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取扱説明書

フィードバックステージコントローラ

FC-911

MF-0010 1 版

i

■保証

お買い上げから 1 年以内に当社の製造、納品に起因する故障が発生した場合は、無償で修理させていただきます。但し、次の場合はお買い上げから 1 年以内であっても有償での修理となります。１．取扱説明書に記載されている内容と異なった使用方法や使用上の不注意による故障及び損傷があった場合２．不適当な改造、調整、修理による故障及び損傷があった場合３．天災、火災、その他外的要因による故障及び損傷があった場合

■故障時の対応

修理は当社にて行います。故障または損傷があったと思われるときには当社または代理店へご連絡ください。本機器を当社へ輸送していただく際、輸送中に破損しないように丁重に梱包し、発生状況、故障または損傷内容をお書き添えください。なお、輸送に起因する故障及び損傷については保証しかねます。

このたびはフィードバックステージコントローラ FC-911 をお買い上げいただきありがとうございます。

■連絡先

シグマテック株式会社

〒 357-0035　埼玉県飯能市柳町 5-2

TEL 042-975-3031

FAX 042-975-3032

Email [email protected]

URL http://www.sigma-tech.co.jp

■本取扱説明書について

本取扱説明書は本機器の正しい使い方や機能の説明、使用上の注意事項について記載しております。適切な方法で操作していただくため、ご使用前に最後までよくお読みください。また、ご使用の際にわからないことがあったときのため、本取扱説明書がすぐに利用できるように保管してください。本取扱説明書に乱丁、落丁などの不備があった場合は、新しい取扱説明書と交換いたします。本取扱説明書の紛失及び汚損などにより本取扱説明書が必要な場合は、新しい取扱説明書を有償でご提供いたします。当社または代理店へご連絡ください。取扱説明書の内容に関しては万全を期して作成しておりますが、万一不審な点や誤り、記載漏れなどがあった場合は、お手数ですが当社または代理店へご連絡ください。※取扱説明書の転機、複写は当社の承諾が必要となります。※取扱説明書の内容及び製品の仕様を予告なく変更する場合があります。

記載の会社名及び商品名は、各会社の商標または登録商標です。

ii

■使用上の注意について

ご使用の前に本取扱説明書をよくお読みの上、正しくお使いください。その後大切に保存し、必要なときにお読みください。

・本機器は、1nm 分解能のフィードバックステージをクローズドループ及びオープンループで制御するため　の機器です。これ以外の用途で使用しないでください。

・本機器は精密機器です。お取り扱いは十分お気を付けください。

・本機器に衝撃や無理な力がかからないようにしてください。

・本取扱説明書に記載されている設置環境を整備してください。

・本取扱説明書で指定していない方法で使用すると、本機器の保護機能が損なわれることがあります。　この注意に反したご使用により生じた損害に関しまして、当社は一切の責任を負いません。

・本機器が起因しない火災、消火剤による被害、地震、浸水、落雷、その他の事故、お客様及び第三者の　故意または過失、製品本来の用途以外の使用、仕様以外の環境下でのご使用による損害に関まして、当社は　一切の責任を負いません。

・本取扱説明書に記載されている保証以外は一切の保証を致しません。

・本機器に、当社の 1nm 分解能のフィードバックステージ及び当社のステージ仕様に準拠した 1nm 分解能の　フィードバックステージ以外の接続、故意による右側面のモータドライバ設定用ダイヤルスイッチ　の設定変更による故障及び誤動作などから生じた損害に関しまして、当社は一切の責任を負いません。

・本機器は、医療機器、原子力機器、航空宇宙機器など人命に関わる設備、機器及び高度な信頼性を必要　とする設備、機器での使用は意図されていません。これらに本機器を使用し、本機器の故障、　誤動作により、人命、財産に損害が発生しても、当社は一切の責任を負いません。

■安全について　必ずお守りください

お使いになる人や他の人への危害、財産への損害を未然に防ぐため、必ずお守りいただくことを説明しています。

この表示の欄は「死亡または重症などを負う危険が切迫して生じることが想定される」内容です。

この表示の欄は「死亡または重症などを負う可能性が想定される」内容です。

この表示の欄は「障害を負う可能性または物的損害のみが発生する可能性が想定される」内容です。

・お守りいただく内容の種類を次の表示で区分し、説明しています。

・表示内容を無視して誤った使い方をした際に生じる危害や損害の程度を次の表示で区分し説明しています。

必ず実行していただく「強制」内容を示します。

実行してはいけない「禁止」内容を示します。

気を付けていただきたい「注意喚起」内容を示します。本機器にも表示されています。

危険

警告

注意

iii

・お守りいただく内容を、説明しています。

本取扱説明書で規定された電源電圧範囲内で使用してください。

規定外の電圧で使用すると、発煙、発火の恐れがあります。

痛んだ電源ケーブルを使用しないでください。

痛んだまま使用すると、感電、ショート、発火の恐れがあります。

電源ケーブルのプラグは根元まで確実に差し込んでください。

差し込みが不完全な場合、感電や発熱による発煙、発火の恐れがあります。

警告

保護接地端子は必ず接地してください。

感電の恐れがありますので、保護接地端子は必ず大地アースに接地してください。

本取扱説明書で規定されたヒューズを使用してください。

規定された定格以外のものを使用すると、発煙、発火の恐れがあります。

爆発性の雰囲気内では使用しないでください。

爆発、火災の恐れがありますので、可燃性、爆発性のガスまたは蒸気のある場所では絶対に使用しないで下さい。

腐食性雰囲気内に置かないでください。

導体腐食やコネクタの接触不良などを引き起こし、誤動作や故障の原因になり、火災につながる可能性があります。

塵やほこりの多い場所で使用しないでください。

電源ケーブルのプラグにほこりがたまると、湿気などで絶縁不良となり、発煙、発火の恐れがあります。

カバーを開けないでください。

感電や故障の原因になります。

ぬれた手で電源ケーブルのプラグを抜き差ししないでください。

感電の恐れがあります。

本取扱説明書に記載された以外のステージを接続しないでください。

感電や故障の原因になります。また、ステージの暴走、発煙、発火の恐れがあります。

故障、破損した状態で使用しないでください。

感電や発煙、発火の恐れがあります。電源ケーブルのプラグをコンセントから抜いてください。

水のかかる場所で使用しないでください。

感電や故障の原因になります。

iv

■製品本体の表示記号について

保護接地端子を示します。

フレーム端子を示します。

■設置

本機器を設置する際の注意事項を次に示します。必ずお守りください。

・高温多湿になる場所、直射日光の当たる場所、温度が急激に変化する場所を避けてください。

・水がかかる場所に設置しないでください。

・丈夫で水平な架台に設置してください。

・右側面に吸気スリット、左側面に冷却用ファンの排気スリットがあります。内部温度の上昇を防ぐため、　両側面は 50mm 以上の空間を確保してください。

・ラックなどの閉鎖的な空間に組み込んで使用する場合は、本機器の周囲温度が 40℃以上にならないように　してください。

・本機器の上に 20kg 以上のものを載せないでください。

・保護接地端子を必ずアースへ接地してください。

・本機器に接続しているステージを固定している定盤または金属架台と本機器のフレーム端子を接続して　ください。

・強力な磁界や電界がある場所や、入力電源の波形ひずみやノイズの多い場所で使用しないでください。

・MAIN POWER スイッチの操作が困難にならないよう、背面に手が届くように十分な空間を確保してください。

・電源ケーブルのプラグの抜き差しが困難になるようなコンセントに差し込んだり、抜き差しが困難になるようなものを置いたりしないでください。

■周辺機器の接続

本機器と周辺機器の接続に対する注意事項を次に示します。必ずお守りください。

・POWER キーを ON にすることによって電源が入った状態でコネクタを抜き差ししないでください。

・当社の 1nm 分解能のフィードバックステージ及び当社のステージ仕様に準拠した 1nm 分解能のフィードバックステージ以外は接続しないでください。

・EMG コネクタに、AC アダプタなどの電力を出力するものを接続しないでください。

■移動及び輸送

本機器を移動及び輸送する際の注意事項を次に示します。必ずお守りください。

・MAIN POWER スイッチを OFF にし、接続ケーブルを全て外してから移動させてください。

・本機器を複数台重ねて移動させないでください。

・本機器を輸送する場合は、必ず専用の梱包材を使用してください。

・移動及び輸送時は、本取扱説明書を必ず添付してください。

v

■清掃

汚れが付着した場合は、水で薄めた中性洗剤を柔らかい布につけて軽く拭いてください。

水で薄めた中性洗剤以外は使用しないでください。塗装面の変色や荒れ、印刷文字の薄れ、アクリル板の白濁などが起こる場合があります。

清掃する際は、必ず POWER キーで電源を OFF にした後、MAIN POWER スイッチを OFF にして、電源ケーブルのプラグをコンセントから抜いてください。

注意

警告

vi

■目次

■本取扱説明書について ⅰ

■保障 ⅰ

■故障の対応 ⅰ

■連絡先 ⅰ

■使用上の注意について ⅱ

■製品本体の表示記号について ⅳ

■安全について ⅱ

■設置 ⅳ

■周辺機器の接続 ⅳ

■清掃 ⅴ

■目次 ⅵ

1. 本機器の概要 1

①フロントパネル

②リアパネル

③サイドパネル

　●右側面

　●左側面

④ビープ音

2

6

10

10

10

11

2. 箱の中身を確認する 1

3. オプション 1

4. 各部名称及び機能について 2

5. 操作について 12

① SETUP モード

② LOCAL モード

③ REMOTE モード

④ TEACH モード

⑤動作テストモード

⑥ PARAMETER モード

⑦ INFORMATION モード

　●機種情報

　● GP-IB インターフェース情報表示

　● USB インターフェース情報表示

　● Ethernet インターフェース情報表示

12

13

15

16

16

16

17

17

18

19

20

6. コマンドについて 21

①コマンド一覧

②コマンド説明の見方

　●送信記述形式

　●送信・返信記述形式

③エコーバックについて

　●返信がないコマンドを送信した場合

　●返信があるコマンドを送信した場合

　●送信コマンドによりコマンドエラーが発生した場合

④コマンド説明

　●制御に関するコマンド

　●汎用情報に関するコマンド

　●動作情報に関するコマンド

　●原点に関するコマンド

　●動作に関するコマンド

　●座標登録に関するコマンド

　●汎用 I/O に関するコマンド

　●自動に関するコマンド

21

23

23

24

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25

25

25

26

26

30

34

44

45

54

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56

■移動及び輸送 ⅳ

vii

8 ティーチング機能について 88

①チャンネルについて

②登録及び編集について

　●登録対象コマンド

③ティーチング操作

　●フロントパネルによる操作

　●コマンドによる操作

　●ジョグコントローラによる操作

　●汎用 I/O による操作

88

88

89

90

90

92

92

93

9. 原点復帰について 95

①機械原点復帰（Mode0）

②機械原点復帰（Mode1）

③機械原点復帰（Mode2）

④機械原点復帰（Mode3）

⑤機械原点復帰（Mode4）

⑥電気原点復帰

95

95

95

96

96

96

10. 動作テストについて 97

①ステップ動作テスト　SMT（F1 キー）

②リミットセンサ間動作テスト　LMT（F2 キー）

③微小ステップ動作テスト MMT（F5 キー）

97

97

98

7. パラメータについて 63

①パラメータ一覧

　●パラメータ種類

②表示画面の説明

　● PARAMETER モードのトップ画面

　●パラメータの編集画面

③ GENERAL パラメータへ移行手順

④パラメータ設定内容変更方法

　●設定例 1

　●設定例 2

⑤パラメータ説明の見方

⑥パラメータ説明

　● AXIS パラメータ

　● GENERAL パラメータ

63

63

65

65

65

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67

69

71

72

72

82

11. ステータスについて 99

①ステータス一覧

②内容説明

　●動作関連

　●エラー関連

99

99

99

101

12. 仕様 104

①基本性能

②一般仕様

③インターフェース仕様

　1）GP-IB

　　●接続

　　●通信

　　●接続を切るには

　　●仕様

　　●ピンアサイン及び回路図

　２）USB

　　●接続

　　●ドライバインストール（Windows OS のみ対応）

　　●通信

　　●接続を切るには

　　●仕様

　　●ピンアサイン　

104

104

105

105

105

105

105

105

106

107

107

107

107

107

107

107

　●自動登録専用に関するコマンド

　●設定に関するコマンド

61

62

viii

13. 外形図 114

14. トラブルシューティング 115

15. 索引 117


②リアパネル


　●右側面

　●左側面

114

114

114

114

114

　3）Ethernet

　　●接続

　　●通信

　　●仕様

　　●ピンアサイン

　　● LED

　4）汎用 I/O

　　●仕様

　　●ピンアサイン及び機能説明

　　●内部回路及び仕様

　5）緊急停止

　　●仕様

　６）モータドライバ設定スイッチ

　　●設定内容

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108

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113

1

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

1. 本機器の概要

本機器は、1nm 分解能のフィードバックステージをクローズドループ及びオープンループで制御するための機器です。通信インターフェースは GP-IB、USB、Ethernet で、ASCII 形式の通信コマンドによる遠隔操作が可能です。ティーチング機能を搭載しており、内部メモリに動作プログラムを書き込むことによって本機器単体で自動実行を行うことができます。ティーチング機能の操作はフロントパネル、汎用 I/O、各通信インターフェース、ジョグコントローラで行えます。

2. 箱の中身を確認する

箱を開けて、まず次のものが全て同梱されているかご確認ください。万一足りないものや損傷しているものがある場合は、当社または代理店へお問い合わせください。

名称型式または仕様数量備考

フィードバックステージコントローラ FC-911 1 -

電源ケーブル

プラグ： VM1072

1 AC125V, 7A, 2m, 耐トラッキングコネクタ： VM1289

コード： HVCTF

3P/2P 変換アダプタ CM-52 1 AC125V, 15A, 耐トラッキング

保護接地線、フレーム接続線 AWG18 2 3m, 緑 / 黄

ヒューズ 250V,2.5A, タイムラグ 4 出荷時に本製品に 2 本装着済

取扱説明書初版 1 本書

3. オプション

ジョグコントローラを用意しています。詳細は当社カタログまたはホームページをご覧ください。

2

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

4. 各部名称及び機能について

①フロントパネルフロントパネルの名称及び機能を説明します。

・表示器

表示器は本機器の情報を表示します。表示内容は座標値、ステータス、F1 ～ F8 キーまでの操作内容などのメニューを表示します。表示内容の詳細は「5. 表操作について」をご覧ください。

F1 ～ F4 は表示器の右側に表示される機能を実行します。また、青矢印はパラメータモードで使用します。F1 ～F4 については、「5. 操作について」を、青矢印については「7. パラメータについて」をご覧ください。

・F1 / 　　キー

・F3 / 　　キー

・ F4 / 　　キー

・F2 / 　　キー

F5 は表示器の右側に表示される機能を実行します。また、Enter はパラメータモードで、Page は INFOMATION モードで使用します。F5、Page については「5. 操作について」を、Enter については「7. パラメータについて」をご覧ください。

・ F5 / Enter / Page キー

F6 は表示器の右側に表示される機能を実行します。また、Cancel はパラメータモードで、Return はINFOMATION モードで使用します。F6、Return については「5. 操作について」を、Cancel については「7. パラメータについて」をご覧ください。

・ F6 / Cancel / Return キー

・ F7 キー

・ F8 キー

F7、F8 は表示器の右側に表示される機能を実行します。また、General はパラメータモードの、Setup はセットアップモードの表示に使用します。F7、F8、Setup については「5. 操作について」を、General については「7. パラメータについて」をご覧ください。

3

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

項目内容

パラメータデフォルト化されませんが、変更中の場合は変更した内容は反映されません。詳細は

「7. パラメータについて」をご覧ください。

モードパラメータ『Ini R/L/T』で設定されたモードで起動します。

座標値両軸がゼロセットされます。

ステージ動作中の場合は停止し、停止中の場合は停止したままになります。起動時に一度解磁されますがすぐに励磁されます。

コマンド

破棄されます。

ティーチング登録内容削除されませんが、編集後にコマンド「T_OFF:」の実行を行っていない場合、編集した内容は反映されず破棄されます。

通信

遮断されます。再起動完了後は初期状態になりますので、パラメータ『Ini R/L/T』で設定されたモードになります。通信を再開したい場合は、REMOTE モードへ移行して通信を開始してください。

USB 通信時のリンク切断されます。再リンクにはソフトウェアから COM ポートを閉じた後に、ケーブルの再接続をする必要があります。USB の詳細は「12. 仕様」-「②インターフェース」-「2)USB」をご覧ください。

ジョグコントローラモードに従って再起動します。

・Restart キー

Restart は本機器の再起動を実行します。キーを押して離すと電源投入時と同じ起動動作を行います。再起動後の状態を下記に示します。

再起動後にコマンド「D:」、「ACC:」の再設定をしないで、コマンド「A:」、「M:」を実行した場合、パラメータ『Max Speed』、『Acc Time』の速度で動作します。詳細は「7. パラメータについて」をご覧ください。

ご使用の制御ソフトウェアによっては、本機器の再起動完了後やモード変更後に通信が再開し、意図しないステージ動作をする場合があります。

・POWER キー

本機器の電源を操作します。リアパネルの MAIN POWER スイッチが ON のときに押すと電源が入ります。電源 ON及びスリープ状態の場合に押すと電源が切れます。但し、On ランプ、Off ランプ、Sleep ランプが消灯している場合、使用できません。操作方法を下記に示します。

電源を入れるときに 0.2 秒以上押しても電源が入らない場合、内部電源の出力が短絡または過負荷になっている可能性があります。リアパネルの MAIN POWER スイッチを OFF にして、電源ケーブルのプラグをコンセントから抜いてください。

警告

・電源を投入する前に、「■設置」及び「■周辺機器の接続」を必ずお読みください。

・長時間ご使用にならない場合は、リアパネルの MAIN POWER スイッチを OFF にしてください。

・リアパネルの MAIN POWER スイッチを OFF にする場合は、本キーで電源を切ってから行ってください。本キーで電源を切らないで、リアパネルの MAIN POWER スイッチを OFF にしますと、本キーの状態が ON のままですので、MAIN POWER スイッチを ON にしたとき、本キーを操作しなくても本機器の電源が入ります。

・On ランプ

・Off ランプ

電源を入れる電源を切る使用不可

1 秒以上押す0.2 秒以上押す

4

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

・LOCAL ランプ

・USB ランプ

・Ethernet ランプ

・GP-IB ランプ

本機器のモードを示しています。緑色のランプが点灯しているモードになっています。TEACH モードの場合はLOCAL ランプと REMOTE ランプの両方が点灯します。

LOCALREMOTE

TEACHUSB Ethernet GP-IB

※通信インターフェース　が GP-IB の場合

・LSTN ランプ

・TALK ランプ

・SRQ ランプ

通信インターフェースが GP-IB 設定のとき、通信を行うと LSTN ランプ、TALK ランプ、SRQ ランプが状態によって点灯します。LSTN ランプは本機器がコマンドを受信したときに点灯し、TALK ランプは外部へ送信したときに点灯します。SRQ ランプは本機器からサービスリクエストを実行したときに点灯します。

LSTN TALK SRQ

・Motor1 , 2 ランプ

ステージのモータ励磁状態を示しています。緑色のランプが点灯している軸が励磁、消灯している軸が解磁しています。

1 軸側ステージ　励磁 1 軸側ステージ　励磁 1 軸側ステージ　解磁 1 軸側ステージ　解磁

2 軸側ステージ　励磁 2 軸側ステージ　解磁ス 2 軸側ステージ　励磁 2 軸側ステージ　解磁

・Close1 , 2 ランプ

ステージの制御ループ状態を示しています。緑色のランプが点灯している軸がクローズドループ状態（Close）、消灯している軸がオープンループ状態（Open）になっています。

1 軸側ステージ　Close 1 軸側ステージ　Close 1 軸側ステージ　Open 1 軸側ステージ　Open

2 軸側ステージ　Close 2 軸側ステージ　Open 2 軸側ステージ　Close 2 軸側ステージ　Open

5

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

・Sleep ランプ

本機器がスリープ状態のときに点灯します。このとき、On ランプは消灯します。

・JC コネクタ

ジョグコントローラを接続するコネクタです。ジョグコントローラで本機器を操作できます。

当社ジョグコントローラ及び当社ジョグコントローラの仕様に準拠した機器以外は接続しないでください。本機器または接続した機器が故障する可能性があります。

警告

・スリープ機能について

起動状態と比較して消費電力が少なく、状態を保持しながら待機する機能です。スリープ状態では、表示器が消灯しモータが解磁されます。モード、座標値、ステータス、コマンドはスリープ実行前の状態を保持します。スリープ状態から復帰したとき、ステージのテーブルがスリープ実行前と異なる位置に移動していた場合、フィードバック制御によりスリープ実行前の座標値へ移動します。但し、スリープ状態でリミットエラー、オーバーフローエラー、緊急停止以外のエラーが発生した場合、スリープ実行前の座標値に戻せません。また、停電や瞬時電圧低下などにより本機器が再起動した場合、保持していたモード、座標値、ステータス、コマンドは全て破棄されます。エラーについては「11.ステータスについて」を、再起動については「Restart キー」をご覧ください。なお、スリープ状態のとき本機器が少し温かくなりますが故障ではありません。

ジョグコントローラを本機器から取り外すときは、ジョグコントローラへの電源供給を遮断してください。

6

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

・本機器に付属されている電源ケーブルを、他の機器の電源ケーブルに使用しないでください。

②リアパネルリアパネルのコネクタ及び端子を説明します。

・AC インレット

AC 電源供給用の電源ケーブル接続コネクタです。電源ケーブルのプラグをコンセントに差し込むまでの手順を次に示します。入力電圧が AC100V の場合、付属の電源ケーブルを使用してください。AC100V 以外の電圧でご使用になる場合は、ご使用になる国の安全規格を取得した電源ケーブルをご用意ください。接続可能な電源ケーブルの仕様は下記の通りです。不明な場合は、代理店にご確認ください。

過電圧カテゴリⅡの電源に接続してください。警告

・電源ケーブルは、付属品またはご使用になる国の安全規格を取得した電源ケーブル以外、使用しないでください。

手順 1 供給する AC 電源が本機器の入力電源範囲にあることを確認します。

手順 2 MAIN POWER スイッチが OFF になっていることを確認します。

手順 3 AC インレットに電源ケーブルを接続します。

手順 4 電源ケーブルのプラグをコンセントに差し込みます。

電流コネクタ長さ

７A 以上 IEC-60320-C13 2m 以下

・電源ケーブルのプラグをコンセントに差し込むまでの手順をお守りください。

取扱説明書に記載の注意事項を必ずお守りください。

100V-240V 50/60Hz 110VA MAX1

21

SCALE

OFF

MOTOR 2 ONMAIN POWER

Do not operate without reading safety precautions in instruction manual.警告WARNING

I/O Ethernet USBEMG

GP-IB

FUSE

250V 2.5ATime Lag

100V-240V 50/60Hz 110VA MAX

FUSE

250V 2.5ATime Lag

7

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

・接地は本機器に付属の保護接地線をご使用ください。

・本機器に付属されている保護接地線を、他の機器に使用しないでください。

・付属の電源ケーブルに付属の 3P/2P 変換アダプタを取り付けて使用する場合は、3P/2P 変換アダプタのアース線（緑色）をコンセントの大地アースに接続されているアース端子に接続するか、本端子を大地アースへ接続してください。

・ヒューズホルダ

ヒューズを装着するホルダです。ヒューズの仕様とヒューズ交換手順は下記の通りです。

手順 1 MAIN POWER スイッチが OFF になっていることを確認します。

手順 2 電源ケーブルのプラグをコンセントから外します。

手順 3 AC インレットから電源ケーブルを外します。

手順 4 細いマイナスドライバーなどの先を下図 A 部の溝に引っ掛け、矢印の方向に力を加えてホルダを外します。

電圧電流特性サイズ

AC250V 2.5A タイムラグ φ 5mm × 20mm

手順 5 上記仕様のヒューズに 2 本とも交換します。

手順 6 ヒューズを交換したホルダを AC インレットへ確実に押し込みます。

手順 7 AC インレットに電源ケーブルを接続します。

手順 8 AC インレットの差し込み手順に従って電源ケーブルを接続してください。

・本機器に付属されているヒューズを他の機器のヒューズに使用しないでください。

・交換する場合は必ず 2 本とも交換してください。

・保護接地端子

本機器を大地アースへ接地するための端子です。丸型の圧着端子側を本端子に接続してください。AC インレットに接続する電源ケーブルがアース端子付きでアース端子付きのコンセントに接続し、そのコンセントのアース端子が大地アースに接地されている場合は、本端子を大地アースに接続する必要はありません。

アース端子が無い電源ケーブルを使用する場合、クラスⅠ機器ですので、必ず大地アースへ接地してください。接地を行わないと感電の恐れがあります。

警告

A

100V-240V 50/60Hz 110VA MAX

FUSE

250V 2.5ATime Lag

8

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

・フレーム端子

本機器に接続しているステージを固定している定盤または金属架台などと本機器を接続するための端子です。丸型の圧着端子側を本端子に接続してください。

保護接地端子として使用しないでください。警告

接続を行わないと誤動作する場合があります。注意

・接続は付属のフレーム接続線をご使用ください。

・本機器に付属されているフレーム接続線を、他の機器に使用しないでください。

・MAIN POWER スイッチ

メイン電源の ON、OFF を行います。操作部の倒れている側がスイッチの状態になります。本スイッチを ON にするだけでは、本機器の電源は入りません。フロントパネルの POWER キーを操作することで、本機器の電源が入ります。

・本スイッチで電源を投入する前に、「■設置」及び「■接続」を必ずお読みください。

・長時間ご使用にならない場合は、本スイッチを OFF にしてください。

・本スイッチを OFF にする場合は、フロントパネルの POWER キーで電源を切ってから行ってください。POWER キーで電源を切らないで、本スイッチを OFF にしますと、 POWER キーの状態が ON のままですので、本スイッチを ON にしたとき、POWER キーを操作しなくても本機器の電源が入ります。

OFF

ONMAIN POWER

・モータケーブル接続コネクタ

ステージのモータケーブルを接続します。左側のコネクタに 1 軸側のステージを、右側のコネクタに 2 軸側のステージを接続してください。

当社の 1nm 分解能のフィードバックステージ及び当社のステージ仕様に準拠した 1nm 分解能のフィードバックステージ以外は接続しないでください。

警告

必ず電源が入っていない状態で、1 軸側と 2 軸側にそれぞれのモータケーブルとスケールケーブルを正しく接続してください。接続を間違えますと意図しない動作になります。

