE,  EDS, EBSD, GIS, manipulátor, coldstage)

q  Přístroje pro přípravu vzorků pro TEM, SEM a

SM: Mechanické pily, brusky, leštičky atd. pro vzorky SM,

přípravky a přístroje pro TEM vzorky klasickou cestou, iontová leštička pro SM a SEM vzorky, iontová leštička pro TEM vzorky, napařovačka/naprašovačka C + Au/Pd, ...

11

q  RTG difraktometry - laboratoř A3/310 na FSI VUT q  od 2Q/2015 v bývalé továrně FEI - Podnikatelská

KDE HLEDAT CF StAn

12

q  Web CEITEC

http://www.ceitec.cz/laborator-strukturni-analyzy q  Wikipedie CEITEC Nano http://cfnanomicro.fme.vutbr.cz

KDE HLEDAT INFORMACE O CF StAn

13

q  Současný stav q  Stavba technologického zázemí – laboratoře q  Dočasná instalace – VUT FSI, MU ÚFKL

q  Instalace zbývajících zařízení – diskuze q  Dle kupních smluv

q Q2/2015 – Q4/2015

q  Umístění q  Technologický park B3 (bývalé FEI) – obnovení čistých prostor tř. čistoty 100, 100 000

q MU ÚFKL budova 9 q  VUT FSI A2/518 – laboratoř ÚFI

INSTALACE PŘÍSTROJŮ

14

q  Společné vystupování CF Nano, CF StAn a Laboratoře uCT a LIBS 30% přístrojového času na bázi open access) na národní a mezinárodní úrovni

q  VI CEITEC Nano existuje již od roku 2011 a obhájilo svoji pozici na Cestovní mapě ČR velkých infrastruktur pro další období 2016 – 2020(22)

q  Strategický dokument ČR a EU v oblasti výzkumu, experimentálního vývoje a inovací

q  http://www.msmt.cz/vyzkum-a-vyvoj/ceska-roadmap

q  VI CEITEC Nano – postaveno na základech OPEN ACCESS – jednotné podmínky přístupu uživatelů do sdílených laboratoří

q  Pozitiva q  CEITEC mezinárodní renomé q  Navázání vzájemné spolupráce mezi výzkumnými entitami q  Ekonomická podpora provozu sdílených laboratoří

VÝZKUMNÁ INFRASTRUKTURA CEITEC NANO (VI CEITEC NANO)

15

TYPY UŽIVATELŮ

16

PŘÍSTUP STUDENTA DO VÝZKUMNÉ INFRASTRUKTURY

17

PŘÍSTUP STUDENTA DO VÝZKUMNÉ INFRASTRUKTURY

18

q  Přihlásit se na web, vybrat CF, záložka PŘÍSTUP q  Kliknout na přihlášku, otevřít pdf, vyplnit, kliknout na Submit, automaticky se

posílá na katerina.svidrnochova@ceitec.vutbr.cz q  K. Švidrnochová do dvou dnů zasílá potvrzení přijetí e-mailem (ladíme

automatický reply) q  KŠ posílá na technical feasibility garantovi a zakládá projekt v systému –

ukázka interního systému – CO VIDÍME MY q  Ukázka náhledu uživatele – CO VIDÍ UŽIVATEL – cesta přes rezervační systém

k náhledu vlastního projektu q  Po technickém zhodnocení KŠ domlouvá s uživatelem další postup (školení,

kontakty na garanty atd.) q  Vše podloženo pravidly, uvedenými v platnost 1. 3. 2015 a schválenými

Radou laboratoří – PŘÍSTUP K PRAVIDLŮM (web CEITEC) q  Přístup do REZERVAČNÍHO SYSTÉMU přes web CEITEC –rezervační systém

bude spuštěn za XY minut. q  PŘEHLED PŘÍSTROJŮ s detailními infromacemi – proklikat přístroje q  Výzva k nápadům na název Knowledge Base – můžete nám psát na Sli.do

nebo Facebook C E I T E C Nano Research Infrastructure q  Acknowledgment q  Dotazník spokojenosti

