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フ ク ダ フクダに対するれをするリークテスターメーカー。対、、、ガス、医、い。、０・がきる「ＭＳＸ―６１００」「ＭＳＸ―０１００」をする。っていたヘリムをえ、エアリークテストヘリムリークテストが一台える。リーク、、演する。こ他、モバイル、バクカメラＩＰ格をするし、いをする。ゾ ン デ ッ ク ス ゾンデクスセンサーサースを。をしたシステムにしている。、がだった多くサンプルを「Ｚ―Ｄｏｔみ」により、にきる、メーカーをする。Ｚｅｔａ「３ＤさＺＥＴＡシリーズ」をメーンに、そ他、キパシテク「変位」ＥＭＸ「各センサー」およびソーラーライト「ソーラーシミレータ・ＳＰＦ・ＵＶテスター」４をする。卓プラズマをテーマにする。、する「卓プラズマエチング」、エチングによりさを大にきる。エチング１エチングがきるが。大きさをコンパクト卓サイズにするこ移ち運びがしすい。プラズマエチングをかし、体デバイスＭＥＭＳにされるエチングが、・に。また、よりしているけマニピレーターをう。を囲うこく、、コストクラス３以スーパークリーンをした、オープンクリーンシステム「コーチ」シリーズをする。シリーズさい卓タイプ「テーブルコーチ」、コンパクトち運びすく、に。クリーンルーム対、クリーンミニエンバイロンメントをめているからをめる。また、囲をスーパークリーンきる「フロアーコーチＥｚ」演をい、スイチをれてからクラス１にするを確きる。そ他、にじたをする。あすからまマイクロマシンセンター「第マイクロマシン／ＭＥＭＳ」「第３ＲＯＢＯＴＥＣＨロボト」が・グサイトかれる。にキーデバイスサースロボトがまり、拡大が待される。１０００円および待。からま。マイクロマシン／ＭＥＭＳＲＯＢＯＴＥＣＨ 興研は空間を囲わないクリーンル ームを実演（ ） 災害救助のためのロボット活用拡大が求められている各 ・ 〈 〉 あす （ ） 【広告特集】 ２０１２年 平成２４年 ７月１０日 火曜日 各種センサーで応用広がる「マイクロマシン／ＭＥＭＳ」、システムＭＥＭＳ大。ＭＥＭＳセンサーデバイスににがんいる。そ囲体だけく、体にメスをれずピンポイントする医、エネルギー拡大まれている。ＭＥＭＳ２０１１に１円くがされたられる。フランスがまめたＭＥＭＳりげトプりげ、して２ケタをす。スマートフンタブレト位をえるセンサー、ジイロセンサー、コンパス他、をす圧センサーがだ。、ゲームけをに％いび拡大していくされる図。こうした、かれるＭＥＭＳデバイスセンサーほか、、・ＭＥＭＳが一にまる。・エネをにするグリーンセンサ・ネトワークされる。サービスロボットに焦点一「ＲＯＢＯＴＥＣＨ」、医・・活援が待されるサースロボトにをあてる。・援ロボト、おいロボト、コミニケーションロボト、・ロボトを対している。対ロボト活が大きをめた。また移一帯、サースロボト活ますますにっていく。センサーモーター、アクチエーター、ＩＴほか、ロボトころる。これら２をわせてから２００が。ロボトＭＥＭＳデバイスあり多い。モノづくりに「オープンイノベーション」をし、異・異がられる。最新情報充実プログラムにえ、したプログラムがまれている。第一活するがをする。から「体ためＭＥＭＳ」に体からＭＥＭＳポイントをする。から「第マイクロマシン・ナノテクシンポジム」、グローバルからたＭＥＭＳをする。に「ＭＮＯＩＣセミナーＮＭＥＭＳ活」、につく茨つくにされた「マイクロナノ・オープンイノベーションセンターＭＮＯＩＣ」活がされる。８ラインをえたセンター、くきる。拡大するＭＥＭＳにがしていくため、をリードする活が待されている。またから、ＭＥＭＳナノテク、バイオをに、エネルギー・ＮＥＤＯにちがった「ＢＥＡＮＳプロジクト」がわれる。あり、穫、にけたりみがされる。