注意

2MOTOR1

9

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

・スケールケーブル接続コネクタ

ステージのスケールケーブルを接続します。左側のコネクタに 1 軸側のステージを、右側のコネクタに 2 軸側のステージを接続してください。

当社の 1nm 分解能のフィードバックステージ及び当社のステージ仕様に準拠した 1nm 分解能のフィードバックステージ以外は接続しないでください。

警告

必ず電源が入っていない状態で、1 軸側と 2 軸側にそれぞれのモータケーブルとスケールケーブルを正しく接続してください。接続を間違えますと意図しない動作になります。

注意

・GP-IB 接続コネクタ

GP-IB ケーブルを接続します。GP-IB インターフェースにて本機器を操作したいときに使用します。詳細は「12. 仕様」-「②インターフェース仕様」-「1)GP-IB」をご覧ください。

・USB 接続コネクタ（B タイプ）

USB ケーブルを接続します。USB インターフェースにて本機器を操作したいときに使用します。詳細は「12. 仕様」-「②インターフェース仕様」-「2）USB」をご覧ください。

・Ethernet 接続コネクタ（LAN）

Ethernet ケーブルを接続します。Ethernet インターフェースにて本機器を操作したいときに使用します。詳細は「12. 仕様」-「②インターフェース仕様」-「3）Ethernet」をご覧ください。

・EMG コネクタ

緊急停止用スイッチを接続します。ステージの動作を緊急停止させたいときに使用します。詳細は「12. 仕様」-「②インターフェース仕様」-「5）緊急停止」をご覧ください。

ご使用になる場合は、必ずパラメータ『EMG Connecter』を Enable に変更し、試験動作を行い使用可能なことをご確認ください。

警告

AC アダプタなどの電力を出力するものを接続しないでください。注意

・汎用 I/O コネクタ

汎用入力及び出力、ティーチング操作入力及び状態出力、スケール分割信号出力、インポジション信号出力、アラーム信号出力を備えております。詳細は「12. 仕様」-「②インターフェース仕様」-「4）汎用 I/O」をご覧ください。

1 2

SCALE

I/O

GP-IB

USB

Ethernet

EMG

10

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

③サイドパネルサイドパネルについて説明します。

●右側面

・長穴

・設定スイッチ

ベンチレーション用の吸気スリットです。

吸気スリットはふさがないでください。詳細は「■設置」をご覧ください。注意

モータドライバ設定用のダイヤルスイッチです。

●左側面

・長穴

ベンチレーション用の排気スリットです。

排気スリットはふさがないでください。詳細は「■設置」をご覧ください。注意

・電動ファン

冷却用ファンです。

ご使用の環境により、設定変更をお願いする場合がありますが、それ以外は変更しないでください。故意に変更しますと、意図しないステージ動作をする場合があります。

注意

11

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

④ビープ音本機器の操作時にビープ音がなります。ビープ音はパラメータで鳴らさないようにできます。なお、ビープ音が一瞬途切れる場合がありますが、故障ではありません。

ビープ音の長さ操作

0.1 秒程度・キー操作・コマンド「RESET:」の完了

0.1 秒程度 2 回・コマンド「RESET:」の開始

0.3 秒程度（2 段階音）・スリープ状態へ移行及び復帰

0.4 秒程度・POWER キーの操作・Restart キーの操作

1 秒程度・ステージのリミット突入

2 秒程度・エラー発生

連続鳴動※ 1（鳴らさないようにできません）・内部電源の出力の短絡または過負荷　（トラブルシューティングをご覧ください）

※ 1　音量は、内部電源の過負荷の程度により異なります。また、スリープ状態でも鳴ります。

12

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

5. 操作について

操作方法について説明します。操作モードは以下の種類があります

モード内容

SETUP モードの切り替えを行えます。

LOCAL フロントパネルキーやジョグコントローラによる操作を行えます。

REMOTE 各通信インターフェースを使用した通信による操作を行えます。

TEACH 内蔵メモリに登録されたコマンドによる自動実行を行えます。

動作テストテスト動作の実行を行えます。

PARAMETER パラメータの操作を行えます。

INFORMATION 本機器の情報を表示します。

① SETUP モード

モードの切替えを行います。LOCAL、REMOTE、TEACH モードで、何も実行していない状態で F7 と F8 キーの両方を同時に押すと移行できます。

No 項目内容

1 軸名上側が 1 軸側、下側が 2 軸側になります。表示内容は、パラメータ『AXIS Name』の設定によります。この場合、X が 1 軸側、Y が 2 軸側になります。

2 位置決め状態

　　　　　位置決め完了してインポジション範囲内に留まっています。（READY ※ 1）　　　　　インポジション範囲についてはパラメータ「INPos Range」をご覧ください。

　　　　　位置決め完了後でインポジション範囲から外れています。（READY ※ 1）

　　　　　位置決め動作中※ 3 です。（BUSY ※ 2）

表示なし　指令動作中※ 4　またはエラー発生中です。（BUSY ※ 2）

3 座標値　上側が 1 軸側、下側が 2 軸側になります。エンコーダの読取値、または指令値のどちらかをパラメータ『Count Sel』で設定します。

4 単位　

上側が 1 軸側、下側が 2 軸側になります。表示内容は、パラメータ『Unit Select』の設定によります。この場合、両軸ともミリメートルになります。・ナノメートルの場合、「n」となります。・マイクロメートルの場合、「u」となります。・度の場合、「°」となります。・表示なしの場合、座標値の最小桁が 1nm の桁となる表示となります。

5 ステータス「11. ステータスについて」をご覧ください。

6 ジョグコントローラ

　文字表示　　ジョグコントローラへの電力供給をしています。

　　　　空白　　　　ジョグコントローラへの電力供給を遮断しています。

表示なし　　ジョグコントローラのコネクタの接続がされていません。

7 メニュー F1 ～ F7 キーに対応しています。

X 0 . 0 0 0 0 0 0 m M O D J O N

Y 0 . 0 0 0 0 0 0 m J P R M J O FX C W L I M I T S L P R T N

Y C C W L I M I T I N F

2 3 4 7

5

1

1 ～ 6 は各モード共通です。

6

※ 1　全ての操作を受付けている状態です。※ 2　動作に関する操作を拒否している状態です。※ 3　BEC キー及びコマンド「BEC:」を使用できます。※ 4　BEC キー及びコマンド「BEC:」を使用できません。

Ｊ

13

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

KEY 表示内容

F1 MODモードを選択します。押す毎に切り替わります。LOCAL → REMOTE → TEACH → LOCAL へ戻る

F2 PRM PARAMETER モードへ移行します。

F3 SLP

スリープを実行します。両軸とも位置決め完了状態、エラーが発生していない、ティーチング実行が完了しているときに実行できます。詳細は「4. 各部名称及び機能について」-「①フロントパネル」-「Sleep機能について」をご覧ください。スリープ状態から復帰する場合はF1～F8キーのいずれかを押してください。

F4 INF INFORMATION モードへ移行します。

F5 JON ※ 1 ジョグコントローラへの電力供給をします。

F6 JOF ※ 1, 2 ジョグコントローラへの電力供給を遮断します。

F7 RTN SETUP モードへ移行する前のモードに戻ります。

F8 - 設定項目はありません。

※ 1　ジョグコントローラのコネクタが接続されていない場合は非表示、接続されている場合はどちらかが表示されます。※ 2　位置決めが完了している、またはエラーが発生してステージが停止している場合のみ使用可能です。

② LOCAL モード

本機器のフロントパネルでステージを操作できます。本モードへの移行方法については「① SETUP モード」をご覧ください。

2 3

1

X 0 . 0 0 0 0 0 0 m L C C W C W

Y 0 . 0 0 0 0 0 0 m C C W C WX X : 1 P L S

Y 1 Y : 1 M E U

No 項目内容

1 指令パルス量 CW、CCW 操作によるパルス動作での指令パルス量です。（1 パルス = 1nm）

2 モード L（LOCAL）が表示されます。


フロントパネルでステージを操作するときに表示されるメニューです。メニューの切替えは F7 キーまたは F8キーで行います。

m L C C W C W

m C C W C WX : 1 P L S

1 Y : 1 M E U

メニュー 1

メニュー 3

メニュー 2

RTN

MEU

MEU

RTN

RTN

MEU

MEU

m L Z E O B E C

m Z E O B E CM T R R T N

C L S M E U

m L O R G E O G

m O R G E O G

S T PR T N

M E U

14

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

MENU KEY 対象軸表示内容

1

F1 1 CCW ※ 1対象軸のステージを CCW 方向（モータ側）に動作させます。長押しで連続動作し、1 回押し（シングルクリック）でパルス動作になります。リミットに入ると点滅します。連続動作時の動作中の制御状態は、パラメータ「Jy Cont」及び「Stage Cont Type」の設定により異なります。F2 2 CCW ※ 1

F3 1 3, 2, 1対象軸の CW、CCW 操作時の動作速度を選択します。押す毎に動作速度が切替わります。速度はパラメータ『Jog Speed ３』『Jog Speed 2』『Jog Speed 1』の設定によります。起動時は 1 です。軸表示は、パラメータ『AXIS Name』の設定によります。この場合、1 軸側が X、2 軸側が Y です。速度段階 1 → 速度段階 2 → 速度段階 3 → 速度段階 1 へ戻るF4 2 3, 2, 1

F5 1 CW ※ 1対象軸のステージを CW 方向（モータ側）に動作させます。長押しで連続動作し、1 回押し（シングルクリック）でパルス動作になります。リミットに入ると点滅します。連続動作時の動作中の制御状態は、パラメータ「Jy Cont」及び「Stage Cont Type」の設定により異なります。F6 2 CW ※ 1

F7 -PLS,

PLT

CW、CCW 操作時のパルス動作の指令パルス量を選択します。表示が PLS のとき、押す毎に切替わります。起動時は 1 パルスです。動作速度は、パラメータ「Jog Speed 1」の設定によります。CW、CCW キーを 1 回押し（シングルクリック）すると、表示が点滅した PST に変わり、本キーで動作を停止させることができます。パルス動作の終了または動作を停止させると、表示が PLS に戻ります。1 パルス → 10 パルス → 100 パルス → 1000 パルス → 1 パルスへ戻る

F8 - MEU メニュー 2 へ切り替えます。

F7+F8 - -何も実行していない状態で両方を同時に押すと SETUP モードへ移行します。SETUP モードについては「① SETUP モード」をご覧ください。

2

F1 1 ZEO ※ 1対象軸の座標値をゼロセットします。

F2 2 ZEO ※ 1

F3 - MTR

モータの励磁、解磁を選択します。押す毎に切替わります。励磁、解磁の確認は、フロントパネルの Motor ランプをご覧ください。1 軸　励磁 → 励磁 → 解磁 → 解磁 → 最初へ戻る2 軸　励磁　解磁　励磁　解磁

F4 - CLS

クローズドループ（Close）及びオープンループ（Open）制御を選択します。押す毎に切替わります。Close、Open の確認は、フロントパネルの Close ランプをご覧ください。1 軸　Close → Close → Open → Open → 最初へ戻る2 軸　Close　 Open 　Close 　Open

F5 1 BEC対象軸のビジーエラーキャンセルをします。強制的な位置決め完了（位置決め動作中のみ）や、緊急停止状態、座標値を維持したエラーの解除ができます。解除可能なエラーはリミットエラー、オーバーフローエラーです。緊急停止状態はどちらのキーでも可能です。F6 2 BEC

F7 - RTN メニュー 1 へ戻ります。

F8 - MEU メニュー 3 へ切り替えます。


3

F1 1 ORG ※ 1対象軸のステージを機械原点復帰します。パラメータ『ORG Mode Sel』により復帰方法を選択できます。復帰方法は「9. 原点復帰について」をご覧ください。なおソフトウェアリミットを設定していてもソフトウェアリミットは無視されます。ソフトウェアリミットについては、パラメータ『Soft LMT Sel』、『Soft LMT Pos』をご覧ください。F2 2 ORG ※ 1

F31 , 2 STP 機械原点復帰及び電気原点復帰の動作を停止します。

F4

F5 1 EOG ※ 1 対象軸のステージを電気原点復帰します。復帰方法は「9. 原点復帰について」をご覧ください。F6 2 EOG ※ 1

F7 - RTN メニュー 1 へ戻ります。

F8 - MEU メニュー 1 へ戻ります。


・モータを解磁する前やステージを動作させる前に、周囲に影響がないことをご確認ください。

※ 1　片軸動作中でも、もう片軸の操作ができます。

15

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

③ REMOTE モード

コマンドで本機器を操作できます。インターフェースは USB、GP-IB、Ethernet があり、パラメータ「I/F Sel」でいずれかを選択できます。本モードへの移行方法については「① SETUP モード」をご覧ください。パラメータについては「7. パラメータについて」を、各通信インターフェースについては「12. 仕様」をご覧ください。

KEY 表示内容









F7+F8 -何も実行していない状態で両方を同時に押すと SETUP モードへ移行します。SETUP モードについては「① SETUP モード」をご覧ください。

１

X 0 . 0 0 0 0 0 0 m R

Y 0 . 0 0 0 0 0 0 mX

Y

No 項目内容

1 モードR（REMOTE）が表示されます。また、パラメータ設定モードに移行した場合、P（PARAMETER）が表示されます。詳細は、「6. コマンドについて」をご覧ください。

パラメータで設定した通信インターフェース以外のケーブルを接続しないでください。

④ TEACH モード

本機器の内蔵メモリに登録した動作プログラムを実行できます。動作プログラムには、本機器のコマンドを使用します。本モードへの移行方法については「① SETUP モード」を、操作などの詳細については「8. ティーチング機能について」をご覧ください。

16

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

⑤動作テストモード

ステージの動作テストを行います。本モードへの移行は、TEACH モードへ移行後、F5 キーを 2 回連続押し（ダブルクリック）します。移行後、本モードを終了させる場合は、RST キーにて本機器をリセットしてください。TEACH モードについては「④ TEACH モード」を、動作の詳細については「10. 動作テストについて」をご覧ください。

KEY 対象軸表示内容

F1 1 , 2 SMT ステップ動作テストを行います。ストローク間を 10 分割した距離で動作します。

F2 - LMT リミット間動作テストを行います。リミット間を往復動作させます。

F3 １ 3, 2, 1 テスト動作の動作速度を選択します。押す毎に動作速度が切り替わります。速度はパラメータ『Jog Speed 3』『Jog Speed 2』『Jog Speed 1』の設定によります。起動時は 1 です。F4 ２ 3, 2, 1

F5 - MMT ステップ動作テストを行います。ストローク間を 1mm ステップで動作します。

F6 - STP テスト動作を停止します。

F7 - RST 本モードを終了させるため、本機器をリセットします。

F8 - - 設定項目はありません。

1

・ステージを動作させる前に、周囲に影響がないことをご確認ください。

No 項目内容


⑥ PARAMETER モード

パラメータの確認及び変更を行います。本モードへの移行方法については「① SETUP モード」を、操作については「7. パラメータについて」をご覧ください。

X 0 . 0 0 0 0 0 0 m S M T M M T

Y 0 . 0 0 0 0 0 0 m L M T S T PX X : 1 R S T

Y Y : 1

17

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

⑦ INFORMATION モード

コントローラの機種名などの情報を表示します。

●機種情報

KEY 表示内容





F5（Page） - 2 ページ目へ移動します。

F6（Return）- INFORMATION モードへ移行する前のモードに戻ります。



機種及び通信設定の情報を表示します。キー操作はフロントパネルの赤文字（Page/Return）を使用します。本モードへの移行方法については「① SETUP モード」をご覧ください。

2 31

No 項目内容

1 ページ番号ページ番号です。

2 表示項目 Model 機器情報であることを表しています。

3 表示内容

Vendor ベンダー名

Model 機種名

S/N シリアル番号

E/N 機種番号

F/V ファームウェアバージョン

[ I n f o M e n u 1 / * - M o d e l ]

V e n d o r : S I G M A T E C H

M o d e l : F C - 9 1 1

S / N : 0 0 0 0

E / N : 0 0 . 0 0

F / V : 0 0 . 0 0 0

18

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

パラメータ『I/F Sel』で GP-IB インターフェースに設定している場合、GP-IB の設定内容を表示します。

● GP-IB インターフェース情報表示

2 31

KEY 表示内容









No 項目内容


2 表示項目 IF 通信情報であることを表しています。

3 表示内容

IF 現在設定されているインタフェース

Addr GP-IB アドレス設定値（パラメータ『GP-IB Addr』をご覧ください。）

Del GP-IB デリミタ（パラメータ『GP-IB Del』をご覧ください。）

EOI GP-IB EOI 出力（パラメータ『GP-IB EOI』をご覧ください。）

SRQ GP-IB SRQ 出力（パラメータ『GP-IB SRQ』をご覧ください。）

[ I n f o M e n u 2 / 2 - I F ]

I F : G P - I B

A d d r : 8

D e l : C R

E O I : O F F

S R Q : O F F

19

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

パラメータ『I/F Sel』で USB インターフェースに設定している場合、USB の設定内容を表示します。

● USB インターフェース情報表示

2 31

KEY 表示内容









No 項目内容



3 表示内容IF 現在設定されているインタフェース

Del USB デリミタ（パラメータ『USB Del』をご覧ください。）

[ I n f o M e n u 2 / 2 - I F ]

I F : U S B

D e l : C R + L F

20

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

パラメータ『I/F Sel』で Ethernet インターフェースに設定している場合、Ethernet の設定内容を表示します。

● Ethernet インターフェース情報表示

2 31

2 31

KEY 表示内容





F5（Page） - 2 ページ目の場合 3 ページ目へ移動し、3 ページ目の場合 1 ページ目へ移動します。




No 項目内容



3 表示内容

IF 現在設定されているインタフェース

Del Ethernet デリミタ（パラメータ『ETHER Del』をご覧ください。）

IP Ethernet IP アドレス（パラメータ『IP Address』をご覧ください。）

DGW Ethernet デフォルトゲートウェイ（パラメータ『Default GateWay』をご覧ください。）

SNM Ethernet サブネットマスク（パラメータ『Sabnet Mask』をご覧ください。）

MAC Ethernet MAC アドレス

PORT Ethernet ポート番号

[ I n f o M e n u 2 / 3 - I F ]

I F : E t h e r n e t

D e l : C R + L F

I P : 0 0 0 . 0 0 0 . 0 0 0 . 0 0 0

D G W : 0 0 0 . 0 0 0 . 0 0 0 . 0 0 0

S N M : 0 0 0 . 0 0 0 . 0 0 0 . 0 0 0

[ I n f o M e n u 3 / 3 - I F ]

M A C : 0 0 - 0 0 - 0 0 - 0 0 - 0 0 - 0 0

P O R T : 6 0 0 0 0

21

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

6. コマンドについて

本機器をコマンドで操作することができます。コマンドはASCIIコードで各通信インターフェースから送信します。

①コマンド一覧

使用できるモードは L（LOCAL）、R（REMOTE）、T（TEACH）モードです。これ以外のモードでコマンドはご使用

できません。

項目 No, コマンド名機能有効

モード位置決め

状態掲載

ページ

制御 01 RESET: リセットの実行 L R T R B

26

02 *RST リセットの実行 L R T R B

03 RESET_RET: リセット実行（完了後に END を返信） L R T R B

04 SLEEP: スリープの実行及び復帰 L R T R

05 SLEEP_RET: スリープの実行及び復帰（完了後に状態を返信） L R T R

06 SLEEP? スリープ状態の確認 L R T R

2707 MODE: モードの変更 L R T R

08 MODE? モードの確認 L R T R B

09 F: ステージ制御方法（Close 及び Open）の変更 R T R

2810 FR: ステージ制御方法（Close 及び Open）の取得 R R

11 C: モータ状態（励磁及び解磁）の変更 R T R

12 CR: モータ状態（励磁及び解磁）の取得 R R

2913 BEC: ビジーエラーキャンセルの実行 L R T R B

14 CMDR: 本コマンド送信前に書き込んだコマンドの取得 L R T R B

15 ECHO: コマンドエコーバックの有効、無効を変更 R R30

16 ECHOR: コマンドエコーバック状態の確認 R R

汎用

情報

17 *IDN? 機器情報の取得 L R T R

3018 VENDOR: ベンダー名の取得 R R

19 MODEL: 機種名の取得 R R

20 SN: シリアル番号の取得 R R

3121 EN: 機器番号の取得 R R

22 FV: ファームウェアバージョンの取得 R R

23 RESO: 分解能の取得 R R

24 LIMR: ステージストロークの取得 R R32

25 AN: 軸名の取得 R R

26 UNT: 単位の取得 R R 33

動作情報

27 Q:ステータスの取得

（座標値 , エラー関連 , 動作関連 , 位置決め情報）R T R B 34

28 SRQ:ステータスの取得

（エラー関連 , 動作関連 , 位置決め情報）R T R B 37

29 P: ステータスの取得（座標値のみ） R T R B 39

30 ER:ステータスの取得

（各軸のビット表示のエラー関連のみ）R T R B 40

31 STS: ステータスの取得（動作関連のみ） R T R B 42

32 !: ステータスの取得（位置決め情報のみ） R T R B 43

↓次ページへ続く

・コマンド制御をはじめる前に、通信インターフェースが正常に動作していることをご確認ください。

・コマンドをご使用になる前に、機能を十分にご理解ください。

・コマンドの送信から送信までの時間間隔は 10msec 以上にしてください。

・有効モード

L 　LOCAL モード時使用可能です。

R 　REMOTE モード時使用可能です。

R 　REMOTE モードで、コマンド「PRM_ON:」実行後に使用可能です。

T 　ティーチングモード時に使用可能です。

T 　ティーチングモードで、ティーチングプログラムとして内蔵メモリへ登録のみ可能です。

・位置決め状態

R 　位置決め完了状態で使用可能です。

B 　位置決め未完了状態で使用可能です。

- 　位置決め状態に関係ないコマンドです。


22

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

項目 No, コマンド名機能有効

モード位置決め

状態掲載

ページ

原点 33 H: 機械原点復帰を実行 R T R44

34 Z: 電気原点復帰を実行 R T R

35 R: 電気原点設定（ゼロセット）を実行 R T R45

36 LIMG: ステージストローク検出を実行 R R

動作 37 L: 動作停止及び緊急停止 R R B 45

38 ACC: 加減速の設定 R T R46

39 ACCR: 加減速を取得 R R B

40 D: 動作速度の設定 R T R 47

41 DR: 動作速度を取得 R R B 48

42 A: 絶対移動座標値の設定 R T R 49

43 M: 相対移動距離の設定 R T R 50

44 G 動作開始（動作完了後に設定値が破棄される） R T R

5145 GN:

軸指定による動作開始（動作完了後でも設定値が維持される）

R T R

46 GC: コマンド「A:」「M:」で設定された値の削除 R R52

47 GR: コマンド「A:」「M:」で設定された値を取得 R R B

48 JG: パルス数指定動作を実行 R T R53

49 JY: 連続動作（速度変更可）を実行（距離指定しない） R R B

座標登録

50 PIT_DEL: 指定番号に登録されている位置情報の削除 R R

5451 PIT_SET: 現在の座標値を指定番号に登録 R R

52 PIT_GET: 指定番号に登録されている座標値の取得 R R

53 PITG: 指定番号に登録されている座標値へ動作開始 R R 55

汎用I/O

54 I: 汎用 I/O 入力状態の取得 R T R B55

55 O: 汎用 I/O 出力状態を設定 R T R B

自動 56 T_ON: ティーチング編集モードへ移行 T R

56

57 T_OFF: ティーチング内容を保存して通常モードへ戻る T R

58 T_DEL: ティーチング登録した内容を削除 T R

59 T_SET: ティーチング内容を設定 T R

60 T_GET: ティーチング登録した内容を取得 T R

61 TC: ティーチングのチャンネルを選択 T R

62 TCR: 現在のティーチングチャンネルを取得 T R B

57

63 TQ: ティーチングに関するステータスを取得 T R B

64 TG: 選択されているチャンネルで実行開始 T R

65 TP: ティーチング動作を一時停止 T R B

66 TO: ティーチング内容を 1 行ずつ実行 T R

67 TL: ティーチング動作を停止及び緊急停止 T R B

5868 TR: ティーチングチャンネル登録状態を取得 T R B

69 TFR: ティーチングループ回数を取得 T R B

70 TM: ティーチングモニタ設定 T R 59

71 TMR: ティーチングのモニタ設定状態を取得 T R

6072 TNR: 現在のティーチング行番号を取得 T R B

73 TACR: 現在のティーチング実行コマンドを取得 T R B

自動登録専用

74 FS: ループ設定 T -

61

75 FE: ループ終了 T -

76 END: ティーチング実行終了 T -

77 T: ウェイトタイム T -

78 GIS: 指定した汎用入力状態になるまで待機 T -

設定 79 PRM_ON: パラメータ設定モードへ移行 R R

6280 PRM_OFF: パラメータ設定モードから移行前のモードへ移行 R R B

81 PRM_SET: パラメータを設定 R R B

82 PRM_GET: パラメータを取得 R R B

23

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

07 MODE: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明本機器のモードを変更します。

No, 1

送信形式 M O D E : L O C A L

R E M O T E

T E A C H

No, 項目付加コマンド説明

1 制御

LOCAL LOCAL モードへ移行

REMOTE REMOTE モードへ移行

TEACH TEACH モードへ移行

②コマンド説明の見方

●送信記述形式

1 2 53

6

4

No 詳細説明項目説明

1 項目番号 - 項目番号です。

2 コマンド - コマンドの名称です。

3 説明 - コマンドの機能説明です。

4 送信形式 - コマンド送信時の形式です。

5

使用可能モード

LOCAL 黒文字が使用可能で、灰色文字が使用不可であることを表しています。REMOTE の反転文字はコマンド「PRM_ON:」実行後に使用可能です。TEACH の反転文字は、ティーチングプログラムとして内蔵メモリへの登録のみ可能であることを表しています。

REMOTE

REMOTE

TEACH

TEACH

制御状態READY ※ 1 黒文字が使用可能で、灰色文字が使用不可であることを表しています。

BUSY ※ 2

方法

送信送信のみのコマンドであることを表しています。

送信・返信コマンド送信後、返信があるコマンドであることを表しています。

登録 TEACH モードの登録専用コマンドであることを表しています。

6 詳細説明

No, 送信形式ブロック番号です。

付加コマンド付加コマンドの名称です。

説明付加コマンドの内容です。

コマンド説明ページの見方について説明します。

送信形式を説明します。送信コマンドでは本機器からの返信はありません。本取扱説明書での送信とは、パソコンから本機器へコマンドを送ることをいいます。また、コマンド形式は大文字小文字の区別はありません。

※ 1　全ての操作を受け付けている状態です。※ 2　動作に関する操作を拒否している状態です。

24

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

08 MODE? LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信・返信

説明本機器の現在のモードを確認します。

送信形式 M O D E ?