SIMULACE PŘÍSTUPU DO VÝZKUMNÉ INFRASTRUKTURY

19

q  Přístroje jsou uživatelům dostupné až po schválení přístupu do výzkumné infrastruktury

q  Poskytované služby q Samostatná práce uživatele pro činnost na vybraném zařízení q Asistovaná práce uživatele na vybraném zařízení q Kompletní služba prováděna autorizovanými osobami

q  Na každé zařízení je povinnost se rezervovat v rezervačním systému q  Uživatelé i CEITEC Nano se řídí Pravidly využívání výzkumné

infrastruktury CEITEC Nano pro rok 2015 – dokument popisující vzájemný vztah mezi uživatelem a výzkumnou infrastrukturou CEITEC Nano

RESUMÉ

20

PLATBY ZA SLUŽBY – NÁKLADY NA PROVOZ

q  Vzájemné sdílení nákladů na provoz laboratoří a zařízení snižuje ekonomické zatížení výzkumných skupin

q  Pořízení investičně i provozně drahých high-tech zařízení q  Tvorba rezerv pro reinvestice q  Zvýšení efektivity využití přístrojového času

Aktuální stav pro rok 2015

q  Směrnice kvestora, směrnice tajemníka regule plateb q  Orientační faktury každému uživateli od dubna 2015, cena přístrojového času bude

fakturována čtvrtletně q  V roce 2015 má faktura informativní charakter, náklady jsou hrazeny ze získaných

veřejných zdrojů STI VUT q  Od roku 2016 diskuze nad pokrytím nákladů na provoz částečně i platbami

uživatelů q  Komerční spolupráce – prostřednictvím HS

Kontakt Ing. Pavlína Zajícová

21

COST MATRIX – struktura výpočtu nákladů

Externí cena

Akademická cena Interní cena

Přímé náklady - Osobní náklady - Provoz přístroje   spotřební materiál   náhradní díly   servisní smlouvy   opravy a údržba - Náklady na čisté laboratoře

Nepřímé náklady

- Elektřina - Čistý vzduch - Plyny atd.

.

Náklady administrativa

- Osobní náklady - Cestovné - Reprezentace - Spotřební materiál

Odpisy - Pořizovací cena/ životnost/ doba Využitelnosti za rok

-  Očekávána směrnice kvestora ve věci kalkulaci cen na VUT v Brně (certifikovaná full cost metodika)

-  Očekávána směrnice tajemníka STI

22

KALKULACE PROVOZNÍCH NÁKLADŮ JEDNOTLIVÝCH PŘÍSTROJŮ

23

COST MATRIX A KALKULACE CEN

24

Mapování činnosti uživatelů q  Celková využitá kapacita q  Celkový počet uživatelů q  Mapování uživatelů (CEITEC, akademičtí, komerční sféra) q  Mapování vědy (co děláte, na co můžeme shánět granty, jaké můžeme uzavírat

spolupráce – s ostatními univerzitami, zahraničními institucemi) q  Využitá kapacita jednotlivých zařízení

K čemu to slouží q  Zvýšení komfortu uživatelům q  CEITEC mezinárodní renomé, účast v národních i mezinárodních projektech q  Prokázání MŠMT (ČR) a EU, že jsme funkční a využíváme zařízení q  Zvyšujeme atraktivnost pro potenciální partnery v oblasti výzkumu q  Zvyšujeme společné „know-how“ q  Podklady pro nákup nových zařízení (i totožných) q  Strategie pro budoucí rozvoj laboratoří q  Nalezení finančních zdrojů pro provoz laboratoří

PROČ TO VŠECHNO DĚLÁME?

25

26

27

28

KOLIK TO STOJÍ

29

KOLIK TO STOJÍ

30

CO PLÁNUJEME

q  24. – 25. 3. 2015 – Nanotechnology for Electronics

q  Malé workshopy o technologiích

q  Konference EDS – říjen 2015

31

DISKUZE

CEITEC BUT c/o Brno University of Technology Technická 3058/10, 616 00 Brno Czech Republic www.ceitec.cz | core.facility@ceitec.vutbr.cz