No, 1 2

返信形式 ***

, ****

項目 No,1 No,2 説明

ステータス

LOCAL

なし LOCAL モード状態

SETUP SETUP モード状態

PRM PARAMETER モード状態（SETUP モードからの状態移行）

INFO INFORMATION モード状態

REMOTE

なし REMOTE モード状態

PRMCMD PARAMETER モード状態（「PRM_ON:」コマンドにて状態移行）




TEACH

JOGCMD TEACH モード状態（JOG 及びコマンド操作状態）※ 1

IO TEACH モード状態（I/O ポート操作状態）※ 1

EDIT TEACH 編集モード状態（「T_ON:」コマンドにて状態移行）

TEST 動作テスト状態




※ 1　コマンド「PRM_GET:A15」による返信内容で確認できます。

※返信例 1（LOCAL モードだった場合）

送信返信

MODE ？ LOCAL

※返信例 2（REMOTE モードで「PRM_ON:」コマンド発行後の場合）

送信返信

MODE ？ REMOTE,PRMCMD

●送信・返信記述形式

No 詳細説明項目説明

1 返信形式 - 返信形式です。

2 詳細説明

No, 返信形式のブロック番号です。

返信返信文字です。

説明返信文字の内容です。

3 返信例 - 返信例です。

32

送信・返信コマンドの形式を説明します。送信・返信コマンドでは、送信後に本機器からの返信があります。本取扱説明書での送信とは、パソコンから本機器へコマンドを送ることをいいます。返信とは本機器からパソコンへ返信があることをいいます。また、コマンド形式は大文字小文字の区別はありません。

1

16 ECHOR: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信・返信

説明コマンドのエコーバックの選択状態を確認します。

送信形式 E C H O R :

No, 1

返信形式 O

1

No, 項目返信説明

1 ステータス0 エコーバックしない

1 エコーバックする

21

25

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

③エコーバックについて

直前に送信したコマンド記述を返信する機能です。エコーバック機能を ON にした場合、直前に送信したコマンドをエコーバックします。次のコマンドを送信する前に、必ず返信内容の受信処理を行ってください。なお、送信したコマンドがコマンドエラーであった場合、"CMD ER" が返信されます。

●返信がないコマンドを送信した場合

送信コマンド M O D E : L O C A L

No, 1

返信内容 M O D E : L O C A L

No, 説明

1 送信コマンドを返信

●返信があるコマンドを送信した場合

送信コマンド M O D E ?

No, 1 2 3

返信内容 M O D E ? L O C A L

No, 説明

1 送信コマンドを返信

2 スペース

3 「MODE?」コマンドの返信内容を返信

●送信コマンドによりコマンドエラーが発生した場合

本機器に定義されていない、または本機器の状態に合わないコマンド文字列を送信し、コマンドエラーが発生した場合

送信コマンド ***

No, 1

返信内容 C M D E R

※ CMD と ER の間はスペースです。

No, 説明

1 コマンドエラーを返信

26

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

●制御に関するコマンド

01 RESET: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明本機器を再起動します。

USB 通信のリンクの切断はされません。それ以外はフロントパネルの Restart キーと同じです。

送信形式 R E S E T :

02 *RST LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明本機器を再起動します。


送信形式 * R S T

03 RESET_RET: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信・返信

説明本機器を再起動し、完了後に案内を返信します。


送信形式 R E S E T _ R E T :

No, 1

返信形式 E N D


1 ステータス END 再起動完了

04 SLEEP: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明本機器をスリープ状態に移行、またはスリープ状態から復帰させます。両軸とも位置決め完了状態、

エラーが発生していない、ティーチング実行が完了しているときにスリープ状態に移行させることが

できます。但し、上記の状態でもパラメータ及びティーチング登録内容の編集中は移行できません。

スリープについての詳細は「4. 各部名称及び機能について」-「①フロントパネル」-「Sleep 機能に

ついて」をご覧ください。

No, 1

送信形式 S L E E P : 0

1


1 ステータス0 スリープ状態から復帰

1 スリープ状態へ移行

④コマンド説明

05 SLEEP_RET: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信・返信

説明本機器をスリープ状態へ移行またはスリープ状態から復帰し、各状態完了後に案内を返信します。

両軸とも位置決め完了状態、エラーが発生していない、ティーチング実行が完了しているときに

スリープ状態に移行させることができます。スリープについての詳細は「4.各部名称及び機能について」

-「①フロントパネル」-「Sleep 機能について」をご覧ください。

No, 1

送信形式 S L E E P _ R E T : 0

1


1 制御0 スリープ状態から復帰

1 スリープ状態へ移行

No, 1

返信形式 0

1


1 ステータス0 復帰完了

1 スリープ移行完了

27

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

06 SLEEP? LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信・返信

説明スリープ状態を確認します。スリープについての詳細は「4. 各部名称及び機能について」


送信形式 S L E E P ?

No, 1

返信形式 0

1


1 ステータス0 通常起動状態

1 スリープ状態

07 MODE: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送受

説明本機器のモードを変更します。

No, 1

送信形式 M O D E : L O C A L

R E M O T E

T E A C H


1 制御

LOCAL LOCAL モードへ移行

REMOTE REMOTE モードへ移行

TEACH TEACH モードへ移行

08 MODE? LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信・返信

説明本機器の現在のモードを確認します。

送信形式 M O D E ?

No, 1 2

返信形式 ***

, ****

項目 No,1 No,2 説明

ステータス

LOCAL

なし LOCAL モード状態




REMOTE

なし REMOTE モード状態

PRMCMD PARAMETER モード状態（「PRM_ON:」コマンドにて状態移行）




TEACH

JOGCMD TEACH モード状態（JOG 及びコマンド操作状態）　※ 1

IO TEACH モード状態（I/O ポート操作状態）※ 1

EDIT TEACH 編集モード状態（「T_ON:」コマンドにて状態移行）

TEST 動作テスト状態




※ 1　コマンド「PRM_GET:A15」による返信内容で確認できます。

※返信例 1（LOCAL モードだった場合）

送信返信

MODE ？ LOCAL

※返信例 2（REMOTE モードで「PRM_ON:」コマンド発行後の場合）

送信返信

MODE ？ REMOTE,PRMCMD

28

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

10 FR: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信・返信

説明フィードバックステージの制御方法（クローズドループ制御、オープンループ制御）を取得します。

No, 1

送信形式 F R :

1

2

W

No, 項目付加コマンド説明返信形式ブロック No,

1 軸

指定なしパラメータ『AXIS Sel』の設定軸※ 設定軸による

1 1 軸側を指定 1


W 両軸を指定 1：1 軸側　2：2 軸側

※　コマンド「PRM_GET:G01」による返信内容で確認できます。

No, 1 2

返信形式 0 , 0

1 1


1 , 2 ステータス0 オープンループ制御

1 クローズドループ制御

11 C: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明モータの励磁、解磁状態を変更します。

No, 1 2

送信形式 C : 1 0

2 1

W


1 軸

1 1 軸側を指定

2 2 軸側を指定

W 両軸を指定

2 制御0 解磁に変更

1 励磁に変更

09 F: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明フィードバックステージの制御方法（クローズドループ制御、オープンループ制御）を変更します。

No, 1 2

送信形式 F : 1 0

2 1

W


1 軸

1 1 軸側を指定

2 2 軸側を指定

W 両軸を指定

2 制御０オープンループ制御に変更

1 クローズドループ制御に変更

29

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

14 CMDR: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信・返信

説明本コマンド以外で最後に送信した正常なコマンドを取得します。本コマンド発行前にコマンドを

送信していない場合は "*" が返信されます。

送信形式 C M D R :

No, 1

返信形式 ****

No, 項目返信例説明

1 コマンド BEC: 最後に送信した正常なコマンド

12 CR: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信・返信

説明現在のモータ状態を取得します。

No, 1

送信形式 C R :

1

2

W


1 軸

指定なしパラメータ『AXIS Sel』の設定軸※ 1 設定軸による




※ 1　コマンド「PRM_GET:G01」による返信内容で確認できます。

No, 1 2

返信形式 0 , 0

1 1


1 , 2 ステータス0 解磁状態

1 励磁状態

13 BEC: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明本機器がエラー状態及び緊急停止状態の場合に解除し、位置決め動作中の場合に位置決め完了状態に

します。

解除可能なエラー ※ 2 リミットエラー , オーバフローエラー , ティーチングコマンドエラー

解除可能な状態エマージェンシー

※ 2　コマンドエラーは正常なコマンドを受け付けた時点で解除されるので対象外です。

No, 1

送信形式 B E C :

1

2

W


1 軸

指定なしパラメータ『AXIS Sel』の設定軸　※ 3

1 1 軸側を指定

2 2 軸側を指定

W 両軸を指定


30

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

15 ECHO: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明コマンド送信後、送信したコマンドをエコーバックするか否かの選択をします。詳細は「③エコー

バックについて」をご覧ください。

No, 1

送信形式 E C H O : O

1


1 制御0 エコーバックしない

1 エコーバックする

16 ECHOR: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信・返信

説明コマンドのエコーバックの選択状態を確認します。

送信形式 E C H O R :

No, 1

返信形式 O

1


1 ステータス0 エコーバックをしない状態

1 エコーバックをする状態

●汎用情報に関するコマンド

17 *IDN? LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信・返信

説明本機器の機器情報を取得します。

送信形式 * I D N ?

No, 1 2 3 4 5

返信形式 **** , **** , **** , **** , ****


1

機器情報

SIGMA TECH ベンダー名

2 FC-911 機種名

3 00000 シリアル番号

4 00.00 機器バージョン番号

5 00.000 ファームウェアバージョン番号

18 VENDOR: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信・返信

説明本機器のベンダー名（メーカー名または販売代理店名）を取得します。

送信形式 V E N D O R :

No, 1

返信形式 ****


1 機器情報 SIGMA TECH ベンダー名

19 MODEL: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信・返信

説明本機器の機種名（型式）を取得します。

送信形式 M O D E L :

No, 1

返信形式 ****


1 機器情報 FC-911 機種名

31

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

20 SN: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信・返信

説明本機器のシリアル番号を取得します。

送信形式 S N :

No, 1

返信形式 ****


1 機器情報 0000 シリアル番号

21 EN: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信・返信

説明本機器の機器バージョン番号を取得します。

送信形式 E N :

No, 1

返信形式 ****


1 機器情報 00.00 機器バージョン番号

22 FV: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信・返信

説明本機器のファームウェアバージョン番号を取得します。

送信形式 F V :

No, 1

返信形式 ****


1 機器情報 00.000 ファームウェアバージョン番号

23 RESO: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信・返信

説明各軸の分解能を nm 単位で取得します。

No, 1

送信形式 R E S O :

1

2

W


1 軸

指定なしパラメータ『AXIS Sel』の設定軸※ 設定軸による





No, 1 2

返信形式 **** , ****


1 , 2 ステータス 1 分解能

32

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

24 LIMR: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信・返信

説明各軸接続ステージのリミット間距離（ストローク）を取得します。事前に LIMG: コマンドの実行が

必要です。LIMG: コマンドを実行していない場合は "*" が返信されます。

No, 1

送信形式 L I M R :

1

2

W


1 軸






No, 1 2

返信形式 **** , ****


1 , 2 ステージ情報 20000000 ※ 2 ストローク

※ 2　最小桁が 1nm の桁となります。この場合は、20.000000mm です。

25 AN: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信・返信

説明各軸の表示軸名を取得します。

No, 1

送信形式 A N :

1

2

W


1 軸

指定なしパラメータ『AXIS Sel』の設定軸※３設定軸による




※３　コマンド「PRM_GET:G01」による返信内容で確認できます。

No, 1 2

返信形式 * , *

No, 返信例説明

1 X -

2 Y -

33

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

26 UNT: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信・返信

説明各軸の表示単位を取得します。

No, 1

送信形式 U N T :

1

2

W


1 軸






No, 1 2

返信形式 * , *


1 , 2 単位

N ナノメートル

U マイクロメートル

M ミリメートル

D 度

P 単位なし　※ 2

※ 2　座標値の最小桁が 1nm の桁となる表現となります。

34

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

●動作情報に関するコマンド

27 Q: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信・返信

説明各軸の座標値やステータスを取得します。返信形式には 2 種類あり、送信形式のブロック No,1 で

選択します。

返信形式 1 は従来方式で、返信形式 2 は座標値を単位指定、ステータスのエラー関連を複数同時に

発生しても確認できるビットによる各軸個別表現、ステータスの位置決め関連を各軸個別表現とし

ています。

No, 1 2 3

送信形式 Q :

S

N E

U C

M

D

P※ 1　「指定なし」にする No, がある場合、指定のある No, の付加コマンドを左に詰めてください。

　　　但し、No,1 が「指定なし」の場合、No,2、3 は選択できません。


1※ 1

返信形式指定なし 1 を選択

S 2 を選択

2※ 1

単位

指定なしパラメータ『UNIT Sel』で設定された単位で返信　※ 2

N ナノメートルを指定

U マイクロメートルを指定

M ミリメートルを指定

D 度を指定


3※ 1

座標値の種類

指定なしパラメータ『Count Sel』で設定された値で返信　※ 4

E エンコーダ読取値に指定

C 指令値に指定

※ 2　コマンド「PRM_GET:A03」または「PRM_GET:A04」による返信内容で確認できます。

※３　座標値の最小桁が 1nm の桁となる表現となります。

※ 4　コマンド「PRM_GET:G15」または「PRM_GET:G16」による返信内容で確認できます。

1 2 3 4 5 6 7 8 9

返信形式 1 ＋ **** , ＋ **** , K , K , K , ** R

－－ 1 M M B

2 F F

3 G G

4 P P

5 O O

6 C C

7 W W

8 B B

9 V V

A A A

B U U

T E E

H H

I I

D D


1（1 軸側）符号

＋プラス

3（2 軸側）－マイナス

2（1 軸側）座標値 00000001 ※ 5 座標値

4（2 軸側）

※ 5　返信内容は例です。1nm を表しています。


35

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15


5ステータス

（エラー関連）

K 正常（エラーなし）

1 コマンドエラー

2 スケールエラー

3 リミット停止

4 オーバースピードエラー

5 オーバーフローエラー

6 緊急停止

7 インターポレータエラー

8 リミットエラー

9 システムエラー

A スローダウンセンサ入力中

B ソフトウェアリミット停止

T ティーチングコマンドエラー

6（1 軸側）

7（2 軸側）

ステータス（動作関連）

K 正常停止

M 指令動作中

F インポジション範囲外（位置決め完了後）（READY　※ 1）

G インポジション範囲外（位置決め動作中）（BUSY　※ 2 , 3）

P 電気原点復帰実行中

O 機械原点復帰実行中

C CW リミット停止

W CCW リミット停止

B CW ソフトウェアリミット停止

V CCW ソフトウェアリミット停止

A CW スローダウンセンサ入力中

U CCW スローダウンセンサ入力中

E エラー状態

H モータ励磁移行中

I モータ解磁移行中

D 軸無効（パラメータ『AXIS Sel』で未設定）

8 システム予約 0000 システム予約

9ステータス

（位置決め関連）

R 操作可能な軸が全て位置決め完了（READY　※ 1）

B 操作可能な軸のいずれかが位置決め未完了（BUSY　※ 2）

※ 1　全ての操作を受付けている状態です。

※ 2　動作に関する操作を拒否している状態です。

※ 3　コマンド「BEC:」を使用できます。

No, 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13

返信形式 2 N ＋ **** , N ＋ **** , ***** , ***** , K , K , ** , R , R

U ― U ― M M B B

M M F F

D D G G

P P P P

O O

C C

W W

B B

V V

A A

U U

E E

H H

I I

D D


1（1 軸側）

4（2 軸側）単位




D 度


2（1 軸側）

5（2 軸側）符号

＋プラス

－マイナス



36

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15


3（1 軸側）

6（2 軸側）座標値 **** 単位により異なります。本ページ※ 4 をご覧ください。

7（1 軸側）

8（2 軸側）

ステータス（エラー関連）

1 , 0

ビット返信 : 1 の場合返信 : 0 の場合

1（MSB）正常エラー発生

2 コマンドエラー発生無し

3 スケールエラー発生無し

4 リミット停止それ以外

5 オーバースピードエラー発生無し

6 オーバーフローエラー発生無し

7 緊急停止発生無し

8 インターポレータエラー発生無し

9 リミットエラー発生無し

10 システムエラー発生無し

11 スローダウンセンサ入力中それ以外

12 ソフトウェアリミット停止それ以外

13（LSB）ティーチングコマンドエラー発生無し

9（1 軸側）

10（2 軸側）


K 正常停止

M 正常動作









E エラー状態





12（1 軸側）

13（2 軸側）

ステータス（位置決め関連）

R 位置決め完了（READY　※ 1）

B 位置決め未完了（BUSY　※ 2）




※ 4　座標値返信例（12.345678mm だった場合）

単位返信座標値

nm 12345678

um 12345.678

mm 12.345678

単位なし 12345678

※ 4　座標値返信例（1.234567°だった場合）


度 1.234567

単位なし 1234567

例　1 軸側（単位 :nm）が -12.345678mm の位置で停止中、2 軸側（単位 : μ m）が動作中で送信時に取得した値が

0.012345mm だった場合

送信返信

Q: -12345678,00012345,K,K,M,0000,B

Q:S　※ 5 N-12345678,U+12.345,1000000000000,1000000000000,K,M,0000,R,B

Q:SM　※ 5 M-12.345678,M+0.012345,1000000000000,1000000000000,K,M,0000,R,B

Q:SE　※ 5 N-12345678,U+12.345,1000000000000,1000000000000,K,M,0000,R,B

Q:SUC　※ 5 U-12345.678,U+12.345,1000000000000,1000000000000,K,M,0000,R,B

※ 5　単位により座標値の桁数が異なるため、返信内容から各項目を抜き取る場合は、カンマ「，」を基準にしてください。

　　　また、文字列の終わりはデリミタをご確認ください。

37

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

28 SRQ: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信・返信

説明各軸のステータスを取得します。返信形式は送信形式のブロック No,1 で選択します。返信形式 1 は

従来方式、返信形式 2 はステータスのエラー関連を複数同時に発生しても確認できるビットによる

各軸個別表現、ステータスの位置決め関連を各軸個別表現としています。

No, 1

送信形式 S R Q :

S


1 返信形式指定なし 1 を選択

S 2 を選択

No, 1 2 3 4 5

返信形式 1 K , K , K , ** , R

1 M M B

2 F F

3 G G

4 P P

5 O O

6 C C

7 W W

8 B B

9 V V

A A A

B U U

T E E

H H

I I

D D


1ステータス








6 緊急停止







2（1 軸側）

3（2 軸側）


K 正常停止

M 正常動作


G インポジション範囲外（位置決め動作中）（BUSY　※ 2）









E エラー状態






※ 2　動作に関する操作を拒否している状態です。コマンド「BEC:」を使用できます。


38

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15


5ステータス


R 操作可能な軸が全て位置決め完了（READY　※ 1）

B 操作可能な軸のいずれかが位置決め未完了（BUSY　※ 2）

No, 1 2 3 4 5 6 7

返信形式 2 ***** , ***** , K , K , ** , R , R

M M B B

F F

G G

P P

O O

C C

W W

B B

V V

A A

U U

E E

H H

I I

D D


1（1 軸側）

2（2 軸側）

ステータス（エラー関連）

1 , 0















3（1 軸側）

4（2 軸側）


K 正常停止

M 正常動作











E エラー状態





6（1 軸側）

7（2 軸側）

ステータス（位置決め関連）






例　1 軸側が停止中、2 軸側が動作中の場合

送信返信

SRQ: K,K,M,0000,B

SRQ:S 1000000000000,1000000000000,K,M,0000,R,B

39

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

29 P: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信・返信

説明各軸の座標値を取得します。返信形式には 2 種類あり、送信形式のブロック No,2 で指定します。

返信形式 1 は従来方式で、返信形式 2 は座標値を単位指定、座標値の種類を指定可能としています。

No, 1 2 3 4

送信形式 P :

1 S

2 N E

W U C

M

D

P※ 1　「指定なし」にする No. がある場合、指定のある No. の付加コマンドを左に詰めてください。

　　　但し、No.2 が「指定なし」の場合、No.3、4 は選択できません。

No, 項目付加コマンド説明返信形式のブロック No,

1※ 1

軸


1 1 軸側を指定 1,2（返信形式 1）

2 2 軸側を指定 1,2,3（返信形式 2）

W 両軸を指定

1,2: 1 軸側　3,4：2 軸側（返信形式 1）

1,2,3：1 軸側　4,5,6：2 軸側（返信形式 2）

2※ 1

返信形式指定なし 1 を選択

-S 2 を選択

3※ 1

単位

指定なしパラメータ『UNIT Sel』で設定された単位 ※ 3

-




D 度を指定


4※ 1

座標値の種類

指定なしパラメータ『Count Sel』で設定された値 ※ 5

-E エンコーダ読取値に指定

C 指令値に指定

※ 2　設定軸はコマンド「PRM_GET:G01」による返信内容で確認できます。

※ 3　コマンド「PRM_GET:A03」または「PRM_GET:A04」による返信内容で確認できます。


※ 5　コマンド「PRM_GET:G15」または「PRM_GET:G16」による返信内容で確認できます。

No, 1 2 3 4

返信形式 1 ＋ **** , ＋ ****

― ―


1 , 3 符号＋プラス

－マイナス

2 , 4 座標値 00000001 ※ 6 座標値

※ 6　内容は例です。1nm を表しています。

No, 1 2 3 4 5 6

返信形式 2 N ＋ **** , N ＋ ****

U ― U ―

M M

D D

P P


1 , 4 単位




D 度



40

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

No, 返信説明

2 , 5＋プラス

－マイナス

3 , 6 **** 単位により異なります　※ 1

※ 1　座標値返信例（12.345678mm だった場合）


nm 12345678

um 12345.678

mm 12.345678

単位なし 12345678

※ 1　座標値返信例（1.234567°だった場合）


度 1.234567

単位なし 1234567

例　1 軸側（単位 :nm）が -12.345678mm の位置で、2 軸側（単位 : μ m）が 0.012345mm の位置だった場合

送信返信

P: -12345678,00012345

P:S　※ 2 N-12345678,U+12.345

P:1S N-12345678

P:2S U+12.345

P:WSN　※ 2 N-12345678,N+12345

※ 2　単位により座標値の桁数が異なるため、返信内容から各項目を抜き取る場合は、カンマ「，」を基準にしてください。


30 ER: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信・返信

説明エラー状態を取得します。返信形式には 2 種類あり、送信形式のブロック No,2 で選択します。

返信形式 1 は従来の表現方式で、返信形式 2 は複数同時に発生しても確認できるビットによる

各軸個別表現としています。

No, 1 2

送信形式 E R :

1 S

2

W※ 3　「指定なし」にする No. がある場合、指定のある No. の付加コマンドを左に詰めてください。

　　　また、No.2 を「指定なし」にする場合、No.1 は「指定なし」以外選択できません。

No, 項目付加コマンド説明返信形式 2 のブロック No,

1※ 3

軸


1 1 軸側を指定1

2 2 軸側を指定

W 両軸を指定 1: 1 軸側　2: 2 軸側

2※ 3

返信形式指定なし返信形式 1 を選択

-S 返信形式 2 を選択



41

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

No, 1

返信形式 1 K

1

2

3

4

5

6

7

8

9

A

B

T


1ステータス








6 緊急停止







No, 1 2

返信形式 2 ***** , *****


1 , 2ステータス

（エラー関連）1 , 0















例　両軸が正常の場合

送信返信

ER: K

ER:S 1000000000000,1000000000000

42

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

31 STS: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信・返信

説明各軸の動作状態を取得します。

No, 1

送信形式 S T S :

1

2

W


1 軸



2 2 軸側を指定



No, 1 2

返信形式 K , K

M M

F F

G G

P P

O O

C C

W W

B B

V V

A A

U U

E E

H H

I I

D D



（動作関連）

K 正常停止

M 正常動作











E エラー状態







43

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

32 !: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信・返信

説明各軸の位置決め状態を取得します。返信形式には 2 種類あり、送信形式のブロック No,2 で選択します。

返信形式 1 は従来方式で、返信形式 2 は各軸個別表現としています。

No, 1 2

送信形式 ! :

1 S

2


　　　また、No.2 を「指定なし」にする場合、No.1 は「指定なし」以外選択できません。

No, 項目付加コマンド説明返信形式 2 のブロック No,

1※ 1

軸

指定なしパラメータ『AXIS Sel』の設定軸　※ 2 設定軸による


2 2 軸側を指定


2※ 1

返信形式指定なし１を選択

-S 2 を選択


No, 1

返信形式 1 R

B


1ステータス


R 操作可能な軸全てが位置決め完了（READY 　※ 3）

B 操作可能な軸のいずれかが位置決め未完了（BUSY 　※ 4）

※ 3　全ての操作を受付けている状態です。　


No, 1 2

返信形式 2 R , R

B B






※ 5　対象軸の全ての操作を受け入れている状態です。

※ 6　対象軸の動作に関する操作を拒否している状態です。

例　1 軸側が停止中で、2 軸側動作中だった場合

送信返信

!: B

!:S R,B

!:1S R

!:WS R,B

44

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

●原点に関するコマンド

33 H: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明機械原点復帰を実行します。詳細は「9. 原点復帰について」をご覧ください。

モータが解磁状態の場合、解磁している軸を指定して実行するとコマンドエラーになります。

末尾に「,R」を指定すると各軸毎に位置決め完了返信を行います。ただし、「,R」指定をティーチング

登録しないでください。

No, 1 2 3

送信形式 H :

0 1 , R

1 2

2 W

3

4※ 1　「指定なし」にする No. がある場合、指定のある No. の付加コマンドを左に詰めてください。


１※ 1

モード

指定なしパラメータ『ORG Mode Sel』の設定モード　※２

0 モード 0 を指定





２※ 1

軸


1 1 軸軸を指定

2 2 軸軸を指定

W 両軸を指定

３※ 1

返信要求指定なし返信要求しない

,R 位置決め完了後に 1 軸側は "1"、2 軸側は "2" を返信

※ 2　コマンド「PRM_GET:A30」「PRM_GET:A31」による返信内容で確認できます。


34 Z: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明電気原点復帰を実行します。詳細は「9. 原点復帰について」をご覧ください。



登録しないでください。

No, 1 2

送信形式 Z :

1 , R

2



1※ 4

軸


1 1 軸側を指定

2 2 軸側を指定

W 両軸を指定

２※ 4




45

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

35 R: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明電気原点設定（ゼロセット）を実行します。

詳細は「9. 原点復帰について」をご覧ください。


No, 1

送信形式 R :

1

2

W


1 軸


1 1 軸側を指定

2 2 軸側を指定

W 両軸を指定


36 LIMG: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明ステージのストローク検出動作を実行します。コマンド「LIMR:」にて値を取得できます。


末尾に「,R」を指定すると各軸毎に位置決め完了返信を行います。

No, 1 2

送信形式 L I M R :

1 , R

2



1※ 2

軸


1 1 軸側を指定

2 2 軸側を指定

W 両軸を指定

2※ 2




●動作に関するコマンド

37 L: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明動作停止及び緊急停止を実行します。

No, 1

送信形式 L :

1

2

W

E


1 軸


1 1 軸側を指定

2 2 軸側を指定

W 両軸を指定

E 緊急停止を実行　※ 5


※ 5　コマンド「BEC:」で解除できます。

46

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

39 ACCR: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信・返信

説明コマンド「ACC:」で設定された加減速時間を取得します。

No, 1

送信形式 A C C R :

1

2

W


1 軸



2 2 軸側を指定



No, 1 2

返信形式 *** , ***


1, 2 時間 100　※ 2 加減速時間

※ 2　100msec（ミリ秒）を表しています。

38 ACC: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明加減速時間を設定します。但し、本機器の電源を OFF、RESET、再起動、パラメータを変更した場合、

設定した内容は破棄されます。

No, 1 2 3 4

送信形式 A C C : 1 *** , ***

2

W

No, 項目付加コマンド説明送信形式のブロック No,

1 軸


2 2 軸側を指定


2 空白スペーススペース挿入 -

3時間

*** 加減速時間をミリ秒単位で設定（10 ～ 2000）

-4 ,***

47

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

40 D: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明通信操作時の動作速度を設定します。一度設定しますと速度変更をするまで設定値は維持されます。

但し、本機器の電源を OFF、RESET、再起動、パラメータを変更した場合、設定した内容は破棄

されます。本コマンドを設定しないでコマンド「A:」、「M:」「JG:」を実行した場合、パラメータ

『Max Speed』の速度で動作します。パラメータ『Max Speed』の設定値はコマンド

「PRM_GET:G02」「PRM_GET:G03」による返信内容で確認できます。

No, 1 2 3 4 5

送信形式 D : 1 F **** F ****

2 P P

W N N

U U

M M

D D


1 軸


2 2 軸側を指定


2, 4 単位

F, P 単位なし / 秒を指定　※ 1

N ナノメートル / 秒を指定

U マイクロメートル / 秒を指定

M ミリメートル / 秒を指定

D 度 / 秒を指定

3, 5 速度 **** 動作速度を指定　※ 2（1nm/sec ～パラメータ「Max Speed」）

※ 1　動作速度の最小桁が 1nm の桁となる表現で指定してください。

※２　動作速度設定例（12.345678mm/sec の場合）

単位動作速度

単位なし /sec 12345678

nm/sec 12345678

um/sec 12345.678

mm/sec 12.345678

例 .　1 軸側動作速度が 12.345678mm/sec で単位なし指定、2 軸側動作速度が 500um/sec で単位なし指定の場合

軸指定コマンド

1 軸側のみ D:1F12345678

2 軸側のみ D:2F500000

両軸 D:WF12345678F500000

例 .　1 軸側動作速度が 12.345678mm/sec でｍｍ単位指定、2 軸側動作速度が 500um/sec で um 単位指定の場合

軸指定コマンド

1 軸側のみ D:1M12.345678

2 軸側のみ D:2U500

両軸 D:WM12.34567U500

48

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

41 DR: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信・返信

説明コマンド「D:」で設定された動作速度を取得します。

No, 1 2

送信形式 D R :

1 F

2 P

W N

U

M

D※ 1　「指定なし」にする No. がある場合、指定のある No. の付加コマンドを左に詰めてください。


1※ 1

軸


1 1 軸を指定1, 2

2 2 軸を指定

W 両軸を指定 1, 2: 1 軸側　3, 4: 2 軸側

1※ 1

単位

指定なしパラメータ『UNIT Sel』の単位　※ 3

F, P 単位なしを指定　※ 4




D 度を指定



※ 4　動作速度の最小桁が 1nm の桁となる表現となります。

No, 1 2 3 4

返信形式 F **** , F ****

P P

N N

U U

M M

D D


1, 3 単位

F, P 単位なし　※ 4

N nm 単位

U um 単位

M mm 単位

D 度単位

2, 4 速度 **** 動作速度　※ 5

※ 5　動作速度返信例（12.345678mm/sec だった場合）

単位返信動作速度

単位なし 12345678

nm 12345678

um 12345.678

mm 12.345678

※ 5　動作速度返信例（1.234567° /sec だった場合）

単位返信動作速度

単位なし 1234567

度 1.234567

例 .　1 軸側（単位 :nm）が 12.345678mm/sec で、2 軸側（単位 :um）が 500um/sec だった場合

送信返信

DR:　※ 6 N12345678,U500

DR:M　※ 6 M12.345678,M0.5

※ 6　単位により動作速度の桁数が異なるため、返信内容から各項目を抜き取る場合は、カンマ「，」を基準にしてください。


49

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

42 A: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明絶対移動座標値を設定します。原点（座標値がゼロの位置）からの座標値を設定します。

本コマンドだけでは動作しません。動作させるにはコマンド「G」または「GN:」を実行してください。

詳細はコマンド「G」、「GN:」をご覧ください。

No, 1 2 3 4 5 6 7

送信形式 A : 1 ＋ P **** ＋ P ****

2 － N － N

W U U

M M

D D


1 軸

1 1 軸側を指定2, 3, 4

2 2 軸側を指定

W 両軸軸を指定 2, 3, 4:1 軸側　5, 6, 7:2 軸側

2, 5 符号＋動作方向をプラス側に指定

－動作方向をマイナス側に指定

3, 6 単位

P 単位なしを指定　※ 1




D 度を指定

4, 7 座標値 **** 移動座標値を設定　※ 2（範囲は接続しているステージによります）

※ 1　座標値の最小桁が 1nm の桁となる表現で指定してください。

※ 2　移動座標値設定例（12.345678mm の場合）

単位移動座標値

単位なし 12345678

nm 12345678

um 12345.678

mm 12.345678

※ 2　移動座標値設定例（1.234567°の場合）


単位なし 1234567

度 1.234567

例 .　原点（座標値がゼロの位置）から 1 軸側（単位 :nm）を -12.345678mm、2 軸側（単位 : μ m）を +0.5mm に移動させる場合

送信例送信順コマンド

例 11 A:W-N12345678+U500

2 G

例 21 A:W-N12345678+U500

2 GN:W

50

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

43 M: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明相対移動距離を設定します。本コマンドだけでは動作しません。動作させるにはコマンド「G」

または「GN:」を実行してください。詳細はコマンド「G」、「GN:」をご覧ください。

No, 1 2 3 4 5 6 7

送信形式 M : 1 ＋ P **** ＋ P ****

2 － N － N

W U U

M M

D D


1 軸

1 1 軸側を指定2, 3, 4

2 2 軸側を指定

W 両軸軸を指定 2, 3, 4:1 軸側　5, 6, 7:2 軸側

2, 5 符号＋動作方向をプラス側に指定


3, 6 単位





D 度を指定

4, 7 距離 **** 移動距離を設定　※ 2（範囲は接続しているステージによります）

※ 1　移動距離の最小桁が 1nm の桁となる表現で指定してください。

※ 2　移動距離設定例（12.345678mm の場合）


単位なし 12345678

nm 12345678

um 12345.678

mm 12.345678

※ 2　移動距離設定例（1.234567°の場合）


単位なし 1234567

度 1.234567

例 .　現在位置から 1 軸側（単位 :nm）を -12.345678mm、2 軸側（単位 : μ m）を +0.5mm に移動させる場合

送信例送信順コマンド

例 11 M:W-N12345678+U500

2 G

例 21 M:W-N12345678+U500

2 GN:W

51

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

45 GN: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明コマンド「A:」「M:」で設定された動作を開始します。実行後、コマンド「A:」「M:」で設定された値

は破棄されません。モータ解磁状態の場合、解磁軸を指定し実行すると " コマンドエラー " となります。


登録しないてください。

No, 1 2

送信形式 G N :

1 , R

2

W


1 軸

指定なしパラメータ『AXIS Sel』の設定軸　※

1 1 軸側を指定

2 2 軸側を指定

W 両軸を指定

2 返信要求指定なし返信要求をしない



コマンド「A:」「M:」「G」「GN:」の使用例

　　送信前にコマンド「Q:」「SRQ:」「!:」で動作対象軸の位置決め状態が READY であることを確認して送信してください。

実行

番号送信コマンド説明

移動設定値座標値

1 軸側 2 軸側 1 軸側 2 軸側

1 R:W 両軸を電気原点設定（ゼロセット）なしなし 0mm 0mm

2 A:1-P10000000 1 軸側に絶対動作（A）-10mm を設定 A -10mm ↑ ↑ ↑3 GN:1 1 軸側を動作 ↑ ↑ -10mm ↑4 GN:2 コマンドエラーになります。 ↑ ↑ ↑ ↑5 A:2+P10000000 2 軸側に絶対動作（A）+10mm を設定 ↑ A -10mm ↑ ↑6 GN:2 2 軸側を動作 ↑ ↑ ↑ +10mm

7 GN:Wすでに目的値へ動作しているため動作しま

せん。↑ ↑ ↑ ↑

8 M:W-P1000000-P10000001 軸側に相対動作（M）-1mm、

2 軸側に相対動作（M）-1mm を設定M -1mm M -1mm ↑ ↑

9 GN:1 1 軸側を動作 ↑ ↑ -11mm ↑10 GN:1 1 軸側を動作 ↑ ↑ -12mm ↑11 GN:2 2 軸側を動作 ↑ ↑ ↑ +9mm

12 GN:W 両軸を動作 ↑ ↑ -13mm +8mm

13 A:1-P1000000 1 軸側に絶対動作（A）-1mm を設定 A -1mm ↑ ↑ ↑14 GN:1 1 軸側を動作 ↑ ↑ -1mm ↑15 GN:W 両軸動作 ↑ ↑ ↑ +7mm

16 G 両軸動作実行時消去実行時消去 ↑ +6mm

17 GN:W コマンドエラーになります。なしなし ↑ ↑

44 G LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明コマンド「A:」「M:」で設定された動作を開始します。実行後コマンド「A:」「M:」で設定された値は

破棄（何も設定されていない状態）されます。モータ解磁状態の場合、解磁軸を指定し実行すると "

コマンドエラー " となります。末尾に「,R」を指定すると各軸毎に位置決め完了返信を行います。

ただし、「,R」指定をティーチング登録しないてください。

No, 1

送信形式 G

, R


1 返信要求指定なし返信要求しない


52

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

46 GC: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明コマンド「A:」「M:」で設定された値を削除します。

No, 1

送信形式 G C :

1

2

W


1 軸


1 1 軸を指定

2 2 軸を指定

W 両軸を指定


47 GR: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信・返信

説明設定したコマンド「A:」、「M:」の座標値及び移動距離を取得します。

返信形式

No, 1 2

送信形式 G R :

1 P

2 N

W U

M

D※ 2　「指定なし」にする No. がある場合、指定のある No. の付加コマンドを左に詰めてください。


1※２

軸


1 1 軸を指定1, 2, 3, 4

2 2 軸を指定

W 両軸を指定 1, 2, 3, 4:1 軸　1, 2, 3, 4:2 軸

２※２

単位

指定なしパラメータ『UNIT Sel』の単位　※ 4





D 度を指定



※ 5　座標値及び移動距離の最小桁が 1nm の桁となる表現となります。

No, 1 2 3 4 5 6 7 8

返信形式 * , * , * , *

A N ＋ **** A N ＋ ****

M U － M U －

M M

D D

P P


1, 5 コマンド

* 未設定時

A 絶対値動作

M 相対値動作

2, 6 単位

*





D 度

3, 7 符号＋動作方向がプラス側

－動作方向がマイナス側

4, 8 指令値 **** 座標値または移動距離

未設定時

53

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

48 JG: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明パルス数指定（1 パルス = 1nm）移動を実行します。モータ解磁状態の場合、解磁軸を指定し

実行すると " コマンドエラー " となります。末尾に「,R」を指定すると各軸毎に位置決め完了返信

を行います。ただし、「,R」指定をティーチング登録しないてください。

No, 1 2 3 4 5

送信形式 J G : 1 ＋ ***

2 － , R


1 軸1 1 軸側を指定

2 2 軸側を指定

2 空白スペーススペース挿入

3 符号＋動作方向をプラス側に指定


4 指令値 *** 移動指令値を指定（1 ～ 1000）



49 JY: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明移動距離指定しない動作を実行します。リミット突入、動作停止コマンド「L:」または速度段階 "0"

を送信するまで動作し続けます。動作速度はパラメータ『Jy Speed 1』から『Jy Speed 9』の

9 段階と、『Jy Speed H』が選択できます。速度段階 1 ～ 9 で動作させている場合は、1 ～ 9 段階

の中で動作速度を変更させることができます。速度を変更しないで停止させる場合は、減速停止します。

速度を変更した場合は、加減速なしで変更され、停止する際にも即停止となりますが、方向を変更し

た場合は加減速動作をします。速度段階 H で動作させている場合は、速度段階 1 ～ 9 を選択するこ

とはできません。選択した場合、”コマンドエラー”となります。動作中の制御状態は、パラメータ

「Jy Cont」及び「Stage Cont Type」の設定により異なります。モータ解磁状態の場合、解磁軸を

指定し実行すると " コマンドエラー " となります。末尾に「,R」を指定すると、各軸毎に位置決め

完了返信を行います。なお、速度段階 "0" は、本コマンドで動作させた場合のみ使用できます。

その他のコマンドで動作させた場合には " コマンドエラー " となります。

No, 1 2 3 4 5

送信形式 J Y : 1 ＋ 0

2 － 1 , R

W 2

3

4

5

6

7

8

9

H


1 軸

1 1 軸側を指定

2 2 軸側を指定

W 1+2 軸側を指定


3 符号＋動作方向をプラス側に指定



54

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

●座標登録に関するコマンド

50 PIT_DEL: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明コマンド「PIT_SET:」で登録した 1 軸側及び 2 軸側位置情報を削除します。

No, 1

送信形式 P I T _ D E L : ***


1 番号 *** 位置登録指定番号（1 ～ 20）


4 速度段階

0 JY コマンド実行時の動作を停止

1 1 を指定（パラメータ『Jy Speed 1』によります）









H H を指定（パラメータ『Jy Speed H』によります）



52 PIT_GET: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信・返信

説明コマンド「PIT_SET:」で登録した位置情報を取得します。なお、コマンド「PIT_SET:」で登録した

後にカウンタをゼロセットした場合、本コマンドで取得した座標値は、登録した位置とゼロセットす

る直前の座標値の演算結果になります。

No, １

送信形式 P I T _ G E T : **

No, 項目付加コマンド説明返信形式のブロック No.

１番号 *** 位置登録指定番号（1 ～ 20） 1,2：1 軸側　3,4：2 軸側

No, 1 2 3 4

返信形式 * , *

＋ *** ＋ ***

― ―


1, 3 符号

*

＋プラス

－マイナス

2 ,4 座標値 *** 座標値　※ 1, 2

未登録

※ 1　パラメータ「AXIS Sel」で軸選択がされていない軸はゼロとなります。

※ 2　最小桁が 1nm の桁となる表現となります。

51 PIT_SET: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明 1 軸側及び 2 軸側の現在の位置を指定番号へ登録します。但し、本機器の電源を OFF、RESET、

再起動、パラメータを変更した場合、登録した位置は破棄されます。

No, 1

送信形式 P I T _ S E T : ***



55

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

53 PITG: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明コマンド「PIT_SET:」で登録した位置へ移動します。座標値のゼロ基準での位置ではありませんので

カウンタをゼロセットしても登録された位置は変わりません。但し、本機器の電源を OFF、RESET、

再起動、パラメータを変更した場合、コマンド「PIT_SET:」で登録した内容は破棄されます。

末尾に「,R」を指定すると各軸毎に位置決め完了返信を行います。

文字 No, 1 ２

送信形式 P I T G : ***

, R





54 I: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信・返信

説明汎用入力ポートのフォトトランジスタの状態を取得します。

送信形式 I :

No, 1

返信形式 *


1 ステータス * 汎用入力状態

汎用入力ポートの状態

汎用入力状態汎用入力 1 （3pin）汎用入力 2 （28pin）汎用入力 3 （4pin）

0 OFF OFF OFF

1 ON OFF OFF

2 OFF ON OFF

3 ON ON OFF

4 OFF OFF ON

5 ON OFF ON

6 OFF ON ON

7 ON ON ON

ON、OFF の状態及び入力回路は「12. 仕様」 - 「②インターフェース仕様」 - 「4）汎用 I/O」をご覧ください。

55 O: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明汎用出力ポートのフォトトランジスタの状態を設定します。

No, 1

送信形式 O : *


1 制御 * 汎用出力状態を設定（0 ～ 7）

汎用出力ポートの状態

汎用出力状態 ※ 汎用出力 1 （1pin）汎用出力 2 （26pin）汎用出力 3 （2pin）

0 OFF OFF OFF

1 ON OFF OFF

2 OFF ON OFF

3 ON ON OFF

4 OFF OFF ON

5 ON OFF ON

6 OFF ON ON

7 ON ON ON

ON、OFF の状態及び入力回路は「12. 仕様」 - 「②インターフェース仕様」 - 「4）汎用 I/O」をご覧ください。

●汎用 I/O に関するコマンド

56

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

●自動に関するコマンド

56 T_ON: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明ティーチング登録内容の編集モードへ移行します。

No,

送信形式 T _ O N :

57 T_OFF: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明ティーチング登録内容の編集モードから TEACH モードへ戻ります。

戻る際に、TEACH 登録内容は保存されます。

No,

送信形式 T _ O F F :

59 T_SET: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明現在選択されているチャンネルのティーチング内容を行毎に設定します。設定できるコマンドは

「8. ティーチング機能について」-「②登録及び編集について」-「●登録対象コマンド」をご覧ください。

なお、本コマンドはコマンド「T_ON:」送信後に使用可能となり、コマンド「T_OFF:」送信後に反映

されます。

No, 1 2 3

送信形式 T _ S E T : *** *****


1 行 *** 行番号を指定（1 ～ 200）


3 コマンド ***** 登録コマンド

58 T_DEL: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明現在選択されているチャンネルのティーチング登録した行の内容を削除します。なお、本コマンドは

コマンド「T_ON:」送信後に使用可能となり、コマンド「T_OFF:」送信後に反映されます。

No, 1

送信形式 T _ D E L : ***


1 行 *** 行番号を指定（1 ～２00）

60 T_GET: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信・返信

説明現在選択されているチャンネルのティーチング登録した行の内容を取得します。

No, 1

送信形式 T _ G E T : ***


1 行 *** 行番号を指定（1 ～ 200）

No, 1

返信形式 *****


1 コマンド ***** ティーチング登録内容

61 TC: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明ティーチングのチャンネルを選択します。

No, 1

送信形式 T C : *


1 チャンネル * チャンネルを指定（1 ～ 5）

57

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

63 TQ: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信・返信

説明ティーチングに関するステータスを取得します。

送信形式 T Q :

No, 1 2 3 ４

返信形式 K , * , *** , *****

M

P

O

I

T

R

E


1 ステータス

K 停止中

M 動作中

P 一時停止中

O 動作中（1 行ずつ実行）

I 汎用 I/O 操作状態　※ 1

T ティーチング編集モード

R ティーチング登録内容読み込み中　※ 2

E ティーチングコマンドエラー発生中

2 チャンネル * 現在のチャンネル

3 行 *** 現在の行番号

４コマンド ***** 現在の実行コマンド

※ 1　パラメータ『TEACH IF』で I/O を選択した状態です。

※ 2　読み込みが完了するまで全ての操作は無効となります。

62 TCR: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信・返信

説明現在のティーチングチャンネルを取得します。

送信形式 T C R :

No, 1

返信形式 *


1 チャンネル * 現在のチャンネル

64 TG: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明選択されているチャンネルの実行を開始します。また、一時停止のとき実行の再開をします。

送信形式 T G :

65 TP: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明ティーチング実行中に送信すると、実行している行の次の行を実行せず一時停止します。

再開したい場合はコマンド「TG:」を実行してください。

送信形式 T P :

66 TO: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明一時停止状態で、内容を 1 行ずつ実行します。

ステージが動作している場合、位置決めが完了するまで本コマンドは許可されず破棄されます。

送信形式 T O :

58

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

68 TR: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信・返信

説明ティーチングチャンネルの登録状態を確認します。

No, 1

送信形式 T R :

1

2

3

4

5


1 回数指定なしすべてのチャンネルを指定

1 ～ 5 各チャンネルを指定

No, 1 2 3 4 5

返信形式 0 , 0 , 0 , 0 , 0

1 1 1 1 1


1

ステータス 0, 1

チャンネル 1 または指定チャンネル

０ : 未登録

1 : 登録済み

2 チャンネル 2

3 チャンネル 3

4 チャンネル 4

5 チャンネル 5

69 TFR: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信・返信

説明現在実行中のループ回数を確認します。ティーチング実行中のみ使用できます。返信内容が 0 の場合、

対象の階層は未実行もしくは未使用であることを示しています。

No, 1

送信形式 T F R :

1

2

3

4

5

6

7

8

9


1 回数指定なしすべての階層を指定

1 ～ 9 各階層を指定


67 TL: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明ティーチングの実行を停止させ、行番号を 1 行目に戻します。

No, 1

送信形式 T L :

E


1 軸指定なしティーチングの実行を停止

E 緊急停止を実行　※

※　コマンド「BEC:」で解除できます。

59

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

70 TM: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明ティーチングモニタ設定を行います。本設定を ON にすることにより、実行されたコマンドをパラメー

タ『I/F Sel』で設定したインターフェースに返信します。返信形式は「FE:」以外が返信形式 1 で、

「FE:」は返信形式 2 となります。パラメータ『I/F Sel』の設定値はコマンド「PRM_GET:G24」

による返信内容で確認できます。

No, 1

送信形式 T M : 0

1


1 制御0 モニタ設定を OFF

1 モニタ設定を ON

No, 1 2 3

返信形式 1 *** *****


1 行 *** 実行行番号（001 ～ 200）

2 空白スペーススペース

3 コマンド ***** 実行コマンド

No, 1 2 3 4 5 6 6

返信形式 2 *** ***** [ ** ]


1 行 *** 実行行番号（001 ～ 200）


3 コマンド ***** 実行コマンド


5 括弧 [ 区切り

6 回数 ** ループ実行回数（1 ～ 99999）

7 括弧 ] 区切り

例 1　行番号が 2 行目で、実行コマンドが「M:」だった場合

自動返信

002,M:1+p10000

例 2　行番号が２行目で、実行コマンドが「FE:」で、ループ回数が 3 回目だった場合

自動返信

002 FE:1 [3]

No, 1 2 3 4 5 6 7 8 9

返信形式 ** , ** , ** , ** , ** , ** , ** , ** , **


1

回数 **

ループ階層または指定階層

現在のループ回数

（1 ～ 99999）

2 ループ階層 2

3 ループ階層 3

4 ループ階層 4

5 ループ階層 5

6 ループ階層 6

7 ループ階層 7

8 ループ階層 8

9 ループ階層 9

60

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

72 TNR: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明現在実行中もしくは待機中のティーチング行番号を取得します。

送信形式 T N R :

No, 1

返信形式 ***


1 行 *** 現在の行番号

73 TACR: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明現在実行中もしくは待機中のティーチングコマンドを取得します。

送信形式 T A C R :

No, 1

返信形式 *****


1 コマンド ***** 現在のコマンド

71 TMR: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明ティーチングのモニタ設定状態を取得します。

送信形式 T M R :

No, 1

返信形式 0

1


1 ステータス0 モニタ設定が OFF 状態

1 モニタ設定が ON 状態

61

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

●自動登録専用に関するコマンド

74 FS: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 登録

説明ティーチング登録専用コマンドです。

指定範囲を繰り返すループ動作の実行回数及び階層を設定します。ループ範囲は、本コマンドから

コマンド「FE:」の同じループ階層番号間です。ループ内に別のループを入れることができます。

記述例は「8. ティーチング機能について」-「②登録及び編集について」-「送信例 1」をご覧ください。

本コマンドを使用する場合、必ず「FE:｣も使用してください。「FE:」が登録されていないと意図しな

い動作をする場合があります。

No, 1 2 3

送信形式 F S : * ***


1 階層 * ループ階層を指定（1 ～ 9）


3 回数 *** ループ回数（1 ～ 99999）

75 FE: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 登録


ループ範囲の終了場所を指定します。ループ範囲は、コマンド「FS:」から本コマンドの同じループ

階層番号間です。ループ内に別のループを入れることもできます。記述例は「8. ティーチング機能に

ついて」-「②登録及び編集について」-「送信例 1」をご覧ください。

本コマンドを使用する場合、必ず「FS:｣も使用してください。「FS:」が登録されていないと

意図しない動作をする場合があります。

No, 1

送信形式 F E : *


1 階層 * ループ階層を指定（1 ～ 9）

76 END: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 登録


ティーチング行の最終行を指定します。この行で実行が終了します。

送信形式 E N D :

77 T: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY


ティーチング実行中のウェイトタイムを 0.1 秒刻みで設定します。

No, 1

送信形式 T : ***


1 時間 *** 待ち時間を指定（0.1 ～ 99.9）

78 GIS: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 登録


指定した汎用入力ポートが ON になるまで待機します。なお、ON 状態のホールド時間は 10msec

以上にしてください。ON の状態及び入力回路は「12. 仕様」 -「 ②インターフェース仕様」 -

「 4）汎用 I/O」をご覧ください。

No, 1

送信形式 G I S : *


1 制御 * 汎用入力を指定（1 ～ 7）

62

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

●設定に関するコマンド

79 PRM_ON: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明パラメータ設定モードへ移行します。

送信形式 P R M _ O N :

80 PRM_OFF: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明パラメータの保存をして、パラメータ設定モードから REMOTE モードへ戻ります。AXIS パラメー

タのみの変更の場合は、再起動※はしませんが、GENERAL パラメータを変更をした場合は、

再起動※します。

※ :USB 通信のリンクの切断はされません。それ以外はフロントパネルの Restart キーと同じです。

送信形式 P R M _ O F F :

82 PRM_GET: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信・返信

説明パラメータの内容を取得します。パラメータ番号及び内容番号については「7. パラメータについて」-

「④パラメータ説明の見方」をご覧ください。

No, 1 2

送信形式 P R M _ G E T : A ***

G


1 パラメータ種類A AXIS パラメータを指定

G GENERAL パラメータを指定

2 パラメータ番号 *** パラメータ番号を指定

No, 1

返信形式 *****


1 内容番号 ***** パラメータ内容

81 PRM_SET: LOCAL REMOTE TEACH READY BUSY 送信

説明パラメータを設定します。パラメータ番号及び内容番号については「7. パラメータについて」-

「④パラメータ説明の見方」をご覧ください。

●通常形式

No, 1 2 3 4

送信形式 P R M _ S E T : A *** *****

G


1 パラメータ種類A AXIS パラメータを指定

G GENERAL パラメータを指定

2 パラメータ番号 *** パラメータ番号を指定


4 内容番号 ***** パラメータ内容を指定

63

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

7. パラメータについて

本機器の各種設定を行うパラメータについて説明します。

①パラメータ一覧

●パラメータ種類

・パラメータを変更する前に、パラメータ内容を十分にご理解ください。

・パラメータをデフォルト化した場合は、ステージが意図しない動作をする可能性があります。デフォルト　の内容をご確認ください。

AXIS パラメータ：ステージの動作や機械原点復帰方向に関する設定を行います。

GENERAL パラメータ：ステージの制御や通信に関する設定を行います。

種類 No, 対象軸表示内容項目掲載

ページ

AXIS

01 1 軸AXIS Name 表示軸名

72

02 2 軸

03 1 軸UNIT Sel 表示単位

04 2 軸

05 1 軸Pos Dir 座標値カウント方向

06 2 軸

07 1 軸INPos Range インポジション範囲

08 2 軸

09 1 軸FB Speed フィードバック速度

73

10 2 軸

11 1 軸ZERO Cont ゼロコントロール

12 2 軸

13 1 軸Stage Config ステージ構成

14 2 軸

15 - TEACH IF TEACH 実行操作インターフェース

16 1 軸Acc Cont 加減速制御

17 2 軸

18 1 軸Acc Time 加減速時間

74

19 2 軸

20 1 軸Jog Speed 3 JOG スピード 3

21 2 軸


23 2 軸


25 2 軸

26 1 軸Jog Cont CCW、CW キー操作時の動作制御

75

27 2 軸

28 1 軸ORG Dir 機械原点復帰方向

29 2 軸

30 1 軸ORG Mode Sel 機械原点復帰方法

31 2 軸

32 1 軸ORG Mode3 Pos 機械原点復帰 Mode3 指定位置

33 2 軸

34 1 軸ORG Speed H 機械原点復帰速度 H

76

35 2 軸

36 1 軸ORG Speed M 機械原点復帰速度 M

37 2 軸

38 1 軸ORG Speed L 機械原点復帰速度 L

39 2 軸

40 1 軸EORG Speed 電気原点復帰速度

41 2 軸

42 1 軸Soft LMT Sel ソフトウェアリミット機能

7743 2 軸

44 1 軸＋ Soft LMT Pos ＋ソフトウェアリミット位置

45 2 軸


64

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15


ページ

AXIS

46 1 軸－ Soft LMT Pos －ソフトウェアリミット位置

7747 2 軸

48 - L <-> R Sel ジョグコントローラの左右ボタン動作軸

49 - T <-> B Sel ジョグコントローラの上下ボタン動作軸

50 - Right Dir ジョグコントローラの右ボタンのカウント方向

78

51 - Top Dir ジョグコントローラの上ボタンのカウント方向

52 1 軸Jy Cont コマンド「JY:」動作制御

53 2 軸

54 1 軸Jy Speed H JY スピード H

55 2 軸

56 1 軸Jy Speed 9 JY スピード 9

79

57 2 軸


59 2 軸


61 2 軸


80

63 2 軸


65 2 軸


67 2 軸


69 2 軸


8171 2 軸


73 2 軸

GENERAL

01 - AXIS Sel 制御対象軸

82

02 1 軸Max Speed 最大動作速度

03 2 軸

04 1 軸Lin/Rot 制御ステージ

05 2 軸

06 1 軸Stop Sel ストップ制御

07 2 軸

08 1 軸EMG Motor Excite 緊急停止時のモータ状態

09 2 軸

10 - EMG Connector 緊急停止機能

83

11 1 軸Motor Excite 起動時のモータ状態

12 2 軸

13 1 軸Stage Cont Type フィードバックステージの制御方法

14 2 軸

15 1 軸Count Sel 表示器のカウンタ

16 2 軸

17 1 軸CD Drive カレントダウンドライブ

18 2 軸

19 1 軸INP Dec インポジション判定時間

84

20 2 軸

21 1 軸FBT Sel フィードバック開始タイミング

22 2 軸

23 - Ini Mode イニシャルモード

24 - I/F Select インタフェース

25 - USB Del USB デリミタ

26 - GP-IB Addr GP-IB アドレス

85

27 - GP-IB Del GP-IB デリミタ

28 - GP-IB EOI GP-IB EOI

29 - GP-IB SRQ GP-IB SRQ

30 - ETHER Del EtherNet デリミタ

31 - IP Address EtherNet IP アドレス86

32 - Default Getway EtherNet デフォルトゲートウェイ


65

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

②表示画面の説明

● PARAMETER モードのトップ画面

●パラメータの編集画面

１

２３

[ P A R A M E T E R - S e t t i n g ]

[ A X I S 0 1 - 7 3 ]

0 1 1 A X I S N a m e

[ S - C u r v e ]

0 2 2 A X I S N a m e

[ S - C u r v e ]

5 6

4

No 項目説明

1 種類パラメータの種類です。

2 カーソル選択カーソルです。

3 メニュー

Setting パラメータの編集画面へ移動します。

Saveパラメータの保存を行います。パラメータが変更されていない場合は

保存は行いません。

Return

PARAMETER モードに移行する前のモードに戻ります。座標値は維持

されます。AXIS パラメータのみの操作、または GENERAL パラメー

タを変更しなかった、または GENERAL パラメータ変更後「2:Save」

を実行していない場合の表示です。

Reset To Startコマンド「RESET:」と同様の動作で再起動します。GENERAL パラメー

タを変更して「2:Save」を実行した場合の表示です。

Default表示している種類のパラメータを全てデフォルト化します。　※

この後、「2:Save」するとデフォルトパラメータで保存されます。

4 範囲パラメータ No の範囲です。

5 軸パラメータの対応している軸です。軸表示のないパラメータは両軸共通です。

6 内容パラメータの内容です。※　デフォルトパラメータは出荷時パラメータと異なる場合があります。別紙「出荷時パラメータシート」をご覧ください。

・パラメータをデフォルト化した場合は、ステージが意図しない動作をする可能性があります。デフォルトの内容をご確認ください。

[ P A R A M E T E R - M e n u ]

[ A X I S ]

S e t t i n g

S a v e

R e t u r n

D e f a u l t


ページ

GENERAL

33 - Subnet Mask EtherNet サブネットマスク

8634 - ECHO BACK コマンドエコーバック機能

35 - TEACH Monitor ティーチングモニタ機能

36 - GENERAL IN Chat 汎用入力ポートチャタリングチェック機能

87

37 - TEACH IN Chat TEACH 入力ポートチャタリングチェック機能

38 - Sleep Sel スリープ機能

39 - BEEP Sel ビープ音

40 - Disp bright 表示器の輝度

66

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15


[ A X I S ]

S e t t i n g

S a v e

R e t u r n

D e f a u l t

KEY 階層説明

F1 / 　トップ画面設定項目はありません。

編集画面カーソルを上に 10 項目移動させます。

F2 / 　トップ画面設定項目はありません。

編集画面カーソルを下に 10 項目移動させます。

F3 / 　トップ画面カーソルを上に移動させます。

編集画面カーソルを上に 1 項目移動させます。

F4 / 　トップ画面カーソルを下に移動させます。

編集画面カーソルを下に 1 項目移動させます。

F5（Enter）トップ画面カーソルの項目を決定します。

編集画面カーソルで選択しているパラメータの下層へ移動します。

F6（Cancel）トップ画面設定項目はありません。

編集画面カーソルで選択しているパラメータの上層へ移動します。

F7トップ画面

設定項目はありません。編集画面

F8トップ画面

設定項目はありません。編集画面

F7 ＋ F8トップ画面 GENERAL パラメータへ移行します。

編集画面設定項目はありません。

③ GENERAL パラメータへ移行手順

GENERAL パラメータへ移行手順を説明します。

X 0 . 0 0 0 0 0 0 m L C C W C W

Y 0 . 0 0 0 0 0 0 m C C W C WX X : 1 P L S

Y 1 Y : 1 M E U

LOCAL 画面

PARAMETER モードのトップ画面

LOCAL モードで何も実行してい

ない状態で F7（PLS/RTN）キー

と F8（MEU）キーの両方を

同時に押すと SETUP モードのメ

ニューが表示されます。

・手順 1

SETUP 画面

F2 キー（PRM）を押すと

PARAMETER モードへ移行しま

す。

・手順 2

PARAMETER モードへ移行した

ら、F7 ＋ F8 キーを同時押しし

ます。

・手順 3

X 0 . 0 0 0 0 0 0 m M O D

Y 0 . 0 0 0 0 0 0 m P R MX S L P R T N

Y I N F

[ P A R A M E T E R ]

G E N E R A L


67

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

パラメータの編集画面


[ A X I S 0 1 - 7 3 ]

2 9 2 O R G D i r

[ C C W + ]

3 0 1 O R G M o d e S e l

[ M o d e 0 ]

F5（ENTER）キーを押し、カー

ソルを下層へ移動させます。

・手順 5



[ A X I S 0 1 - 7 3 ]

0 1 1 A X I S N a m e

[ S - C u r v e ]

0 2 2 A X I S N a m e

[ S - C u r v e ]

F2/ キー及び F4/ キーを押

し、1 軸『ORG ModeSel』を表

示させます。

・手順 4


X 0 . 0 0 0 0 0 0 m L C C W C W

Y 0 . 0 0 0 0 0 0 m C C W C WX X : 1 P L S

Y 1 Y : 1 M E U

LOCAL 画面


④パラメータ設定内容変更方法

パラメータの設定は、フロントパネル操作かコマンドで変更できます。設定方法は、下記の設定例をご覧ください。

●設定例 1　LOCAL モードからフロントパネル操作で 1 軸側の機械原点復帰方法『ORG Mode Sel」を変更します。

LOCAL モードで何も実行してい

ない状態で F7（PLS/RTN）キー

と F8（MEU）キーの両方を

同時に押すと SETUP モードのメ

ニューが表示されます。

・手順 1

SETUP 画面

F2 キー（PRM）を押すと

PARAMETER モードへ移行しま

す。

・手順 2

カーソルが「1:Setting」にある

ことを確認して F5/ENTER キー

を押すと、パラメータの編集画面

へ移行します。

・手順 3

X 0 . 0 0 0 0 0 m M O D

Y 0 . 0 0 0 0 0 0 m P R MX S L P R T N

Y I N F


[ A X I S ]

S e t t i n g

S a v e

R e t u r n

D e f a u l t


[ G E N E R A L ]

S e t t i n g

S a v e

R e t u r n

D e f a u l t


GENERAL パラメータ編集モー

ドへ移行します。

68

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15



[ A X I S 0 1 - 7 3 ]

2 9 2 O R G D i r

[ C C W + ]


[ M o d e 1 ]

F5（ENETR）キーを押し

カーソルを上層へ移動させます。

（注：ここで、F6（CANCEL）キー

を押すと [Mode0] に戻り、カー

ソルが上層へ移動します。）

・手順 7

F6（CANCEL）キーを押し、

パラメータの編集画面から

PARAMETER モードの

トップ画面へ戻ります。

・手順 8 パラメータの編集画面


[ A X I S 0 1 - 7 3 ]

2 9 2 O R G D i r

[ C C W + ]


[ M o d e 1 ]


F4/ キーを押し、「2:Save」へ

カーソルを移動させます。

・手順 9


[ A X I S ]

S e t t i n g

S a v e

R e t u r n

D e f a u l t



[ A X I S 0 1 - 7 3 ]

2 9 2 O R G D i r

[ C C W + ]


[ M o d e 0 ]

F3/ キーを押し、項目を

[Mode0] から [Mode1] へ変更

します。

・手順 6



[ A X I S ]

S e t t i n g

S a v e

R e t u r n

D e f a u l t

F5（ENTER）キーを押し、変

更内容を Save します。画面

に Save OK と表示された後、

PARAMETER モードのトップ画

面に戻ります。

（注：Save する前に電源の OFF

や Restart を行った場合、変更し

た内容は反映されません。）

・手順 10

[ P A R A M E T E R ]

S A V E O K


69

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

LOCAL 画面

X 0 . 0 0 0 0 0 0 m L C C W C W

Y 0 . 0 0 0 0 0 0 m C C W C WX X : 1 P L S

Y 1 Y : 1 M E U


F4/ キーを押し、3:Return へ

カーソルを移動させます。

（注：変更後、Save しないで

Return した場合、変更した内容

は反映されません。）

・手順 11

F5（ENTER）キーを押し、

PARMETER メニュー画面から

LOCAL メニューへ戻ります。こ

れでパラメータ変更は終了です。

・手順 12


[ A X I S ]

S e t t i n g

S a v e

R e t u r n

D e f a u l t



[ A X I S ]

S e t t i n g

S a v e

R e t u r n

D e f a u l t

●設定例 2　LOCAL モードからフロントパネル操作で 1 軸側の JOG スピード L『Jog Speed 1』を変更します。

・手順 1 ～ 3　設定例 1 と同じです。



[ A X I S 0 1 - 7 3 ]

0 1 1 A X I S N a m e

[ S - C u r v e ]

0 2 2 A X I S N a m e

[ S - C u r v e ]

F2/ キー及び F4/ キーを押

し、1 軸『Jog Speed 1』を表

示させます。

・手順 4


[ A X I S 0 1 - 7 3 ]

2 4 1 J o g S p e e d 1

[ 1 . 0 0 0 0 0 0 ] m m / s

2 5 2 J o g S p e e d 1

[ 1 . 0 0 0 0 0 0 ] m m / s

パラメータの詳細画面


F5（ENTER）キーを押し、カー

ソルを下層へ移動させます。

・手順 5


[ A X I S 0 1 - 7 3 ]

2 4 1 J o g S p e e d 1

[ 1 . 0 0 0 0 0 0 ] m m / s

2 5 2 J o g S p e e d 1

[ 1 . 0 0 0 0 0 0 ] m m / s

・手順 6

F1/ キーを押すと、アンダー

バーが 1 の桁から小数点第一位へ

移動します。


70

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15



F5（ENETR）キーを押し

カーソルを上層へ移動させます。

（注：ここで、F6（CANCEL）

キーを押すと [1.0000]mm/s に

戻り、カーソルが上層へ移動しま

す。）

・手順 8


[ A X I S 0 1 - 7 3 ]

2 4 1 J o g S p e e d 1

[ 1 . 5 0 0 0 0 0 ] m m / s

2 5 2 J o g S p e e d 1

[ 1 . 0 0 0 0 0 0 ] m m / s


F3/ キーを押して、[0] を [5]

に変更します。

・手順 7

F6（CANCEL）キーを押し、

パラメータの編集画面から

PARAMETER モードのトップ画

面へ戻ります。

その後は、設定例 1 の手順９～

１２と同じです。

・手順９



[ A X I S ]

S e t t i n g

S a v e

R e t u r n

D e f a u l t


[ A X I S 0 1 - 7 3 ]

2 4 1 J o g S p e e d 1

[ 1 . 0 0 0 0 0 0 ] m m / s

2 5 2 J o g S p e e d 1

[ 1 . 0 0 0 0 0 0 ] m m / s


[ A X I S 0 1 - 7 3 ]

2 4 1 J o g S p e e d 1

[ 1 . 5 0 0 0 0 0 ] m m / s

2 5 2 J o g S p e e d 1

[ 1 . 0 0 0 0 0 0 ] m m / s

71

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

18 Acc Time 加減速時間 RESET

19

説明ステージ動作時の加減速時間を設定します。

1 軸側１８ 1 A c c T i m e

[ 設定値 ] m s

2 軸側１９ 2 A c c T i m e

[ 設定値 ] m s

設定値コマンド設定 , 返信内容

10 ～ 2000ms 10 ～ 2000

デフォルト 100ms 100

16 Acc Cont 加減速制御 RESET

17

説明ステージ動作時の加減速制御を設定します。

1 軸側１６ 1 A c c C o n t

[ 選択肢 ]

2 軸側１７ 2 A c c C o n t

[ 選択肢 ]

選択肢説明コマンド設定 , 返信内容

S-Curve S 字制御を設定 0

Linear 台形制御を設定 1

デフォルト S-Curve 0

⑤パラメータ説明の見方

No 項目内容

1 パラメータ No. パラメータの番号です。コマンド「PRM_GET:」「PRM_SET:」で使用します。

2 名称（アルファベット）アルファベット表記のパラメータの名称です。

3 名称パラメータの名称です。

４説明パラメータの機能説明です。

5 軸対象軸です。対象軸表示のないものは両軸共通設定または使用軸の選択になります。

6 設定の種類設定する種類を表しています。選択肢または設定値です。

7 設定の詳細選択肢の場合は選択候補、設定値の場合は設定可能範囲を表しています。

8 設定の説明選択肢の内容説明です。

9 コマンド設定・返信内容コマンド「PRM_SET:」「PRM_GET:」の使用時に送信または返信する内容番号の値です。

10 デフォルトパラメータのデフォルトを表しています。　※ 1

11 再起動の有無パラメータ保存後に自動で再起動が実行されるか否かを表しています。　※ 2黒文字は実行し、灰色文字は実行しません。

※ 1　デフォルトパラメータは出荷時パラメータと異なる場合があります。別紙「出荷時パラメータシート」をご覧ください。

※ 2　再起動はコマンド「RESET:」と同様の動作です。

パラメータ説明ページの見方について説明します。

1 5 1112

7 810 9

1 5 11412 3 ６

7 910

43 ６

72

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

⑥パラメータ説明

● AXIS パラメータ

01 AXIS Name 表示軸名 RESET

02

説明表示する軸名を設定します。両軸を同じ設定にもできます。

1 軸側0 1 1 A X I S N a m e

[ 選択肢 ]

2 軸側0 2 2 A X I S N a m e

[ 選択肢 ]


1 ～ 9 及び A ～ Z 数字及びアルファベットで指定軸名 3 指定の場合 3

軸名 A 指定の場合 10

デフォルト1 軸側 1 1

2 軸側 2 2

03 UNIT Sel 表示単位 RESET

04

説明表示する単位を設定します。

1 軸側0 3 1 U N I T S e l

[ 選択肢 ]

2 軸側0 4 2 U N I T S e l

[ 選択肢 ]


nm ナノメートル表示にする 0

um マイクロメートル表示にする 1

mm ミリメートル表示にする 2

Degree 度表示にする 3

OFF 単位なし表示にする　※ 4

デフォルト mm 2

※　座標値の最小桁が 1nm の桁となる表現となります。

05 Pos Dir 座標値カウント方向 RESET

06

説明座標値がプラスカウントする方向を設定します。

1 軸側0 5 1 P o s D i r

[ 選択肢 ]

2 軸側0 6 2 P o s D i r

[ 選択肢 ]


CCW+ CCW 方向（モータ側）にする 0

CW+ CW 方向（反モータ側）にする 1

デフォルト CCW+ 0

07 INPos Range インポジション範囲 RESET

08

説明位置決め完了を判断する範囲を設定します。

1 軸側0 7 1 I N P o s R a n g e

[ 選択肢 ]

2 軸側0 8 2 I N P o s R a n g e

[ 選択肢 ]


± 1count ± 1 カウントにする 0



デフォルト ± 1count 0

73

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

09 FB Speed フィードバック速度 RESET

10

説明位置決め動作中（BUSY）のフィードバック速度を設定します。

1 軸側0 9 1 F B S p e e d

[ 選択肢 ]

2 軸側1 0 2 F B S p e e d

[ 選択肢 ]


FAST 速い速度にする 0

NORMAL 従来速度にする 1

デフォルト NORMAL 1

11 ZERO Cont ゼロコントロール RESET

12

説明位置決め目標座標値で停止するように制御するか否かを設定します。

1 軸側1 1 1 Z E R O C o n t

[ 選択肢 ]

2 軸側1 2 2 Z E R O C o n t

[ 選択肢 ]


OFF制御しない

0（インポジション範囲のいずれかの場所で停止）

ON 制御する 1

デフォルト ON 1

13 Stage Config ステージ構成 RESET

14

説明ステージ構成を設定します。　※設定は変更しないでください。

1 軸側1 3 1 S t a g e C o n f i g

[ 選択肢 ]

2 軸側1 4 2 S t a g e C o n f i g

[ 選択肢 ]


Type0 Type1 / Type2 / Type3 以外に対応 0

Type1 50 枚歯リード 1mm 対応 1



デフォルト Type1 1

15 TEACH IF TEACH 実行操作インターフェース RESET

説明ティーチングの実行操作をするインターフェースを設定します。

1 5 T E A C H I F

[ 選択肢 ]


JOG/CMDステージコントローラ JOG 操作及びコマンド、

0ジョグコントローラを選択

I/O 汎用 I/O を選択 1

デフォルト JOG/CMD 0

16 Acc Cont 加減速制御 RESET

17

説明ステージ動作時の加減速制御を設定します。

1 軸側1 6 1 A c c C o n t

[ 選択肢 ]

2 軸側1 7 2 A c c C o n t

[ 選択肢 ]


S-Curve S 字制御にする 0

Linear 台形制御にする 1

デフォルト S-Curve 0

74

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

18 Acc Time 加減速時間 RESET

19

説明ステージ動作時の加減速時間を設定します。

1 軸側1 8 1 A c c T i m e

[ 設定値 ] m s

2 軸側1 9 2 A c c T i m e

[ 設定値 ] m s


10 ～ 2000ms 10 ～ 2000

デフォルト 100ms 100

20 Jog Speed 3 JOG スピード 3 RESET

21

説明フロントパネルの CW、CCW 及びジョグコントローラ長押し時の動作速度 3 を設定します。パラメータ

『Max Speed』以下に設定してください。設定値が超えた場合、直前の設定値に戻ります。

1 軸側2 0 1 J o g S p e e d 3

[ 設定値 ] m m / s

2 軸側2 1 2 J o g S p e e d 3



『Max Speed』mm/s 以下設定値によります

デフォルト 5.000000mm/s ※ 5000000

※　パラメータのデフォルト化時、『Max Speed』が本パラメータのデフォルト未満の場合、『Max Speed』の値になります。


23


『Jog Speed 3』以下に設定してください。『Jog Speed 3』を超えた場合、直前の設定値に戻ります。

1 軸側2 2 1 J o g S p e e d 2


2 軸側2 3 2 J o g S p e e d 2



『Jog Speed 3』mm/s 以下設定値によります

デフォルト 2.500000mm/s ※ 2500000



25


『Jog Speed 2』以下に設定してください。『Jog Speed 2』を超えた場合、直前の設定値に戻ります。

1 軸側2 4 1 J o g S p e e d 1


2 軸側2 5 2 J o g S p e e d 1



『Jog Speed 2』mm/s 以下設定値によります

デフォルト 1.000000mm/s ※ 1000000


75

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

26 Jog Cont CCW、CW キー操作時の動作制御 RESET

27

説明フロントパネルの CW,CCW キー操作中の動作を通常制御にするか、オープンループ（OPEN）制御にするか

を設定します。動作停止後、パラメータ「Stage Cont Type」の設定に従った制御に戻ります。但し、

パラメータ「Stage Cont Type」の設定が”Feedback" で設定速度が 1 μ m/s 以下の場合、オープン

ループ制御に設定しても、動作中はオープンループ制御にはなりません。

1 軸側2 6 1 J o g C o n t

[ 選択肢 ]

2 軸側2 7 2 J o g C o n t

[ 選択肢 ]


OFF 通常制御にする 0

ON オープンループ制御にする 1


28 ORG Dir 機械原点復帰方向 RESET

29

説明機械原点復帰の方向を設定します。

1 軸側2 8 1 O R G D i r

[ 選択肢 ]

2 軸側2 9 2 O R G D i r

[ 選択肢 ]


CCW+ CCW 方向（モータ側）にする 0

CW+ CW 方向（反モータ側）にする 1

デフォルト CW+ 1

30 ORG Mode Sel 機械原点復帰方法 RESET

31

説明機械原点復帰方法を設定します。詳細は「9. 原点復帰について」をご覧ください。

1 軸側3 0 1 O R G M o d e S e l

[ 選択肢 ]

2 軸側3 1 2 O R G M o d e S e l

[ 選択肢 ]


Mode0 Mode0 にする 0





None 機械原点復帰無し 5

デフォルト Mode0 0

32 ORG Mode3 Pos 機械原点復帰 Mode3 指定位置 RESET

33

説明機械原点復帰 Mode3 設定時の復帰位置を設定します。詳細は「9. 原点復帰について」をご覧ください。

1 軸側3 2 1 O R G M o d e 3 P o s

[ 設定値 ] m m

2 軸側3 3 2 O R G M o d e 3 P o s

[ 設定値 ] m m


0.000001 ～ 999.999999mm 設定値によります

デフォルト 0.500000mm 500000

76

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

36 ORG Speed M 機械原点復帰速度 M RESET

37

説明機械原点復帰速度 Middle を設定します。詳細は「9. 原点復帰について」をご覧ください。

設定値はパラメータ『ORG Speed H』以下に設定してください。

『ORG Speed H』を超えて設定した場合、直前の設定値に戻ります。

1 軸側3 6 1 O R G S p e e d M


2 軸側3 7 2 O R G S p e e d M



『ORG Speed H』mm/s 以下設定値によります

デフォルト 2.500000mm/s ※ 2500000


38 ORG Speed L 機械原点復帰速度 L RESET

39

説明機械原点復帰速度 Low を設定します。詳細は「9. 原点復帰について」をご覧ください。

設定値はパラメータ『ORG Speed M』以下に設定してください。

『ORG Speed M』を超えて設定した場合、直前の設定値に戻ります。

1 軸側3 8 1 O R G S p e e d L


2 軸側3 9 2 O R G S p e e d L



『ORG Speed M』mm/s 以下設定値によります

デフォルト 1.000000mm/s ※ 1000000


40 EORG Speed 電気原点復帰速度 RESET

41

説明電気原点復帰速度を設定します。詳細は「9. 原点復帰について」をご覧ください。

設定値はパラメータ『Max Speed』以下に設定してください。

『Max Speed』を超えて設定した場合、直前の設定値に戻ります。

1 軸側4 0 1 E O R G S p e e d


2 軸側4 1 2 E O R G S p e e d




デフォルト 5.000000mm/s ※ 5000000


34 ORG Speed H 機械原点復帰速度 H RESET

35

説明機械原点復帰速度 High を設定します。詳細は「9. 原点復帰について」をご覧ください。

設定値はパラメータ『Max Speed』以下に設定してください。

『Max Speed』を超えて設定した場合、直前の設定値に戻ります。

1 軸側3 4 1 O R G S p e e d H


2 軸側3 5 2 O R G S p e e d H




デフォルト 5.000000mm/s ※ 5000000


77

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

44 ＋ Soft LMT Pos ＋ソフトウェアリミット位置 RESET

45

説明座標値で指定するリミットの範囲を設定します。座標値がゼロの位置からの正（＋）の範囲になります。

但し、リミットセンサの位置を超える設定をしても、リミットセンサで停止します。

1 軸側4 4 1 ＋ S o f t L M T P o s

[ 設定値 ] m m

2 軸側4 5 2 ＋ S o f t L M T P o s

[ 設定値 ] m m


0.000001 ～ 999.999999mm 設定値によります

デフォルト 999.999999mm 999999999

46 ー Soft LMT Pos ーソフトウェアリミット位置 RESET

47

説明座標値で指定するリミットの範囲を設定します。座標値がゼロの位置からの負（－）の範囲になります。

但し、リミットセンサの位置を超える設定をしても、リミットセンサで停止します。

1 軸側4 6 1 － S o f t L M T P o s

[ 設定値 ] m m

2 軸側4 7 2 － S o f t L M T P o s

[ 設定値 ] m m


0.000001 ～ 999.999999mm 設定値によります

デフォルト 999.999999mm 999999999

48 L <-> R Sel ジョグコントローラの左右ボタン動作軸 RESET

説明ジョグコントローラの左右ボタンで動作する軸を設定します。

4 8 L < - > R S e l

[ 選択肢 ]


None ボタン使用無し 0

AXIS1 1 軸側にする 1


デフォルト AXIS1 1

49 T <-> B Sel ジョグコントローラの上下ボタン動作軸 RESET

説明ジョグコントローラの上下ボタンで動作する軸を設定します。

4 9 T < - > B S e l

[ 選択肢 ]


None ボタン使用無し 0



デフォルト AXIS2 2

42 Soft LMT Sel ソフトウェアリミット機能 RESET

43

説明座標値で指定するリミットを使用するか否かを設定します。

1 軸側4 2 1 S o f t L M T S e l

[ 選択肢 ]

2 軸側4 3 2 S o f t L M T S e l

[ 選択肢 ]


OFF 使用しない 0

ON 使用する 1

デフォルト OFF 0

78

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

51 Top Dir ジョグコントローラの上ボタンのカウント方向 RESET

説明ジョグコントローラの上ボタン操作時のカウント方向を設定します。

5 1 T o p D i r

[ 選択肢 ]


Plus プラス方向にする 0

Minus マイナス方向にする 1

デフォルト Plus 0

52 Jy Cont コマンド「JY:」動作制御 RESET

53

説明コマンド「JY:」実行中の動作を通常制御にするか、オープンループ（OPEN）制御にするかを設定します。

動作停止後、パラメータ「Stage Cont Type」の設定に従った制御に戻ります。但し、パラメータ「Stage

Cont Type」の設定が”Feedback" で設定速度が 1 μ m/s 以下の場合、オープンループ制御に設定しても、

動作中はオープンループ制御にはなりません。

1 軸側5 2 1 J y C o n t

[ 選択肢 ]

2 軸側5 3 2 J y C o n t

[ 選択肢 ]


OFF 通常制御にする 0

ON オープンループ制御にする 1


54 Jy Speed H JY スピード H RESET

55

説明 JY スピード H の動作速度を設定します。設定値はパラメータ『Max Speed』以下に設定

してください。『Max Speed』を超えて設定した場合、直前の設定値に戻ります。

1 軸側5 4 1 J c S p e e d H


2 軸側5 5 2 J c S p e e d H




デフォルト 5.000000mm/s ※ 10000000


50 Right Dir ジョグコントローラの右ボタンのカウント方向 RESET

説明ジョグコントローラの右ボタン操作時のカウント方向を設定します。

5 0 R i g h t D i r

[ 選択肢 ]


Plus プラス方向にする 0

Minus マイナス方向にする 1

デフォルト Plus 0

79

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

58 Jy Speed 8 JY スピード 8 RESET

59

説明 JY スピードの 8 段階目の動作速度を設定します。設定値はパラメータ『Jy Speed 9』以下に設定

してください。『Jy Speed 9』を超えて設定した場合、直前の設定値に戻ります。

速度設定範囲の詳細はパラメータ『Jy Speed 9』をご覧ください。

1 軸側5 8 1 J y S p e e d 8


2 軸側5 9 2 J y S p e e d 8



『Jy Speed 9』mm/s 以下設定値によります

デフォルト 1.000000mm/s ※ 1000000



61




1 軸側6 0 1 J y S p e e d 7


2 軸側6 1 2 J y S p e e d 7




デフォルト 0.500000mm/s ※ 500000



57

説明 JY スピードの 9 段階目の動作速度を設定します。設定値はパラメータ『Max Speed』以下に設定

してください。『Max Speed』を超えて設定した場合、直前の設定値に戻ります。

1 軸側5 6 1 J y S p e e d 9


2 軸側5 7 2 J y S p e e d 9




デフォルト 4.000000mm/s ※ 1 4000000


■ Jy Speed1 ～ 8 の最小動作速度について

　 Jy Speed1 ～ 8 の最小動作速度は Jy Speed9 の設定により決まります。詳細は下表をご覧ください。

　例えば、Jy Speed 9 を 1mm/s に設定した場合、最小動作速度は 0.00002mm/s となります。最小動作速度を

　 0.000001mm/s に設定できますが、この例の場合、最小動作速度は 0.00002mm/s ですので、動作はしません。

Jy Speed 9 の動作速度設定範囲最小動作速度

0.000001mm/s ≦　Jy Speed 9　≦ 0.065535mm/s 0.000001mm/s







80

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15


69




1 軸側6 8 1 J y S p e e d 3


2 軸側6 9 2 J y S p e e d 3




デフォルト 0.005000mm/s ※ 5000



67




1 軸側6 6 1 J y S p e e d 4


2 軸側6 7 2 J y S p e e d 4




デフォルト 0.010000mm/s ※ 10000



63




1 軸側6 2 1 J y S p e e d 6


2 軸側6 3 2 J y S p e e d 6




デフォルト 0.100000mm/s ※ 100000



65




1 軸側6 4 1 J y S p e e d 5


2 軸側6 5 2 J y S p e e d 5




デフォルト 0.050000mm/s ※ 50000


81

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15


71




1 軸側7 0 1 J y S p e e d 2


2 軸側7 1 2 J y S p e e d 2




デフォルト 0.001000mm/s ※ 1000



73




1 軸側7 2 1 J y S p e e d 1


2 軸側7 3 2 J y S p e e d 1




デフォルト 0.000500mm/s ※ 500


82

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

04 Lin/Rot 制御ステージ RESET

05

説明制御するステージの種類を設定します。　※ステージの仕様によって変わります。

1 軸側5 5 1 L i n / R o t

[ 選択肢 ]

2 軸側5 6 2 L i n / R o t

[ 選択肢 ]


Linear 直動ステージにする 0

Rotate 回転ステージにする 1

デフォルト Linear 0

06 Stop Sel ストップ制御 RESET

07

説明ステージの停止方法を設定します。フロントパネル JOG キー及びコマンド「L:」停止時のみが対象です。

1 軸側5 7 1 S t o p S e l

[ 選択肢 ]

2 軸側5 8 2 S t o p S e l

[ 選択肢 ]


SD Stop 減速停止にする 0

IM Stop 即時停止にする 1

デフォルト SD Stop 0

08 EMG Motor Excite 緊急停止時のモータ状態 RESET

09

説明緊急停止時のモータ状態を設定します。

1 軸側5 9 1 E M G M o t o r E x c i t e

[ 選択肢 ]

2 軸側6 0 2 E M G M o t o r E x c i t e

[ 選択肢 ]


Disable 解磁にする 0

Enable 励磁にする 1

デフォルト Disable 0

02 Max Speed 最大動作速度 RESET

03

説明最大動作速度を設定します。接続するステージの最大動作速度以下に設定してください。通信時にコマンド「D:」

の設定をしないでコマンド「A:」、「M:」を実行した場合、本パラメータの速度で動作します。

1 軸側0 5 1 M a x S p e e d


2 軸側0 6 2 M a x S p e e d



0.00001 ～ 6.000000mm/s 1 ～ 6000000

デフォルト 5.000000mm/s 10000000

※　接続するステージの最大移動速度を超える値に設定しないでください。

● GENERAL パラメータ

01 AXIS Sel 制御対象軸 RESET

説明制御対象の軸を設定します。

5 4 A X I S S e l

[ 選択肢 ]


1 1 軸側のみにする 0

2 2 軸側のみにする 1

1 ＋ 2 両軸にする 2

デフォルト 1 ＋ 2 2

83

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

11 Motor Excite 起動時のモータ状態 RESET

12

説明起動時のモータ状態を設定します。

1 軸側6 2 1 M o t o r E x c i t e

[ 選択肢 ]

2 軸側6 3 2 M o t o r E x c i t e

[ 選択肢 ]


Disable 解磁にする 0

Enable 励磁にする 1

デフォルト Enable 1

13 Stage Cont Type フィードバックステージの制御方法 RESET

14

説明フィードバックステージの制御方法を設定します。

1 軸側6 4 1 S t a g e C o n t T y p e

[ 選択肢 ]

2 軸側6 5 2 S t a g e C o n t T y p e

[ 選択肢 ]


Close クローズドループ制御にする 0

Open オープンループ制御にする 1

デフォルト Close 0

15 Count Sel 表示器のカウンタ RESET

16

説明表示器に使用するカウンタの種類を設定します。

1 軸側6 6 1 C o u n t S e l

[ 選択肢 ]

2 軸側6 7 2 C o u n t S e l

[ 選択肢 ]


Encoder エンコーダの読取値にする 0

Out Pulse 指令値にする 1

デフォルト Encoder 0

17 CD Drive カレントダウンドライブ RESET

18

説明モータの駆動電流を常時下げた状態で動作させるか否かを設定します。

1 軸側6 8 1 C D D r i v e

[ 選択肢 ]

2 軸側6 9 2 C D D r i v e

[ 選択肢 ]


OFF 通常状態にする 0

ON 駆動電流を下げた状態にする 1


10 EMG Connector 緊急停止機能 RESET

説明緊急停止機能を使用するか否かを設定します。

6 1 1 E M G C o n n e c t o r

[ 選択肢 ]


Disable 使用しない 0

Enable 使用する 1

デフォルト Disable 0

84

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

21 FBT Sel フィードバック開始タイミング RESET

22

説明フィードバック開始のタイミングを通常にするか指令動作の終了後にするかを設定します。

1 軸側7 2 1 F B T S e l

[ 選択肢 ]

2 軸側7 3 2 F B T S e l

[ 選択肢 ]


Normal 通常にする 0

After 終了後にする 1

デフォルト Normal 0

23 Ini R/L/T イニシャルモード RESET

説明起動時のモードを設定します。

7 4 I n i R / L / T

[ 選択肢 ]


REMOTE REMOTE モードにする 0

LOCAL LOCAL モードにする 1

TEACH TEACH モードにする 2

デフォルト LOCAL 1

24 I/F Sel 通信インターフェース RESET

説明通信インターフェースを設定します。

7 5 I / F S e l

[ 選択肢 ]


USB USB インターフェースにする 0

Ethernet Ethernet インターフェースにする 1

GP-IB GP-IB インターフェースでにする 2

デフォルト USB 0

25 USB Del USB デリミタ RESET

説明 USB インターフェースのデリミタ（区切り文字）を設定します。

7 6 U S B D e l

[ 選択肢 ]


CR ＋ LF CR ＋ LF を指定 0

CR CR を指定 1

LF LF を指定 2

デフォルト CR ＋ LF 0

19 INP Dec インポジション判定時間 RESET

20

説明インポジション判定時間を選択します。

1 軸側7 0 1 I N P D e c

[ 選択肢 ]

2 軸側7 1 2 I N P D e c

[ 選択肢 ]


Normal 通常にする 0

Short 短くする 1

デフォルト Normal 0

85

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

28 GP-IB EOI GP-IB EOI RESET

説明 GP-IB インターフェースの EOI の有効、無効を設定します。

7 9 G P - I B E O I

[ 選択肢 ]


OFF 無効にする 0

ON 有効にする 1


27 GP-IB Del GP-IB デリミタ RESET

説明 GP-IB インターフェースのデリミタ（区切り文字）を設定します。

7 8 G P - I B D e l

[ 選択肢 ]



EOI EOI を指定 1

CR CR を指定 2

LF LF を指定 3


29 GP-IB SRQ GP-IB SRQ RESET

説明 GP-IB インターフェースの SRQ の有効、無効を設定します。

8 0 G P - I B S R Q

[ 選択肢 ]


OFF 無効にする 0

ON 有効にする 1


30 ETHER Del Ethernet デリミタ RESET

説明 Ethernet インターフェースのデリミタ（区切り文字）を設定します。

8 1 E T H E R D e l

[ 選択肢 ]



CR CR を指定 1

LF LF を指定 2


26 GP-IB Addr GP-IB アドレス RESET

説明 GP-IB アドレスを設定します。

7 7 1 G P - I B A d d r

[ 選択肢 ]


1 ～ 30 アドレスを数字で指定 1 ～ 30

デフォルト 8 8

86

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

32 Default Getway Ethernet デフォルトゲートウェイ RESET

説明 Ethernet インターフェースのデフォルトゲートウェイを設定します。

8 3 D e f a u l t G a t e W a y

[ 設定値 ]


000000000000 ～ 255255255255 設定値によります

デフォルト 192168011254 192168011254

33 Subnet Mask Ethernet サブネットマスク RESET

説明 Ethernet インターフェースのサブネットマスクを設定します。

8 4 S u b n e t M a s k

[ 設定値 ]


000000000000 ～ 255255255255 設定値によります

デフォルト 255255255000 255255255000

34 ECHO BACK コマンドエコーバック機能 RESET

説明直前に送信したコマンド記述を返信するか否かを設定します。詳細は「6. コマンドについて」

-「 ③エコーバックについて」をご覧ください。

8 5 E C H O B A C K

[ 選択肢 ]


OFF 返信しない 0

ON 返信する 1


35 TEACH Monitor ティーチングモニター機能 RESET

説明設定している通信インターフェースに対して現在実行しているティーチング行の内容を返信するか否かを

設定します。

8 6 T E A C H M o n i t o r

[ 選択肢 ]


OFF 返信しない 0

ON 返信する 1


31 IP Address Ethernet IP アドレス RESET

説明 Ethernet インターフェースの IP アドレスを設定します。

8 2 I P A d d r

[ 設定値 ]


000000000000 ～ 255255255255 設定値によります

デフォルト 192168001210 192168001210

87

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

39 BEEP Sel ビープ音 RESET

説明ビープ音を鳴らすか否かを設定します。但し、連続鳴動の OFF はできません。

9 1 B E E P S e l

[ 選択肢 ]


OFF 鳴らさない 0

ON 鳴らす 1


38 Sleep Sel スリープ機能 RESET

説明スリープ機能を使用するか否かを設定します。スリープについての詳細は「4. 各部名称及び機能について」


9 0 S l e e p S e l

[ 選択肢 ]


OFF 使用しない 0

ON 使用する 1


40 Disp bright 表示器の輝度 RESET

説明表示器の輝度を設定します。

9 2 D i s p b r i g h t

[ 選択肢 ]


25％ 25% に設定 0

50％ 50% に設定 1

75％ 75% に設定 2

100％ 100% に設定 3

125％ 125% に設定 4

150％ 150% に設定 5

175％ 175% に設定 6

200％ 200% に設定 7

デフォルト 100％ 3

37 TEACH IN Chat TEACH 入力ポートチャタリングチェック機能 RESET

説明ティーチング操作入力ポートのチャタリングチェック機能の有効、無効を設定します。

8 9 T E A C H I N C h a t

[ 選択肢 ]


OFF チャタリングチェック無効 0

ON チャタリングチェック有効 1


36 GENERAL IN Chat 汎用入力ポートチャタリングチェック機能 RESET

説明汎用入力ポートのチャタリングチェック機能の有効、無効を設定します。

8 8 G E N E R A L I N C h a t

[ 選択肢 ]


OFF チャタリングチェック無効 0

ON チャタリングチェック有効 1


88

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

8. ティーチング機能について

ティーチング機能は本機器の内部に登録したコマンドを自動で実行する機能です。また、任意のタイミングで 1行ずつ実行することも可能です。TEACH モードになっているときのみ実行できます。1 行目から登録したコマンドを順次実行し、コマンド「END:」または 200 行目の完了で実行終了になります。コマンドが登録されていない行（空行）がある場合は、その行をスキップします。エラーが発生した場合は動作を停止し、解除可能なエラーの場合、コマンド「BEC:」または LOCAL モードに移行後、対象軸の「BEC」キーを操作することによりエラーの解除及び現在の行番号を 1 に戻します。

チャンネル 4

JG:1 -1000

END:

～

行

1

2

3

4

5

198

199

200

～

チャンネル 1

D:1F1000000

M:1+P10000000

G

END:

～

チャンネル 2

D:1F1000000

M:1-P10000000

G

END:

～

チャンネル 3

JG:1 +1000

END:

～

チャンネル 5

FS:1 1000

FS:2 1000

M:1+P100000

G

FE:2

FE:1

END:

～

①チャンネルについて

1 ～ 5 までの 5 個あり、チャンネル毎の保存行数は 200 行です。下表は内蔵メモリの保存イメージです。

②登録及び編集について

内容の登録はコマンドでのみ可能です。登録及び編集に使用するコマンドを下記に示します。詳細は「6. コマンドについて」をご覧ください。

項目 No, コマンド名機能

自動 56 T_ON: ティーチング編集モードへ移行

57 T_OFF: ティーチング内容を保存して TEACH モードへ戻る　※ 1

58 T_DEL: ティーチング登録した行の内容を削除　※ 1

59 T_SET: ティーチング内容を行毎に設定　※ 1

60 T_GET: ティーチング登録した行の内容を取得

61 TC: ティーチングチャンネルを選択

62 TCR: 現在のティーチングチャンネルを取得

63 TQ: ティーチングに関するステータスを取得

68 TR: ティーチングチャンネル登録状態を取得

※ 1　T_ON: コマンド実行後に使用可能です。


・ティーチングを実行する前に、登録内容をご確認ください。

・送信例 1

1 軸側の動作速度を 1mm/sec にし、1 軸側を現在の位置から + 方向に 1mm ずつ 10 回動作させた後、- 方向に10mm 動作させて 1 秒待つ。これを 10 回行う動作をチャンネル 1 に書き込む場合です。

送信コマンド説明

T_ON: TEACH 編集モードへ移行

TC:1　※ 1 チャンネル 1 を選択

T_SET:1　D:1F1000000　※ 2 1 軸側動作速度を 1mm/sec に設定

T_SET:2　H:1 1 軸機械原点復帰を設定

T_SET:3　FS:1 10　※ 2 ループ階層 1 を 10 回に設定

T_SET:4　FS:2 10　※ 2 ループ階層 2 を 10 回に設定

T_SET:5　M:1+P1000000　※ 2 1 軸側相対移動設定値を 1mm に設定

T_SET:6　G　※ 2 動作開始

T_SET:7　FE:2　※ 2 ループ階層 2 の終了場所

T_SET:8　M:1-P10000000　※ 2 1 軸側相対移動設定値を -10mm に設定

T_SET:9　G　※ 2 動作開始

T_SET:10　T:1.0　※ 2 1 秒待機

T_SET:11　FE:1　※ 2 ループ階層 1 の終了場所

T_SET:12　END:　※ 2 ティーチング終了行設定

T_OFF:　※ 3 ティーチング内容を保存して通常モードへ戻る※ 1　登録内容の読み込みが完了するまでお待ち下さい。状態はコマンド「TQ:」で確認できます。

※ 2　「T_SET:」には行番号指定の後にスペースが入ります。

※ 3　送信しないと内部メモリに登録されませんので必ず送信してください。送信しないで電源の OFF、再起動、コマンド

　　　「RESET:」の送信を行うと、書き込んだ内容は消失します。

89

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

ティーチング登録可能コマンド一覧です。各コマンドの詳細は「6. コマンドについて」をご覧ください。

●登録対象コマンド

・送信例 2

送信例 1 の行の内容を取得する場合です。

送信コマンド返信コマンド説明

T_ON: - ティーチング編集モードへ移行

TC:1 - チャンネル 1 を選択

T_GET:1 D:1F1000000 1 行目を取得

T_GET:4 M:1+1000000 4 行目を取得

T_GET:13 - 登録されていない

送信コマンド説明

T_ON: ティーチング編集モードへ移行

TC:1 チャンネル 1 を選択

T_DEL:1 1 行目を削除




T_OFF:　※ 1 ティーチング内容を保存して通常モードへ戻る※ 1　送信しないと内部メモリから削除されませんので必ず送信してください。送信しないで電源の OFF、再起動、

　　　コマンド「RESET:」の送信を行うと、コマンド「T_DEL:」の命令は破棄されます。

・送信例 3

送信例 1 の 1 行目から 4 行目を削除する場合です。

項目 No, コマンド名機能掲載

ページ

制御 09 F: ステージ制御方法（Close 及び Open）の変更28

11 C: モータ状態（励磁及び解磁）の変更

原点 33 H: 機械原点復帰を実行44

34 Z: 電気原点復帰を実行

35 R: 電気原点設定（ゼロセット）を実行 45

動作 38 ACC: 加減速の設定 46

40 D: 動作速度の設定 47

42 A: 絶対移動座標値の設定 49

43 M: 相対移動距離の設定 50

44 G 動作開始（動作完了後に設定値が破棄される）

5145 GN:

軸指定による動作開始（動作完了後でも設定値が維持される）

48 JG: パルス数指定動作を実行 53

汎用I/O

55 O: 汎用 I/O の出力ポートの設定 55

登録専用

74 FS: ループ設定

61

75 FE: ループ終了

76 END: ティーチング実行終了

77 T: ウェイトタイム

78 GIS: 指定した汎用入力状態になるまで待機

90

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

フロントパネル、コマンド、汎用 I/O、ジョグコントローラにてティーチング操作を行います。操作系統は【フロントパネル】【コマンド】【ジョグコントローラ】【汎用 I/O】の 4 種類で、パラメータ「TEACH IF」で "I/O" を選択した場合、汎用 I/O でのみ操作が可能となります。"JOG/CMD" を選択した場合、汎用 I/O 以外から操作が行えます。また、操作系統を統一させる必要はなく、例えばフロントパネルで実行開始して、ジョグコントローラ及びコマンドで実行停止させることもできます。

③ティーチング操作

●フロントパネルによる操作


KEY 表示内容

F1 C1

ティーチングのチャンネルを選択します。この場合、チャンネル 1 が選択されていて、

コマンドが登録されています。コマンドが登録されていない場合、チャンネル番号の左

側は空白になります。表示が点滅しているとき、ティーチング内容の登録中ですので F1

～ F8 キーの操作は行えません。操作を行いたい場合は、コマンド「T_OFF:」を実行し

てください。

F2 GO ティーチングを実行します。実行中は表示が点滅します。

F3STP

ティーチングの実行を停止します。また、点滅している「GO」、「PAU」、「ONE」の点

滅が止まります。F4

F5 -

ティーチングの実行が停止している場合に 2 回連続押し（ダブルクリック）で、動作テ

ストモードに移行します。動作テストモードについては「5. 操作について」-「⑤動作

テストモード」をご覧ください。

F6 PAUティーチングの実行中に押すと、実行している行の次の行を実行せず一時停止します。

一時停止中は表示が点滅します。再開する場合は、F2（GO）キーを押します。

F7ONE

停止中または一時停止中に押すと、コマンド行を 1 行実行します。1 行実行中は表示が

点滅します。1 行実行終了後、表示の点滅が止まり、一時停止になります。F8

F7 ＋ F8 -ティーチング実行が停止している状態で両方を同時に押すと SETUP モードへ移行しま

す。SETUP モードについては「5. 操作について」-「① SETUP モード」をご覧ください。

No 項目内容

1 行番号現在の行番号が表示されます。

2 モード T（TEACH）が表示されます。

3 メニュー F1 ～ F8 に対応しています。

・チャンネル選択

チャンネルは F1（C）キーで選択します。押す毎に切り替わります。

パラメータ「TEACH IF」が "JOG/CMD" のとき操作できます。

X 0 . 0 0 0 0 0 0 m T C 1

Y 0 . 0 0 0 0 0 0 m G O P A UX

S T P O N EY 0 0 1

2 3

1

91

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

・実行開始

実行を開始する場合は F2（GO）キーを押します。実行が開始されると GO が点滅します。1 行目から実行し、コマンド「END:」または２00 行目が完了すると GO の点滅が止まり、実行が停止され 1 行目に戻って待機します。実行中にエラーの発生及び緊急停止させた場合、動作中のステージは即時停止し、実行していた行で停止します。リミットエラー、オーバーフローエラー、緊急停止で停止した場合、フロントパネルの BEC キーまたはコマンド

「BEC:」で解除すると 1 行目に戻ります。上記以外のエラーの解除については、電源再投入、再起動、コマンド「RESET:」の送信のいずれかを行ってください。

・一時停止

実行中に一時停止する場合は F6（PAU）キーを押します。F6（PAU）キーを押したときに実行している行の次の行を実行せず一時停止され、PAU が点滅します。実行を再開する場合は、F2（GO）キーを押します。

ティーチング画面

F2（GO）キーを押すと、実行

されます。※ GO は点滅します。

X 0 . 0 0 0 0 0 0 m T C 1

Y 0 . 0 0 0 0 0 0 m G O P A UX

S T P O N EY 0 0 1

F6（PAU）キーを押すと、一時

停止します。

※ PAU は点滅します。


X 0 . 0 0 0 0 0 0 m T C 1

Y 0 . 0 0 0 0 0 0 m G O P A UX

S T P O N EY 0 0 2


F2（GO）キーを押すと、実行

が再開されます。※ GO は点滅します。

X 0 . 0 0 0 0 0 0 m T C 1

Y 0 . 0 0 0 0 0 0 m G O P A UX

S T P O N EY 0 0 3

・一行実行

1 行ずつ実行する場合は F7（ONE）キーまたは F8（ONE）キーを押します。一時停止中、停止中で実行することができます。停止中の場合、F7（ONE）キーまたは F8（ONE）キーを押すと 1 行目を実行して一時停止します。一時停止中の場合、押す毎に 1 行ずつ実行します。但し、ステージが動作している場合、位置決めが完了するまで本指令は許可されず破棄されます。実行中にエラーの発生及び緊急停止させた場合、動作中のステージは即時停止し、実行していた行で停止します。リミットエラー、オーバーフローエラー、緊急停止で停止した場合、フロントパネルの BEC キーまたはコマンド「BEC:」で解除すると 1 行目に戻って待機します。上記以外のエラーの解除については、電源再投入、再起動、コマンド「RESET:」の送信のいずれかを行ってください。

停止中に F7（ONE）キーまた

は F8（ONE）キーを押すと、

1 行目を実行し、一時停止しま

す。※ 1 行実行中は ONE 及び PAU が

点滅します。


X 0 . 0 0 0 0 0 0 m T C 1

Y 0 . 0 0 0 0 0 0 m G O P A UX

S T P O N EY 0 0 1

92

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

再度 F7（ONE）キーまたは

F8（ONE）キーを押すと、次

行を実行します。※ 1 行実行中は ONE 及び PAU が

点滅します。



F2（GO）キーを押すと、次行

から自動で実行します。※ GO は点滅します。

X 0 . 0 0 0 0 0 0 m T C 1

Y 0 . 0 0 0 0 0 0 m G O P A UX

S T P O N EY 0 0 3

・実行停止

F3（STP）キーまたは F4（STP）キーを押すと、ステージが動作中の場合は即時停止させ、実行を停止します。停止後は 1 行目に戻ります。


F3（STP）キーまたは F4（STP）

キーを押すと、実行を停止しま

す。X 0 . 0 0 0 0 0 0 m T C 1

Y 0 . 0 0 0 0 0 0 m G O P A UX

S T P O N EY 0 0 3

パラメータ「TEACH IF」が "JOG/CMD" のとき操作できます。操作コマンドの一覧を下記に示します。詳細は「6. コマンドについて」をご覧ください。

●コマンドによる操作

項目 No, コマンド名説明掲載

ページ

自動 61 TC: ティーチングのチャンネルを選択 56

62 TCR: 現在のティーチングチャンネルを取得

57

63 TQ: ティーチングに関するステータスを取得

64 TG: 選択されているチャンネルで実行開始

65 TP: ティーチング動作を一時停止

66 TO: ティーチング内容を 1 行ずつ実行

67 TL: ティーチング動作を停止及び緊急停止

5868 TR: ティーチングチャンネル登録状態を取得

69 TFR: ティーチングループ回数を取得

70 TM: ティーチングモニタ設定　※ 1 59

71 TMR: ティーチングのモニタ設定状態を取得　※ 1

6072 TNR: 現在のティーチング行番号を取得

73 TACR: 現在のティーチング実行コマンドを取得※ 1　実行中は使用できません。

パラメータ「TEACH IF」が "JOG/CMD" のとき操作できます。ジョグコントローラの取扱説明書をご覧ください。

●ジョグコントローラによる操作

X 0 . 0 0 0 0 0 0 m T C 1

Y 0 . 0 0 0 0 0 0 m G O P A UX

S T P O N EY 0 0 1

93

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

端子端子番号説明

T_1 43

チャンネルを変更T_2 19

T_3 44

T_START 20 実行開始

T_PAUSE 45 一時停止

T_ONE_STEP 21 1 行実行

T_STOP 46 実行停止

パラメータ「TEACH IF」が "I/O" のとき操作できます。スイッチ入力でティーチングの操作ができます。詳細は「12. 仕様」-「②インターフェース仕様」-「4）汎用 I/O」をご覧ください。

●汎用 I/O による操作

入力電流波形は、パルス状（立ち上がり及び立ち下り時間 < 100 μ sec）になるようにしてください。

・端子の説明

T_START

T_PAUSE

T_START はティーチング実行を開始するための端子です。パルス幅で 10ms 以上 ON させてください。

T_ONE_STEP

T_STOP

T_PAUSEはティーチングを実行している行の次の行を実行せず一時停止するための端子です。ONしている間、一時停止します。

T_ONE_STEP は登録した内容を 1 行ずつ実行するための端子です。パルス幅で 10ms 以上 ON させる毎に実行します。但し、ステージが動作している場合、位置決めが完了するまで本指令は許可されず破棄されます。T_START が実行されていないときに T_PAUSE 端子を ON にした状態で、T_ONE_STEP 端子をパルス幅で10ms 以上 ON にすると、登録した内容の 1 行目から 1 行ずつ実行ができます。

T_STOP はステージが動作中の場合は即時停止させ、ティーチング実行を停止させるための端子です。停止後は 1 行目に戻ります。パルス幅で 10ms 以上 ON させてください。

・用語の説明

ON とは、本機器内部のフォトカプラの入力端子に電流を流すことをいいます。OFF とは、本機器内部のフォトカプラの入力端子に流れている電流を遮断することをいいます。

T_1、T_2、T_3

T_1、T_2、T_3 はチャンネルを選択するための端子です。T_1、T_2、T_3 でチャンネルを選択し続けている間、T_START、T_PAUSE、T_ONE_STEP、T_STOP がご使用できます。T_1、T_2、T_3 をチャンネル 1 ～5 の設定以外にした場合は、前記の端子機能はご使用できません。実行中に T_1、T_2、T_3 の状態を変更した場合は、実行を停止します。

チャンネル T_1 T_2 T_3

1 ON OFF OFF

2 OFF ON OFF

3 ON ON OFF

4 OFF OFF ON

5 ON OFF ON

94

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

端子端子番号説明

T_STATUS 17 登録行の実行中に HIGH を出力

/T_STATUS 42 T_STATUS の反転出力

・実行状態確認

下記の端子で状態を確認できます。

・各端子の操作例と実行状態

行番号登録内容説明

① D:1F1000000 1 軸側動作速度を 1mm/sec に設定② H:1 1 軸側機械原点復帰を実行③ M:1+P1000000 1 軸側相対移動設定値を +1mm に設定④ G 動作開始

⑤ END: 最終行指定

※ 1　T_STATUS 信号の ON は T_STATUS 端子の HIGH と同じ意味です。

※ 2　自動実行中の T_STATUS 信号の OFF 時間は約 500 μ sec ですので、T_PAUSE 端子が ON になっていない状態で

　　　T_STATUS 信号の OFF 時間が 500 μ sec 以上（例えば 1msec）継続した場合、自動実行終了と判断してください。

※ 3　1 行実行で最終行を実行した後、T_PAUSE 端子を 10msec 以上 OFF にしない限り、再実行はできません。

※ 4　1 行実行で最終行を実行した後、T_PAUSE 端子が ON のままの場合、T_STOP 端子を 10msec 以上 ON にしない限り、

　　　再実行はできません。

※1

※1

＞10msec ＞10msec

再実行不能区間※3

再実行不能区間※4

95

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

9. 原点復帰について

原点は、機械原点と電気原点の 2 種類があります。

種類内容

機械原点ステージ内部に搭載されているリミットセンサを基準とし、Mode0 ～ 4 の動作をした後の位置

電気原点座標値のゼロの位置

①機械原点復帰（Mode0）

リミットセンサから 0.5mm の位置へ動作し、座標値をゼロセットします。

ⅰ 任意の位置からリミットセンサ検出位置へ動作します。

動作速度：

動作方向：

パラメータ「ORG Speed H」

パラメータ「ORG Dir」

ⅱ リミットセンサを抜けるまで動作します。

動作速度：

動作方向：

パラメータ「ORG Speed L」の 1/ 10

パラメータ「ORG Dir」と反対方向

ⅲ リミットセンサを抜けた位置から 0.5mm 動作します。

動作速度：

動作方向：

パラメータ「ORG Speed L」


ⅰ

ⅱⅲ

リミットセンサ任意の位置

リミットセンサから"0.5mm" の位置

②機械原点復帰（Mode1）

リミットセンサから 1mm の位置へ動作し、座標値をゼロセットします。

ⅰ

ⅱⅲ


リミットセンサから"1mm" の位置

③機械原点復帰（Mode2）

CW、CCW リミットセンサ間の中点へ動作し、座標値をゼロセットします。


動作速度：

動作方向：




動作速度：

動作方向：



ⅴ リミットセンサ間の中点へ動作します。

動作速度：

動作方向：



ⅰ

ⅱⅲ


リミットセンサ間中点

ⅲ 反対側のリミットセンサ検出位置へ動作します。

動作速度：

動作方向：



ⅳ リミットセンサを抜けるまで動作します。

動作速度：

動作方向：

パラメータ「ORG Speed L」の 1 / 10


リミットセンサ

ⅳ ⅴ



動作速度：

動作方向：




動作速度：

動作方向：



ⅲ リミットセンサを抜けた位置から 1mm 動作します。

動作速度：

動作方向：



96

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

④機械原点復帰（Mode3）

リミットセンサからパラメータ「ORG Mode3 Pos」の設定位置へ動作し、座標値をゼロセットします。


動作速度：

動作方向：




動作速度：

動作方向：

パラメータ「ORG Speed L」の 1 / 10


ⅲ リミットセンサを抜けた位置からパラメータ「ORG Mode3 Pos」設定位置まで動作します。

動作速度：

動作方向：

パラメータ「ORG Speed M」


ⅰ

ⅱⅲ


「ORG Mode3 Pos」設定位置

⑤機械原点復帰（Mode4）　

ORG センサ検出位置へ動作し、座標値をゼロセットします。


動作速度：

動作方向：




動作速度：

動作方向：



ⅲ ORG センサ検出位置へ動作します。

動作速度：

動作方向：

パラメータ「ORG Speed M」


ⅰ

ⅱⅲ


ORG センサ

ⅳⅳ ORG センサを抜けるまで動作します。

動作速度：

動作方向：



⑥電気原点復帰

現在の位置から座標値のゼロ（0mm）の位置へ動作します。

動作速度：

動作方向：

パラメータ「EORG Speed」

現在の位置から座標値のゼロの方向

ゼロ（0mm）の位置現在の位置

・ORG センサ搭載ステージ以外で使用しないでください。意図しない動作になります。

97

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

10. 動作テストについて

本機器にステージが正しく接続されているか確認できます。動作は 3 種類で、操作はフロントパネルで行います。動作テストモードへの移行方法は「5. 操作について」-「⑤動作テストモード」をご覧ください。

①ステップ動作テスト　SMT（F1 キー）

ステージのストローク（公称値）を 10 分割した移動距離を 1 ステップとし、往復で各 10 ステップ動作させます。往復した後、再度ストローク算出動作をします。ステージのストローク（公称値）は CW、CCW リミットセンサ間を動作させ、その値から算出します。


動作速度：

動作方向：




動作速度：

動作方向：




動作速度：

動作方向：




動作速度：

動作方向：



ⅴ ステップ動作します。

動作速度：

動作方向：



ⅵ ステップ動作します。

動作速度：

動作方向：



ⅶ ⅰへ戻ります。

ⅰ

ⅱ



ⅲ

ⅳⅴ

ⅵⅶ

②リミットセンサ間動作テスト　LMT（F2 キー）

CW、CCW リミットセンサ検出位置の間を往復動作します。


動作速度：

動作方向：




動作速度：

動作方向：

パラメータ「ORG Speed L」の 1/10



動作速度：

動作方向：



ⅳ リミットセンサ検出位置へ動作します。

動作速度：

動作方向：



ⅴ 反対側のリミットセンサ検出位置へ動作します。

動作速度：

動作方向：



ⅵ ⅳへ戻ります。

ⅰ

ⅱ



ⅲ

ⅳ

ⅴⅵ


98

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

③微小ステップ動作テスト　MMT（F5 キー）

ステージストローク（公称値）を算出し、1mm ステップで往復動作させます。往復した後、再度ストローク算出動作をします。ステージのストローク（公称値）は CW、CCW リミットセンサ間を動作させ、その値から算出します。


動作速度：

動作方向：




動作速度：

動作方向：




動作速度：

動作方向：




動作速度：

動作方向：



ⅴ 1mm ステップで動作します。

動作速度：

動作方向：



ⅵ 1mm ステップで動作します。

動作速度：

動作方向：



ⅶ ⅰへ戻ります。

ⅰ

ⅱ



ⅲ

ⅳⅴ

ⅵⅶ

99

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

11. ステータスについて

ステータスは、表示器及びステータスコマンドで確認することができます。表示器は「5. 操作について」を、コ

マンドは「6. コマンドについて」の「動作情報」のコマンドをご覧ください。

①ステータス一覧

項目 No 内容

動作関連

01 正常停止

02 指令動作中

03 インポジション範囲外（位置決め完了後）

04 位置決め動作中

05 電気原点復帰中

06 機械原点復帰中

07 CW リミット停止

08 CCW リミット停止

09 CW ソフトウェアリミット停止

10 CCW ソフトウェアリミット停止

11 エラー状態

12 モータ励磁移行中

13 モータ解磁移行中

エラー関連

14 正常






20 緊急停止




24 ソフトウェアリミット停止

25 ティーチングコマンドエラー

②内容説明

01 正常停止

説明位置決めが完了してインポジション範囲内に留まっている状態です。

表示器「5. 操作について」-「② LOCAL モード」-「位置決め状態」をご覧ください。

動作情報コマンドのステータス K　※

※　コマンド「Q:」、「SRQ:」、「STS:」をご覧ください。

02 指令動作中

説明指令動作を実行している状態です。


動作情報コマンドのステータス M　※


03 インポジション範囲外（位置決め完了後）

説明位置決め完了後でインポジション範囲から外れた状態です。


動作情報コマンドのステータス F　※


●動作関連

100

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

05 電気原点復帰中

説明電気原点に向かって動作をしている状態です。

表示器 -

動作情報コマンドのステータス P　※


06 機械原点復帰中

説明機械原点に向かって動作をしている状態です。

表示器 -

動作情報コマンドのステータス O　※


07 CW リミット停止

説明 CW 側のリミットセンサに入って停止している状態です。

表示器 CW LMT（CW キー点滅）

動作情報コマンドのステータス C　※


08 CCW リミット停止

説明 CCW 側のリミットセンサに入って停止している状態です。

表示器 CCW LMT（CCW キー点滅）

動作情報コマンドのステータス W　※


09 CW ソフトウェアリミット停止

説明 CW 側のソフトウェアリミットに入って停止している状態です。

表示器 CW SLMT（CW キー点滅）

動作情報コマンドのステータス B　※


10 CCW ソフトウェアリミット停止

説明 CCW 側のソフトウェアリミットに入って停止している状態です。

表示器 CCW SLMT（CCW キー点滅）

動作情報コマンドのステータス V　※


11 エラー状態

説明何らかのエラーが発生している状態です。

表示器 -

動作情報コマンドのステータス E　※


04 位置決め動作中

説明指令動作後の位置決め動作を実行している状態です。


動作情報コマンドのステータス G　※


12 モータ励磁移行中

説明モータを励磁状態に移行処理している状態です。

表示器 -

動作情報コマンドのステータス H　※


101

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

●エラー関連

14 正常

説明エラーが発生していない状態です。

表示器 -

動作情報コマンドのステータス K ※ 1 または対象ビットが 1 ※ 2

※ 1　コマンド「Q:」、「SRQ:」、「ER:」の返信フォーマット 1 をご覧ください。



説明本機器に定義されていない、または本機器の状態に合わないコマンド文字列がパソコンから送信された場合に発生します。

表示器 CMD ER

動作情報コマンドのステータス 1 ※ 1 または対象ビットが 1 ※ 2


※ 2　コマンド「Q:」、「SRQ:」、「ER:」の返信フォーマット２をご覧ください。

発生ケース

1）現在のモードで使用できないコマンドが送信された。

2）定義されたコマンド以外の ASCII コード文字列が送信された。

3） ASCII コード以外のコードが送信された。

4）デリミタ設定が合っていない文字列がすでに本機器に送られた状態で正常なデリミタが

送信された。

5）通信バッファ上に不要なコードが残っていて、この不要コードを加えたコマンドが送信

された。

6）制御可能な軸以外の軸指定のコマンドが送信された。

7）動作指令を出す軸のモータが解磁されている。

8）リミットに入っている状態で、更に入っているリミット側に動作するコマンドが送信さ

れた。

9）ソフトウェアリミットに入っている状態で、更に入っているソフトウェアリミット側に

動作するコマンドが送信された。

解除 , 復旧方法コマンドエラー状態でもコマンドの送信は可能ですので、本機器に定義された、または本機器

の状態に合ったコマンド文字列がパソコンから送信されると解除します。


説明スケール信号が入力されていない場合に発生します。

表示器 SCALE ER




発生ケース

1）スケールケーブルコネクタが本機器から外れた。

2）スケールケーブルが断線している。

3）スケールが故障している。

解除 , 復旧方法本機器の電源を切り、原因を取り除いた後、電源を投入してください。

13 モータ解磁移行中

説明モータを解磁状態に移行処理している状態です。

表示器 -

動作情報コマンドのステータス I　※


102

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15


説明座標値カウンタのカウント能力以上の速度で動作した場合に発生します。

表示器 OS ER




発生ケース

1）ステージに何かが衝突した。

2）ステージが振動を受けている。

3）スケール信号に強烈なノイズが混入している。

４）ステージに強い閃光があたった。

解除 , 復旧方法原因を取り除いた後、電源再投入、再起動、コマンド「RESET:」の送信のいずれかを行っ

てください。


説明座標値と指定位置との差が 5mm 以上の場合に発生します。

表示器 OF ER




発生ケース1）ステージが脱調した。

2）位置決め完了後にクローズドループ状態でステージのつまみを回して移動させた。

解除 , 復旧方法

原因を取り除いた後、座標値を維持したい場合は、ビジーエラーキャンセルを行ってください。

座標値の維持が必要ない場合は、電源再投入、再起動、コマンド「RESET:」の送信のいず

れかを行ってください。

20 緊急停止

説明緊急停止している状態です。

表示器 EMERGENCY




解除 , 復旧方法「12. 仕様」-「②インターフェース仕様」-「5）緊急停止」をご覧ください。


説明スケール信号の大きさが規定を外れた場合に発生します。

表示器 IP ER




発生ケース

1）スケールが汚れている

2）ステージに強い光が当たっている。

3）スケールが故障している。

解除 , 復旧方法原因を取り除いた後、電源再投入、再起動、コマンド「RESET:」の送信のいずれかを行っ

てください。


説明片軸または両軸の CW、CCW リミットのどちらかが入っている状態です。

表示器CW リミットの場合 CW LMT（CW キー点滅）

CCW リミットの場合 CCW LMT（CCW キー点滅）



※２　コマンド「Q:」、「SRQ:」、「ER:」の返信フォーマット 2 をご覧ください。

解除 , 復旧方法これ以上先に動作させることはできませんので、逆方向に動作させてください。

103

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15


説明 CW、CCW リミットが同時に入っている場合に発生します。

表示器 LIMIT ER




発生ケース

1）モータケーブルコネクタが本機器から外れた。

2）モータケーブルの CW、CCW リミットセンサ線が両方断線した。

3）モータケーブルの CW、CCW リミットセンサ線のどちらかが断線して、断線した側と

反対側のリミットに入った。

4）ステージに搭載の CW、CCW リミットセンサの両方に汚れ、または異物の侵入があった。

5）ステージに搭載のリミットセンサが故障した。

解除 , 復旧方法

原因を取り除いた後、座標値を維持したい場合は、ビジーエラーキャンセルを行ってください。

座標値の維持が必要ない場合は、電源再投入、再起動、コマンド「RESET:」の送信のいず

れかを行ってください。


説明本機器のシステムが故障している場合に発生します。

表示器 SYS ER




解除 , 復旧方法解除及び復旧はできません。電源ケーブルのプラグをコンセントから抜いて、当社または

代理店へご連絡ください。

24 ソフトウェアリミット停止

説明片軸または両軸の CW、CCW ソフトウェアリミットのどちらかが入ってい

る状態です。

表示器CW ソフトウェアリミットの場合 CW SLMT（CW キー点滅）

CCW ソフトウェアリミットの場合 CCW SLMT（CCW キー点滅）

動作情報コマンドのステータス S ※ 1 または対象ビットが 1 ※ 2



解除 , 復旧方法これ以上先に動作させることはできませんので、逆方向に動作させてください。

25 ティーチングコマンドエラー

説明実行しようとしているティーチング登録行の内容が本機器の状態と合ってい

ない

表示器 TCMD ER

動作情報コマンドのステータ

ス

T ※ 1 または対象ビットが 1 ※ 2



発生ケース

1）リミットに入っている状態で、更に入っているリミット側に動作する登録行の

内容だった。

2）登録行に動作速度（コマンド「D:」）を設定し、その後に登録した動作速度（コマ

ンド「D:」）未満の値にパラメータ「Max Speed」を設定して登録行を実行した。

解除 , 復旧方法座標値を維持したい場合は、ビジーエラーキャンセルを行ってください。座標値の維持が必要

ない場合は、電源再投入、再起動、コマンド「RESET:」の送信のいずれかを行ってください。

104

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

12. 仕様

本機器に関する仕様です。

②一般仕様

ステージ制御軸数 2

最小指令単位 1nm

インポジション範囲 ± 1nm（± 3nm, ± 7nm 選択可）

最大動作速度設定値 6mm/sec

最大移動距離設定範囲－ 134.217728 ～＋ 134.217727mm

エラー検出

インターポレータエラー , スケールエラー , リミットエラー

オーバーフローエラー , オーバースピードエラー

コマンドエラー , 緊急停止 , システムエラー

制御インターフェースポート数

ジョグコントローラ 1

緊急停止入力 1

GP-IB 1

USB 1

Ethernet 1

汎用 I/O 1

電源 AC100V ～ 240V, 50/60Hz

電源電圧変動許容範囲 AC90V ～ 264V

消費電力 110VA max

ヒューズ 250V, 2.5A, タイムラグ , 2 本

外形寸法 W220 × H88 × D290mm

質量 5.2kg

動作温度 0℃～ 40℃

動作湿度 20% ～ 80%RH（結露のないこと）

保存温度 -10℃～ 55℃

保存湿度 20% ～ 80%RH（結露のないこと）

使用場所屋内

保存高度 2000m 以下

使用高度 2000m 以下

最大動作時間連続動作可能

安全性

EN 61010-1:2010 準拠

過電圧カテゴリⅡ

汚染度 2

電磁両立性※

EN 61326-1:2013 準拠

EN 61000-3-2:2014 準拠

EN 61000-3-3:2013 準拠

①基本性能

ケーブル

対象長さ追加部品

モータ

2m 以下

ケーブルの片端（本体側）にフェライトコア（ZCAT1730-

0730A：TDK 製 ) を取り付けてください。

スケールケーブルの両端にフェライトコア（ZCAT1730-0730A

ジョグコントローラ：TDK 製）を取り付けてください。

緊急停止入力（ツイストペア , シールド無）

3m 以下

ご用意されたケーブルの片端（本体側）をフェライトコア

（ZCAT シリーズ：TDK 製）に 2 回巻してください。

GP-IB（シールド付）　※ 1ご用意されたケーブルの外形に合わせたフェライトコア

（ZCAT シリーズ：TDK 製）を、ケーブルの片端（本体側）に取り付けてください。

USB（シールド付）　※ 1

Ethernet（シールド付）　※ 1

汎用 I/O（シールド付）

※ 1 通信するインターフェースのみ接続

※条件は下記の通りです。

汎用 I/O

コネクタフード筐体

EMI 対策品汎用 I/O 用基板を金属製ボックスに収納

105

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

③インターフェース仕様

本機器には GP-IB コネクタが搭載されており、パソコンと接続することができます。使用する場合は GP-IB ケーブルをご用意ください。

●接続

●通信

パソコンと本機器を通信させるためには、パソコンに GP-IB 通信の可能なソフトウェア（当社提供のサンプルソフトなど）が必要です。また、本機器のモードを REMOTE にして、パラメータ「I/F Sel」を GP-IB にする必要があります。GP-IB アドレスは、他の機器と同じにならないようにしてください。パソコンと本機器の接続は、動作情報コマンド

（「Q:」など）を送受信してご確認ください。

●接続を切るには

パソコンのソフトウェアから GP-IB をクローズしてください。ケーブルを抜く場合は、本機器の電源が入っていても問題はありませんが、安全のために本機器の電源を OFF にして抜くことをおすすめします。パソコンに関しましては、ご使用のパソコンの取扱説明書をご覧ください。

項目内容

機能

SH1 ソース , ハンドシェイク全機能

AH1 アクセプタ , ハンドシェイク全機能

T6 基本トーカ機能 , シリアルポール機能 ,MLA によるトーカ解除

TE0 拡張トーカ機能なし

L4 基本リスナ機能 ,MTA によるリスナ解除（リッスンオンリなし）

LE0 機能なし

SR1 サービスリクエスト全機能

DC2 SDC 機能なし

RL2 ローカルロックアウト機能なし

DT0 デバイストリガの全機能なし

PP0 パラレルポール機能なし

C0 コントローラ機能なし

アドレス 1 ～ 30 デフォルト：8

デリミタ CR+LF, EOI, CR, LF デフォルト：CR+LF, EOI 有効

サービスリクエスト有効 or 無効デフォルト：無効

フロー制御なし（固定）

使用コネクタメーカ：第一電子工業株式会社　型式：57LE-20240

適合プラグ , ケーブル IEEE-488 規格準拠品 , GP-IB 規格準拠品

●仕様

12 1

1324

1）GP-IB

106

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

/ACCRQ/ACCGR/CE

/WEDBIN

VccTR

DIO1

DIO3DIO2

DIO4DIO5

DIO7DIO6

DIO8

DIO1

DIO3DIO2

DIO4DIO5

DIO7DIO6

DIO8

DIO1

DIO3DIO2

DIO4DIO5

DIO7DIO6

DIO8

DIO1

DIO3DIO2

DIO4DIO5

DIO7DIO6

DIO8

PE GND

Vcc TE

RS0RS1RS2

/INT

/CONTSRQATNEOI

DAVNRFDNDAC

IFCREN

D0(MSB)D1D2D3D4D5D6D7/CLK/RESET

Vss TE

DCSRQATNEOIDAVNRFDNDACIFCRENNCVcc

GNDSRQATNEOI

DAVNRFDNDAC

IFCREN

TESC

SRQATNEOIDAVNRFDNDACIFCREN

GND(6)GND(7)GND(8)

GND(9)GND(10)GND(11)

GND LOGICSHIELD

Vcc

Vcc

Vcc

Vcc

NAT9914SN75160

SN75161

IEEE.488

1

3

2

4

13

15

14

16

18

20

19

11

10

5

6

8

7

9

17

21

22

23

24

12

準拠コネクタ

●ピンアサイン及び回路図

ピン番号信号名

1 DIO1

2 DIO2

3 DIO3

4 DIO4

5 EOI

6 DAV

7 NRFD

8 NDAC

9 IFC

10 SRQ

11 ATN

12 SHILD

13 DIO5

14 DIO6

15 DIO7

16 DIO8

17 REN

18 GND

19 GND

20 GND

21 GND

22 GND

23 GND

24 GND

107

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

●仕様

●ピンアサイン

項目内容

機能パソコンの USB と接続し、仮想 COM ポートとして使用します。

ポート数 1 ポート

転送速度フルスピード転送（12Mbps）に対応しています。

デリミタ CR+LF, CR, LF デフォルト：CR+LF

使用コネクタメーカ：オムロン　型式：XM7B-0442 タイプ：Standard-B

適合プラグ , ケーブルパソコン - 本機器間接続：Standard-A（オス）-Standard-B（オス）コネクタストレートケーブル（USB2.0-1.1 対応品）


1 VBUS

2 D-

3 D+

4 GND

本機器には USB （Function）が搭載されており、パソコンの USB（Host）と接続することができます。使用する場合は USB1.0/2.0 対応 USB ケーブル※をご用意ください。本機器側は USB（B）コネクタを接続し、パソコンへは USB（A）コネクタを接続します。※ Standard-A（オス）-Standard-B（オス）コネクタストレートケーブル（USB2.0-1.1 対応品）

●接続

●ドライバインストール（Windows OS のみ対応）

USB ケーブルを接続してパソコンの電源を投入後、本機器の電源を ON にすると、パソコン上では新しいインターフェースとしてドライバのインストールが開始されます。本 USB ドライバは Windows 環境に含まれています。そのときに、設定情報ファイル「stage_controller_usb_cdc_drv_w***.inf」が必要になります。この設定情報ファイルはサンプルソフト用メディアの「USB 設定情報ファイル」、または当社ホームページのダウンロードページから入手可能です（Windows OS のバージョンにより設定情報ファイルが異なりますのでご注意ください）。ドライバインストール時に手動で設定情報ファイルを指定してインストールを開始してください。ドライバがインストールされたら、パソコン上のデバイスマネージャーを起動し、ポート（COM と LPT）に「Stage Controller Usb Cdc Port

（COM*）」が作成されていれば正常にドライバのインストールが完了しています。なお、上記インストールは各 USB ポート毎に必要です。また、各 USB ポート毎に「Stage Controller Usb Cdc Port（COM*）」の COM 番号は変更されます。なお、一度ドライバをインストールしたら、新たに追加する USB ポートは自動的時インストールされます。

●通信

仮想 COM ポートとして認識されますので、パソコンと本機器を通信させるためには、パソコンにシリアル通信可能なソフトウェアが必要です。また、本機器のモードを REMOTE にして、パラメータ「I/F Sel」を USB にする必要があります。COM ポート番号はデバイスマネージャーなどでご確認ください。COM ポートのボーレート（通信速度）の設定値は、いくつでも構いません（例：9600bps）。パソコンと本機器の接続は、動作情報コマンド（「Q:」など）を送受信してご確認ください。

●接続を切るには

接続を切る場合、必ずパソコンのソフトウェアから COM ポートを閉じてから接続を切ってください。。ケーブルを抜く場合は、本機器の電源が入っていても問題はありませんが、安全のために本機器の電源を OFF にして抜くことをおすすめします。パソコンに関しましては、ご使用のパソコンの取扱説明書をご覧ください。パソコンのソフトウェアから COM ポートを閉じずに本機器の電源を再投入または再起動させた場合、再リンクさせるにはソフトウェアからCOM ポートを閉じた後に、ケーブルの再接続をする必要があります。（ソフトウェアによっては、自動で COM ポートを閉じ、再起動後自動で接続するソフトウェアもあります）

21

4 3

2）USB

108

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

1 8

Green LED

Yellow LED

●仕様

●ピンアサイン

項目内容

ポート数 1

規格 IEEE802.3x 規格のフロー制御準拠

転送速度 10Mbps 及び 100Mbps 転送に対応

デリミタ CR+LF, CR, LF

IP アドレス 000.000.000.000 ～ 255.255.255.255

デフォルトゲートウェイ 000.000.000.000 ～ 255.255.255.255

サブネットマスク 000.000.000.000 ～ 255.255.255.255

ポート番号 60000（固定）

使用コネクタ RJ45


1 TX+

2 TX-

3 RX+

4 NC

5 NC

6 RX-

7 NC

8 NC

本機器には Ethernet コネクタが搭載されており、パソコンと直接またはハブ（ルータ）を介して接続することができます。LAN ケーブルは、クロス、ストレートどちらでも構いません。またケーブルのカテゴリは 10Mbps 及び100Mbps 転送に対応しているものをご使用ください。接続する際には、IP アドレス , デフォルトゲートウェイ , サブネットマスクの設定が必要となります。使用するパソコンの IP アドレス , デフォルトゲートウェイ , サブネットマスクの情報を基に、本機器のパラメータを設定します。IP アドレスの設定は、例として使用するパソコンの IP アドレスが「192.168.015.188」であった場合、

「192.168.015.」まで同じ値に設定し、「188」の部分は別の値に設定します。デフォルトゲートウェイとサブネットマスクはパソコンと同じ値に設定します。なお同じ LAN エリア内でご使用になる場合は、デフォルトゲートウェイの設定は必要ありません。

●接続

●通信

パソコンと本機器を通信させるためには、パソコンに TCP/IP 通信の可能なソフトウェア（当社提供のサンプルソフトなど）が必要です。また本機器のモードを REMOTE にして、パラメータ「I/F Sel」を Ethernet にする必要があります。パソコンと本機器の接続は、動作情報コマンド（「Q:」など）を送受信してご確認ください。通信用アプリケーションで通信する場合、IP アドレスなどの設定の他、ポート番号の設定をする必要があります。

3）Ethernet

● LED

Green LED：通信速度が 100Mbps の場合に点灯し、通信速度が 10Mbps の場合やケーブルが接続されて

いないときは消灯します。

Yellow LED：有効なリンクが検出されたときに点灯し、データの送受信が検出されたときに点滅します。

109

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

項目内容

機能

入力

汎用入力× 3 ポート

ティーチング操作× 1

ビジーエラーキャンセル× 1

出力

汎用出力× 3 ポート

スケール分割パルス信号× 2 軸

アラーム信号× 2 軸

インポジション信号× 2 軸

ティーチング状態× 1

使用コネクタメーカ：スリーエムジャパン株式会社　型式：50 ピンハーフピッチコネクタ（MDR） 10150-5202PL

適合プラグメーカ：スリーエムジャパン株式会社　型式：50 ピンハーフピッチコネクタ（MDR） 10150-3000PE

メーカ：スリーエムジャパン株式会社　型式：50 ピンハーフピッチコネクタ（MDR） 10150-6000**

●仕様

●ピンアサイン及び機能説明

25 1

2650

汎用 I/O は、汎用入力及び出力、ティーチング操作入力及び状態出力、スケール分割信号出力、インポジション信号出力、アラーム信号出力を備えております。各端子の機能を説明します。

端子番号端子名内容3 汎用入力 1

各汎用入力を選択します。状態をコマンド「I:」で確認することができます。28 汎用入力 2

4 汎用入力 3

29 汎用入力 COMMON 汎用入力の共通端子です。

43 T_1ティーチング番号を選択します。下表以外のパターンは無効です。

端子チャンネル

1 2 3 4 5

T_1 ON OFF ON OFF ON

T_2 OFF ON ON OFF OFF

T_3 OFF OFF OFF ON ON

　

19 T_2

44 T_3

20 T_START ティーチングの実行を開始します。

45 T_PAUSE ティーチングの実行を一時停止します。

21 T_ONE_STEP 入力するたびにティーチングプログラムを 1 行ずつ実行します。

46 T_STOP ティーチングの実行を停止します。

22 T_COMMON ティーチング操作入力の共通端子です。

24 BE_CANCELビジーエラーキャンセルを実行します。詳細はコマンド「BEC:」をご覧ください

49 BE_COMMON BE CANCEL 入力の共通端子です。

・入力端子

内部回路及び仕様を、「内部回路及び仕様」-「入力端子」に示します。

・出力端子

内部回路及び仕様を、「内部回路及び仕様」-「出力端子」に示します。

端子番号端子名内容出力回路

1 汎用出力１「O：」コマンドにて選択した状態を出力します。起動時は OFF です。

オープンコレクタ

26 汎用出力 2

2 汎用出力 3

27 汎用出力 COMMON 汎用出力の共通端子です。 -

8 1PA 1 軸側のスケール分割パルス（2 相方形波）の A 相出力です。

ラインドライバ

33 1/PA 1PA の反転出力です。

9 1PB 1 軸側のスケール分割パルス（2 相方形波）の B 相出力です。

34 1/PB 1PB の反転出力です。

4）汎用 I/O

110

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

端子番号端子名内容出力回路

10 1AL

1 軸側のアラーム出力です。インターポレータエラー、スケールエラー、リミットエラー、オーバーフローエラーのいずれかが発生した場合、HIGH レベルを出力します。各エラーの詳細は「11. ステータスについて」をご覧ください。リミットエラーのみの場合、正常なステージとモータケーブルを接続すると LOW レベルに戻ります。

ラインドライバ

35 1/AL 1AL の反転出力です。

11 1INP

1 軸側のインポジション出力です。位置決めの完了及びリミットセンサの検出で HIGH レベルを出力し、動作指令が入ると LOWレベルを出力します。但し、リミットセンサの検出中で動作指令が入った場合、リミットセンサを抜けると LOW レベルを出力します。

36 1/INP 1INP の反転出力です。

37 2PA 2 軸側のスケール分割パルス（2 相方形波）の A 相出力です。

13 2/PA 2PA の反転出力です。

38 2PB 2 軸側のスケール分割パルス（2 相方形波）の B 相出力です。

14 2/PB 2PB の反転出力です。

39 2AL

2 軸側のアラーム出力です。インターポレータエラー、スケールエラー、リミットエラー、オーバーフローエラーのいずれかが発生した場合、HIGH レベルを出力します。各エラーの詳細は「11. ステータスについて」をご覧ください。リミットエラーのみの場合、正常なステージとモータケーブルを接続すると LOW レベルに戻ります。

15 2/AL 2AL の反転出力です。

40 2INP

2 軸側のインポジション出力です。位置決めの完了及びリミットセンサの検出で HIGH レベルを出力し、動作指令が入ると LOWレベルを出力します。但し、リミットセンサの検出中で動作指令が入った場合、リミットセンサを抜けると LOW レベルを出力します。

16 2/INP 2INP の反転出力です。

17 T_STATUS ティーチングの登録内容の実行状態出力です。

42 /T_STATUS T_STATUS の反転出力です。

5, 6,

25, 30,

47

+5V

5V の電源端子です。

-

7, 12,

GND 5V 電源の GND 端子です。 -

18, 23,

31, 32,

41, 48,

50

・各端子の最大出力電流は 0.2A です。合計で 1A を

超えないでください。

111

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

●内部回路及び仕様

・入力端子

入力端子には汎用入力、ティーチング操作、ビジーエラーキャンセルがあります。入力はフォトカプラのLED となっています。LED に電流を流すことによってフォトトランジスタを ON にし、また電流を遮断することによってフォトトランジスタを OFF にします。汎用入力の場合、このフォトトランジスタの状態をコマンド「I：」にて確認することができます。詳細は「6. コマンドについて」の項をご覧ください。ティーチング操作、ビジーエラーキャンセルは、フォトトランジスタを ON にすることによって「●ピンアサイン及び機能説明」の機能を実行できます。

・入力電流は 20mA を超えないようにしてください。超えた場合、故障の原因になります。注意

・LED 電流は 5 ～ 20mA の範囲内でご使用ください。

・COMMON 端子を本機器の GND に接続する場合、入力端子の電源は本機器の 5V をご使用ください。

1/4W,390Ω

各入力端子

COMMON

LED 順方向電圧：1.3V

LED 電流

5 ～ 20mA

図 1. 内部回路

電流制限抵抗

図 2. 接続回路例

24V1kΩ追加

本機器側ユーザ制御回路側

フォトトランジスタ LED

・入力電流波形は、パルス状（立ち上がり及び立ち下り時間＜ 100 μ sec）になるようにしてください。

・汎用入力の ON 及び OFF の時間幅は、最小でコマンド「I:」の送信周期以上にしてください。

112

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

・出力端子

ⅰ . オープンコレクタ

Vceo は 30V を、Ic は 150mA を超えないようにしてください。超えた場合、故障の原因になります。

注意

出力はフォトカプラのフォトトランジスタで、オープンコレクタとなっています。コマンド「O：」にてフォトトランジスタを ON、OFF させることができます。詳細は「6. コマンドについて」をご覧ください。

・COMMON 端子を本機器の GND に接続する場合、電源は本機器の 5V をご使用ください。

Ic=150mA 時 Vce（sat）≒1.3V



各出力端子

COMMON

Vceo＝30V MAXIc＝150mA MAX

図 3. 内部回路

電流制限抵抗

図 4. 接続回路例

24V

1kΩ追加

本機器側ユーザ制御回路側

フォトトランジスタ

ⅱ . ラインドライバ

HIGH レベル出力電圧＝2.5V MIN

LOW レベル出力電圧＝0.5V MAXVcc＝5V

AM26LS31

図 5. 内部回路

HIGH レベル出力電流＝20mA MAX（吐き出し）

LOW レベル出力電流＝20mA MAX（吸い込み）

113

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

5）緊急停止

入力接点の接触形式は「B 接点」です。接触形式の変更はできません。パラメータ『EMG Connector』を Enable に変更した後、入力 -GND 間を短絡した状態から解放すると、本機器に接続しているステージの動作を即時停止して表示部に「EMERGENCY」と表示されます。この時のモータの状態はパラメータ「EMG Motor Excite」の設定によります。以降、ステージの動作に関連する操作はできませんので、復帰は入力 -GND 間を短絡した後、座標値を維持する場合はビジーエラーキャンセルを行ってください。座標値の維持が必要ない場合は電源の再投入、再起動、コマンド「RESET:」の送信のいずれかを行ってください。ビジーエラーキャンセルについては「5. 操作について」-「② LOCAL モード」または「6. コマンドについて」をご覧ください。パラメータ『EMG Connector』及び緊急停止時のモータの励磁、解磁を設定するパラメータ「EMG Motor Excite」については「7. パラメータについて」をご覧ください。

ご使用になる場合は、必ずパラメータ『EMG Connector』を Enable に変更し、試験動作を行い使用

可能なことをご確認ください。警告

AC アダプタなどの電力を出力するものを接続しないでください。注意

項目仕様

使用コネクタメーカ：ホシデン株式会社　型式：HEC3800-01-010DC 電源ジャック（JEITA RC-5320A 準拠）　

適合プラグ / ケーブル JEITA RC-5320A TYPE4 / ツイストペア

●仕様

入力（内側）

GND（外側）

６）モータドライバ設定スイッチ

モータドライバは軸毎に設定します。ステージコントローラの右側面を正面に見て、左側が 1 軸側、右側が 2軸側の設定スイッチになります。設定を行う内容は分割数（Step）、駆動電流（Drive）、停止電流（Hold）となります。なお、出荷時は同時に購入されたステージに合わせて設定してあります。設定を変更する場合は、当社または代理店へご連絡ください。

・分割数の設定（Step）分割数を設定します。 ※

SW No. 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 A B C D E F

分割数 1 2 4 10 20 40 100 200 400 800 1000 2000 4000 - - -

※　分割数に対するステップ角は「ステップ角 = 基本ステップ角（0.72°） / 分割数」となります。

・駆動電流の設定値（Drive）モータ駆動時の電流値を設定します。

SW No. 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 A B C D E F

電流値（A） 0.3 0.325 0.35 0.375 0.4 0.425 0.45 0.475 0.5 0.525 0.55 0.575 0.6 0.65 0.7 0.75

・停止電流の設定値（Hold）停止電流の設定値は駆動電流のパーセント（％）で設定します。

SW No. 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9

％ 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100

●設定内容

ご使用の環境により、設定変更をお願いする場合がありますが、それ以外は変更しないでください。故意に変更しますと、意図しないステージ動作をする場合があります。注意

1軸側 2軸側

114

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

13. 外形図


②リアパネル


●左側面

●右側面

220 ± 2mm

90

±2

mm

10

mm

215 ± 2mm

87

±2

mm

取扱説明書に記載の注意事項を必ずお守りください。

100V-240V 50/60Hz 110VA MAX1

21

SCALE

OFF

MOTOR 2 ONMAIN POWER

Do not operate without reading safety precautions in instruction manual.警告WARNING

I/O Ethernet USBEMG

GP-IB

FUSE

250V 2.5ATime Lag

290 ± 2mm6mm max 7mm max

88

±2

mm

115

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

14. トラブルシューティング

不具合が生じましたら、下記の内容をご確認ください。対処方法を行っても改善されない場合は、電源ケーブルのプラグをコンセントから抜いて、当社または代理店へご連絡ください。

内容考えられる原因対処方法参照

ページ

・電源が入らない。

・使用中に電源が切れた。

電源ケーブルが接続されていな

い。

電源ケーブルを接続してください。6

ヒューズが切れている。ヒューズを確認して切れている場合は交換してくださ

い。頻繁に切れる場合は本機器が故障している可能性

があります。電源ケーブルのプラグをコンセントから

抜いて、当社または代理店へご連絡ください。

7

リアパネルの MAIN POWER

スイッチが入っていない。

MAIN POWER スイッチを ON にしてください。8

・ビープ音が鳴り続ける。

・Off ランプが点灯している状態

でフロントパネルの POWER

キーを押すと Off ランプが消え

る。

内部電源の出力が短絡または

過負荷になっている。

手順 1. MAIN POWER スイッチを OFF にして、

　　　接続されている周辺機器のケーブルを全て外し

　　　 10 秒以上お待ちください。

手順 2. 電源ケーブルのみを接続してある状態で、

　　　 MAIN POWER スイッチを ON にしてくだ

　　　さい。ビープ音が鳴り続けている場合は

　　　手順 4 へお進みください。

手順 3.Off ランプが点灯していることを確認して、

　　　 POWER キーを 1 秒間押して離してください。

手順 4. 電源が ON できない、ON できても小さく

　　　ビープ音が鳴り続けている、POWER キー

　　　を押している間 Off ランプが消える場合は、

　　　本機器が故障している可能性があります。電源

　　　ケーブルのプラグをコンセントから抜いて、当

　　　社または代理店へご連絡ください。

　　　電源が ON できた場合は、周辺機器のいずれ

　　　かが故障している、またはピンアサインの異

　　　なる機器を接続している可能性があります。

　　　周辺機器をご確認ください。

8, 11

・表示画面が消えている。フロントパネルの POWER キー

が ON になっていない。

POWER キーを押して ON にしてください。3

リアパネルの MAIN POWER

スイッチが入っていない。

MAIN POWER スイッチを ON にしてください。8

スリープ状態になっている。スリープを解除してください。 5

・メニューが消えている。

・特定のキーが操作できない。

通信モードになっている。 LOCAL または TEACH モードに切り替えてくださ

い。12

・GP-IB 通信ができない。通信インターフェース設定が

GP-IB 以外になっている。

パラメータ『I/F Sel』で GP-IB を選択してください。84

通信設定が合っていない。通信条件を確認して、パラメータを設定してください。85

・USB 通信ができない。通信インターフェース設定が

USB 以外になっている。

パラメータ『I/F Sel』で USB を選択してください。84

通信設定が合っていない。通信条件を確認して、パラメータを設定してください。84

・Ethernet 通信ができない。通信インターフェース設定が

Ethernet 以外になっている。

パラメータ『I/F Sel』でEthernetを選択してください。84

通信設定が合っていない。通信条件を確認して、パラメータを設定してください。85, 86

・フロントパネル、コマンド、

ジョグコントローラで

ティーチング操作ができない。

パラメータ「TEACH IF」で

"I/O" を選択している。

パラメータ「TEACH IF」を "JOG/CMD" に変更し

てください。 73

・汎用 I/O からティーチング操作

ができない。

汎用 I/O コネクタに接続してい

る回路が仕様に合っていない。

汎用 I/O コネクタの仕様をご確認ください。

109

パラメータ「TEACH IF」で

"JOG/CMD" を選択している。

パラメータ「TEACH IF」を "I/O" に変更してください。

73

・オプションのジョグコントロー

ラからティーチング操作ができ

ない。

ジョグコントローラが外れてい

る。

ジョグコントローラの接続をご確認ください。※詳細はジョグコントローラの取扱説明書をご覧ください。 1, 5

・緊急停止ができない。パラメータを変更していない。パラメータ『EMG Connector』を Enable に変更し

てください。83

116

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

内容考えられる原因対処方法参照

ページ

・緊急停止状態を解除できない。

・意図しない緊急停止をする。

EMG コネクタに接続している

コネクタが外れている

接続をご確認ください。113

EMG コネクタに接続している

ケーブルが断線している

接続しているケーブルをご確認ください。113

オプションのジョグコントロー

ラの EMERGENCY スイッチが

押されている。

ジョグコントローラの EMERGENCY スイッチを

Off 側にください。※詳細はジョグコントローラの取扱説明書をご覧ください。

1

・スリープが実行できない。ステージが動作している。位置決めの完了をお待ちください。 12, 43

エラーが発生している。エラーを解除してください。 14, 29

99

ティーチング実行している。実行完了を待つか、実行を停止してください。 88

・ステージが動作しない。モータが励磁されていない。フロントパネルのの Motor ランプの点灯状態を

ご確認ください。4

軸選択パラメータと接続してい

る軸が合っていない。

パラメータ『AXIS Sel』と接続をご確認ください。82

・ステージが勝手に動作する。モータケーブルとスケール

ケーブルの軸が合っていない。

接続をご確認ください。

8, 9

・位置決めが完了しない。

・位置決め動作中で座標値が安定

ない。

ステージを固定している定盤

または金属架台が振動している。

ステージに振動が伝わらないようにしてください。-

強い光がステージにあたってい

る。

ステージに強い光があたらないようにしてください。-

強力な磁界や電界、ノイズを

受けている。

これらを受けないようにしてください。-

・CMD ER と表示される。

-

「11. ステータスについて」をご覧ください。

99

・SCALE ER と表示される。

・LIMIT ER と表示される。

・OV SPD ER と表示される。

・OF ER と表示される。

・IP ER と表示される。

・EMERGENCY と表示される。

・SYS ER と表示される。

・TCMD ER と表示される。

117

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

15. 索引

アルファベット

AAC100VAC アダプタAC インレットASCII コードAXIS パラメータ

B

D

C

E

F

BECBUSY

14, 21, 29, 88, 9112, 23, 73

Cancel キーCCWCCW LMTCCW SLMTCCW ソフトウェアリミット停止

CCW リミット

CloseClose1,2 ランプCLSCMD ERCOMCWCW LMTCW SLMTCW ソフトウェアリミット入力CW リミット

2, 6813, 14100 102100 10335, 36, 37, 38, 42,9935, 36, 37, 38, 4295, 97, 98, 99, 100, 102, 103441425, 101, 11610713100, 102100, 103103100, 102

DelDGW

18, 19, 2020

EMERGENCYEMG コネクタE/NEnter キーEOGEOIEthernet IP アドレスEthernet ランプEthernet MAC アドレスEthernet インターフェースEthernet サブネットマスクEthernet 接続コネクタEthernet デフォルトゲートウェイEthernet デリミタEthernet ポート番号

102, 113, 116ⅳ , 9, 116172, 66, 67, 68, 691418, 8520, 864209, 20, 8420, 65, 86920, 8620, 8520

F1 / 　　キーF2 / 　　キーF3 / 　　キーF4 / 　　キーF5 / Enter / Page キーF6 / Cancel / Return キーF7 キーF8 キーFC-911F/V

22222222i, 1, 3017

6, 104iv, 9, 1136, 721, 10162, 63, 65, 72

I

J

L

M

O

P

IFINFORMATION モード

IP ERIP アドレス

18, 19, 2012, 13, 17, 1819, 20102, 11620, 86

JC コネクタ 5

LANLAN ケーブルLIMIT ERLMTLOCAL ランプLOCAL モードLSTN ランプ

9, 108108103, 11616, 97, 100413, 21, 27, 844

MAC アドレスMAIN POWER スイッチMMTMODModelMotor1,2 ランプMTR

208, 11516, 981317, 30414

OF EROff ランプOn ランプOpenORGORG センサ

102334, 14, 75, 78, 831496

Page キーPAUPLSPORTPOWER キーPRM

2, 17, 18, 19, 2090, 9114, 66, 6720313, 27

RREADYREMOTE モードRestart キーReturn キーRTN

2315, 21, 27, 843, 11, 26213, 14, 66, 67

G

GENERAL パラメータGOGP-IB EOIGP-IB ランプGP-IB SRQGP-IB アドレスGP-IB ケーブルGP-IB 接続コネクタGP-IB デリミタ

62, 63, 66, 8290, 91, 9218, 85418, 8518, 85105918, 85

S

ZEO 14

T

U

Z

SCALE ERSLEEPSleep ランプSLPSMTS/NSNMSRQ ランプSTP

1015, 26, 27, 8751316, 971720414, 16, 90, 92

TALK ランプTEACH モード

44, 12, 15, 21, 2784, 88

USB ランプUSB ケーブルUSB 接続コネクタUSB デリミタ

49, 107919, 84

118

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15

た

て

と

せ

清掃設置ゼロコントロールゼロセット

ⅴiv733, 14, 45

大地アース 7

ティーチング電気原点設定電気原点復帰電源ケーブル

1, 15, 21, 73, 884544, 76, 961, 6, 7, 115

トラブルシューティング 115

は

排気スリットパラメータについて汎用 I/O汎用 I/O コネクタ

106355, 93, 1099

ひ

ふ

ビープ音ビジーエラーキャンセルヒューズヒューズホルダ表示器

1114, 21, 1091, 7, 10472, 87

ファームウェアバージョンファンフレーム端子フロントパネル

17, 301082, 114

ほ

保護接地端子保証

7i

も

モータケーブル接続コネクタモータドライバモード

810, 11312, 27, 84

り

リアパネルリミットエラー

6, 11435, 36, 37, 3841, 103

れ

連絡先 i

かな

あ

い

う

え

お

か

き

く

アラーム安全

9, 109, 110ii

一般仕様インターポレータエラー

インポジション範囲

10435, 36, 37, 38, 4199, 102, 104, 11012, 35, 36, 37, 3842, 73, 99, 104

ウェイトタイム 22, 61, 89

エコーバック

エラー

21, 24, 25, 30, 658611, 99, 101, 104

オーバーフローエラー

オープンループ

オプション

5, 14, 35, 36, 3738, 41, 99, 102104, 1101, 4, 14, 28, 7578, 831, 116

外形図 114

機械原点復帰（Mode0）機械原点復帰（Mode1）機械原点復帰（Mode2）機械原点復帰（Mode3）機械原点復帰（Mode4）機種番号機種名吸気スリット緊急停止

14, 44, 9575, 959596961717105, 9, 45, 82, 102 113

クローズドループ 1, 4, 14, 28, 83

こ

さ

し

す

故障時の対応コマンドについてコマンドエラー

i21101

サービスリクエストサイドパネル再起動

4, 10510, 1143, 5, 26

周辺機器の接続使用上の注意についてジョグコントローラシリアル番号

ivii1, 3, 5, 1217, 30, 31

スケールエラー

スケールケーブル接続コネクタステータスストレートケーブルスリットスリープ

35, 36, 37, 38, 4199, 101912, 99107103, 5, 11, 13, 26, 2787

そ

送信記述形式送信・返信記述形式

2324

Memo

〒 357-0035　埼玉県飯能市柳町 5-2

TEL：042-975-3031

FAX：042-975-3032

EMAIL：[email protected]

URL：http://www.sigma-tech.co.jp

シグマテック株式会社

MF-0010 1 版

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